技术总结
本实用新型提供了一种用于降低宏观不良检测设备内的污染物的装置，包括可移动对位器件，可移动对位器件的内部为薄壁围成的空心部，内部气体管道置于空心部中，可移动对位器件包含相互平行的第一侧面和第二侧面，第一侧面开有喷嘴安装孔，第二侧面开有气体管道进出孔，内部气体管道通过第二侧面上的气体管道进出孔与外部气体管道相连接，内部气体管道含有多个喷嘴，该喷嘴分别与第一侧面上的喷嘴安装孔相连接。该装置在基板宏观不良检测结束后，由经过外部气体管道、内部气体管道及喷嘴且流动方向与基板面呈第一锐角的气流可移动的对基板整个表面进行一次喷吹，从而将宏观不良检测设备内的污染物吹走，降低了宏观不良检测设备内的污染物的量。
技术研发人员：胡慧敏;陈中明
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201621455857
技术研发日：2016.12.28
技术公布日：2017.08.11