一种用于溅镀载具的清洁装置的制作方法

本发明涉及面板制作领域，尤其涉及一种用于溅镀载具的清洁装置。

背景技术：

现有技术中，随着基板玻璃的尺寸越来越大，高世代溅镀载具的体积也逐步增长。例如，现有的11代溅镀载具的设计重量达到300kg。

随之溅镀载具重量的增加，在其传动载具持续运转的过程中，容易产生如下技术问题：传动载具底部的传动导轨与传动滚轮摩擦产生的金属灰尘大幅增加，摩擦产生的金属粉尘极易污染到膜层，造成产品良率的降低。

现有技术中溅镀载具的清洁方式还主要依靠定期酒精擦拭清除的方式，其需要停机作业，影响效能；同时也增加了人力成本。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种用于溅镀载具的清洁装置，能够在传动载具正常运作的情况下，自动清洁因摩擦产生的灰尘，并自动收集；降低灰尘造成的膜层不良的概率；结构布置合理，实现高效清洁。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种用于溅镀载具的清洁装置，用以去除溅镀载具传动载具底部的传动导轨和传动滚轮摩擦产生的金属灰尘，其特征在于，包括：装设在传动导轨周围的支架；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨上金属灰尘的刷体；装设在支架上的用以去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流的正压去除组件；以及用以产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集的真空去除收集组件。

其中，正压去除组件至少包括一喷嘴，喷嘴朝向所述刷体对所述传动导轨进行刷持的位置喷射气流。

其中，正压去除组件还具有与喷嘴相连的管体和与管体相连的正压接入口。

其中，真空去除收集组件装设在刷体的底部，真空去除收集组件通过产生负压形成定向气流流向。

其中，支架上开设有凹槽，传动导轨穿过凹槽。

其中，刷体设置在凹槽的底部，与传动导轨触碰。

其中，凹槽的截面呈u形。

其中，正压去除组件固定在凹槽的开口侧。

实施本发明所提供的用于溅镀载具的清洁装置，具有如下有益效果：刷体能够去除附着在传动导轨上的金属灰尘；正压去除组件能够去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流；真空去除收集组件能够产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集，能够在传动载具正常运作的情况下，自动清洁因摩擦产生的灰尘，并自动收集；降低灰尘造成的膜层不良的概率；结构布置合理，实现高效清洁。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例溅镀载具的主视结构示意图。

图2是本发明实施例溅镀载具的俯视结构示意图。

图3是本发明实施例用于溅镀载具的清洁装置的截面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-图3所示所示，为本发明用于溅镀载具的清洁装置的实施例一。

本实施例中的溅镀载具9为框架结构，其主要用于高世代玻璃g8.5以上tftcfito溅镀成膜制程，或其他sputter成膜制程。溅镀载具9上装配有传动载具，传动载具用以通过其所具有的相适配的传动滚轮91和传动导轨92实现其上夹持物品的往复移动。

进一步的，用于溅镀载具的清洁装置，用以去除溅镀载具9传动载具底部的传动导轨92与传动滚轮91摩擦产生的金属灰尘，其能够改善磁控真空溅镀载具因摩擦产生的不良。可以理解的是，本实施例中的清洁装置还可以应用在通过滚轮和导轨进行物品输运其它载具的清洁中。

本实施例中的用于溅镀载具的清洁装置包括：装设在传动导轨92周围的支架1；装设在支架1上的用以去除附着在传动导轨上金属灰尘的刷体2；装设在支架1上的用以去除附着在传动导轨92和/或传动滚轮91表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流的正压去除组件3；以及用以产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集的真空去除收集组件4。

支架1能够固定刷体2、以及正压去除组件3和真空去除收集组件4的部分结构，通过其结构设计能够适配安装在传动滚轮91和/传动导轨92的外周。例如：支架1的一侧设有截面呈u形的凹槽11，该凹槽11使传动导轨92能够容穿过，且刚好使传动滚轮91与凹槽11的侧壁保持一定的距离。如此，更便于快速装配，也更节省装配空间；该将支架1固定在传动滚轮的周围的装配位置能够提升吸尘效率。

刷体2设置在凹槽11的底部，刷体2的作用是：与传动导轨92触碰，能够去除附着在传动导轨92上的金属灰尘。本实施例中的刷体2为一毛刷。其它实施方式中，可将毛刷设为可自转的结构构造，增加刷体与传动导轨的接触面积，提升清洁效率。

正压去除组件3对称的固定在凹槽11的开口侧，正压去除组件3的作用是：去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流。具体实施时，正压去除组件3具有一设置在刷体2周围的喷嘴31，还具有与喷嘴31相连的管体和与管体相连的正压接入口33，由正压接入口33输入气体并通过喷嘴31喷出正压定向气流，其能够防止刷体2周围的灰尘扩散。

优选的，喷嘴31朝向刷体2对传动导轨92进行刷持的位置喷射气流。如此设置的作用是：使能够配合真空去除收集组件4对灰尘进行集中收集，防止刷体2周围的灰尘扩散。

真空去除收集组件4装设在刷体2的底部，其能够通过产生负压形成定向气流流向。本实施例中的真空去除收集组件4的吸入端41与支架1结合为一体，其吸入端41配置在刷体2的底部，而一连接接口42则配置在清洁装置整体的底部以外接真空设备。

真空去除收集组件4的作用是：产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集，能够在传动载具正常运作的情况下，自动清洁因摩擦产生的灰尘，并自动收集。真空去除收集组件4产生的负压在吸入端41形成吸入式气流流向，用于收集金属灰尘。其中：将吸入端41设置在刷体2的底部，其能够配合刷体2以及正压去除组件3喷嘴31喷出的气流对传动载具底部的传动导轨92和传动滚轮91摩擦产生的的金属灰尘进行有效吸附。

本发明所提供的用于溅镀载具的清洁装置在具体实施时，通过刷体去除附着在传动导轨上的金属灰尘；通过正压去除组件去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流；通过真空去除收集组件能够产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集，并在传动载具正常运作的情况下，自动清洁因摩擦产生的灰尘，并自动收集；该结构设计能够节省停机保养时间，提升设备稼动率。减小金属灰尘造成的成膜不良。

实施本发明所提供的用于溅镀载具的清洁装置，具有如下有益效果：能够在传动载具正常运作的情况下，自动清洁因摩擦产生的灰尘，并自动收集；降低灰尘造成的膜层不良的概率；结构布置合理，实现高效清洁。