1.一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置,其特征在于,包括可移动对位器件,
所述可移动对位器件的内部为薄壁围成的空心部,内部气体管道置于空心部中,
所述可移动对位器件包含相互平行的第一侧面和第二侧面,第一侧面开有喷嘴安装孔,第二侧面开有气体管道进出孔,
内部气体管道通过第二侧面上的气体管道进出孔与外部气体管道相连接,内部气体管道含有多个喷嘴,所述喷嘴分别与第一侧面上的喷嘴安装孔相连接,
气流经由外部气体管道、内部气体管道及喷嘴朝向待处理的基板流动,流动的方向与基板面呈第一锐角。
2.根据权利要求1所述的一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置,其特征在于,所述喷嘴安装孔的形状为圆形。
3.根据权利要求1所述的一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置,其特征在于,所述喷嘴安装孔设置为并列的至少两排。
4.根据权利要求3所述的一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置,其特征在于,所述喷嘴安装孔中不同排的喷嘴安装孔的位置相互错开。
5.根据权利要求3所述的一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置,其特征在于,所述内部气体管道为至少两个,每一个内部气体管道上的多个喷嘴与其中一排喷嘴安装孔一一对应连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置,其特征在于,所述第一锐角处于30-60度的范围内。
7.根据权利要求1所述的一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置,其特征在于,所述可移动对位器件的第一侧面及第二侧面与可移动对位器件的移动方向垂直。
8.根据权利要求1所述的一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置,其特征在于,所述喷嘴末端的中心轴线与基板面呈第二锐角。
9.根据权利要求8所述的一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置,其特征在于,所述第二锐角处于30-60度的范围内。