一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置的制作方法

本实用新型涉及液晶显示器领域，尤其涉及一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物(Macro Particle)的装置。

背景技术：

由于移动设备日益多变，且PPI(pixels per inch，分辨率又称图像采样率，即每英寸所拥有的像素数量)也随之增加，CF(color filter，彩色滤光片)所使用的技术，其难度亦随之提高，CF基板宏观不良应有效的拦截在厂内，以免不良产品流出影响客户满意度，造成客户投诉。因此，在彩色滤光片工艺流程(CF process flow)制作工艺中，每条产线都有宏观不良检测设备(Macro)，其作用是通过人员在设备内目视观察整个CF基板宏观不良，设备基本构造如图1、图2所示，主要包括：主体钢结构1、上灯部2以及检测平台部(Macro Stage)3，其中，检测平台部3包括：基板承载台31、可移动对位器件32和对位镜头(图中未示出)，基板4放置在基板承载台31上，通过对位镜头及可移动对位器件32对基板4进行定位，在宏观不良检测设备安装完成后会在外部罩一层黑布，该黑布的作用是消除外部光线的干扰，上灯部2用于设备内部照明。通常在离线检测(offline)和在线检测(inline)过程中都有宏观不良检测设备。由于宏观不良检测设备是人眼观察玻璃的检查装置，人员会进入设备内部，整个设备环境是开放的，容易产生污染物(particle)，且为使检查到位，检测平台部3会在检查过程中上下前后左右旋转，更容易使较多的污染物掉在基板湿膜上经过烘烤之后，难以洗掉，影响产品良率。

在现有技术中，与本实用新型相关的有以下内容：

现有技术为友达光电股份有限公司于2008年05月21日申请，申请号为200810107901.5，并于2008年10月15日公开，公开号为CN 101284604A的中国发明专利申请《除尘输送装置》，该申请公开了一种供液晶显示器玻璃基板使用的除尘输送装置，在该除尘输送装置中，吹气装置安装在盖板上，而盖板是固定不去的，基板在输送皮带的带动下，相对于吹气装置运动，被吹气装置带离基板的尘屑最终吸附在黏着层中。虽然同是除尘，但该现有技术适用于玻璃基板在各个工艺区间之间进行输送作业，基板在输送带的作用下进行大位移的相对运动，然而，在宏观不良检测设备中，基板的位置几乎是不变的，其运动仅仅是为了检测全面而上下左右前后旋转，如果此时吹气装置依旧原地不动，则顶多也只能局部清除基板上附着的颗粒物，不能对基板整个表面附着的颗粒物清除到位。

技术实现要素：

为了解决上述大量污染物掉在基板湿膜上经过烘烤之后，难以洗掉，影响产品良率的技术问题，本实用新型提供一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置，具体方案如下：

一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置，包括可移动对位器件，

所述可移动对位器件的内部为薄壁围成的空心部，内部气体管道置于空心部中，

所述可移动对位器件包含相互平行的第一侧面和第二侧面，第一侧面开有喷嘴安装孔，第二侧面开有气体管道进出孔，

内部气体管道通过第二侧面上的气体管道进出孔与外部气体管道相连接，内部气体管道含有多个喷嘴，所述喷嘴分别与第一侧面上的喷嘴安装孔相连接，

气流经由外部气体管道、内部气体管道及喷嘴朝向待处理的基板流动，流动的方向与基板面呈第一锐角。

进一步的，所述喷嘴安装孔的形状为圆形。

进一步的，所述喷嘴安装孔设置为并列的至少两排。

进一步的，所述喷嘴安装孔中不同排的喷嘴安装孔的位置相互错开。

进一步的，所述内部气体管道为至少两个，每一个内部气体管道上的多个喷嘴与其中一排喷嘴安装孔一一对应连接。

进一步的，所述第一锐角处于30-60度的范围内。

进一步的，所述可移动对位器件的第一侧面及第二侧面与可移动对位器件的移动方向垂直。

进一步的，所述喷嘴末端的中心轴线与基板面呈第二锐角。

进一步的，所述第二锐角处于30-60度的范围内。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置通过上述方案，在基板检查结束后排出设备之前由经过外部气体管道、内部气体管道及喷嘴且流动方向与基板面呈第一锐角的气流对基板进行一遍吹气清扫，吹去掉落并附着在基板上的污染物，大大降低了宏观不良检测设备内的污染物(Macro Particle)的量，提高了产品的良率。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本实用新型进行更详细的描述。其中：

图1为现有技术宏观不良检测设备整体结构图；

图2为现有技术检测平台部整体结构示意图；

图3为本实用新型所提供的一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置整体结构示意图；

图4为本实用新型中可移动对位器件第一侧面和第二侧面的开孔以及气体管道连接示意图。

图5为本实用新型一个实施例中内部气体管道的结构示意简图。

在附图中，相同的部件采用相同的附图标记，附图并未按照实际的比例绘制。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图3—图5所示，本实施例所提供的一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置包括改造后的可移动对位器件34，优选的可移动对位器件34为长方体，所述可移动对位器件34的内部为薄壁围成的空心部，内部气体管道35(示出为35a、35b)置于空心部中，所述可移动对位器件34包含相互平行的第一侧面341和第二侧面343，第一侧面341开有喷嘴安装孔342(示出为342a、342b)，第二侧面343开有气体管道进出孔344，内部气体管道35通过第二侧面343上的气体管道进出孔344与外部气体管道33(示出为33a—33d)相连接，内部气体管道35含有多个喷嘴353(示出为353a、353b)，所述喷嘴353分别与第一侧面341上的喷嘴安装孔342相连接。

结合图1，当检测人员进入到宏观不良检测设备的主体钢结构1的内部时，宏观不良检测设备外罩着的一层黑布隔绝了外部光线的干扰，其上灯部2为设备内部提供照明，基板4放置在基板承载台31上，通过可移动对位器件34和对位镜头(图中未示出)对基板4的位置进行调整定位，之后检测人员通过检测平台部3的上下前后左右旋转对基板4的宏观不良情况进行全方位的检测，在此之前，外部气体管道33处于非供气状态。当检测完成后，外部气体管道33开始供气，经由外部气体管道33、内部气体管道35及喷嘴353朝向待处理的基板4流动，且流动的方向与基板面呈第一锐角的气流可移动地对基板4进行喷吹，将宏观不良检测设备内的污染物(Macro Particle)41吹走。

优选的，喷嘴安装孔342的形状为圆形，分为两排均匀的并列布置在第一侧面341上，第一排喷嘴安装孔342a与第二排喷嘴安装孔342b的位置相互错开。使得喷吹气流均匀、流畅且稳定。

优选的，内部气体管道35为两个，分别是内部气体管道35a和内部气体管道35b，内部气体管道35a上的多个喷嘴353a与第一排喷嘴安装孔342a相连，内部气体管道35a上的一个接口351a通过气体管道进出口344与外部气体管道33a相连接，另一个接口352a通过气体管道进出口344与外部气体管道33b相连接，内部气体管道35b上的多个喷嘴353b与第二排喷嘴安装孔342b相连，内部气体管道35b上的一个接口351b通过气体管道进出口344与外部气体管道33c相连接，另一个接口352b通过气体管道进出口344与外部气体管道33d相连接。此喷气管路结构简单，以较少的外部气体供气管道实现了喷吹末端的较多的喷吹路径。

上述实施例中喷嘴安装孔342的排数并不局限于两排，内部气体管道的个数也不局限于两个，本领域的技术人员可根据实际情况选择三排甚至更多排的喷嘴安装孔，及相应的内部气体管道个数和外部气体管道个数。

优选的，第一锐角处于30-60度的范围内。

优选的，可移动对位器件34的第一侧面341及第二侧面343与可移动对位器件34的移动方向垂直。

优选的，喷嘴末端的中心轴线与基板面呈第二锐角，该第二锐角处于30-60度的范围内。喷吹的气流的流向通过喷嘴末端的中心轴线与基板面所呈的第二锐角来控制。

虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。