一种单晶硅片的清洗烘干装置的制作方法

文档序号:20034939发布日期:2020-02-28 10:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种单晶硅片的清洗烘干装置,其特征在于:包括顶部、红外感应装置、化学清洗池、物理清洁池和烘干室,顶部的下方从左至右依次是取片室、化学清洗池、物理清洁池、烘干室和封装室,取片室、化学清洗池、物理清洁池、烘干室和封装室位于同一水平线上;

所述顶部包括顶板、传送装置和伸缩装置,在顶板的下方设有传送装置,传送装置包括两个电机、两个卷轮、传送带,电机分别固定在顶板的两头,每个电机下方连接有卷轮,传送带套链在两个卷轮上;

所述伸缩装置安装在传送带上,伸缩装置包括一根固定轴、两个滑轮、电机、卷绳和夹子,两个滑轮分别套装在固定轴的两侧,固定轴的中心安装有电机,两个滑轮与电机连通,固定轴嵌装在传送带上,卷绳顺时针缠绕在滑轮上,卷绳上端固定滑轮上,卷神下端设有夹子,

所述红外感应装置包括信号发射器和信号接收器,信号发射器的两端水平安装在夹子的上方卷绳上,信号接收器安装在取片室、化学清洗池、物理清洁池、烘干室和封装室的内侧底部;

所述化学清洗池内侧有超声波发生器,化学清洗池的外侧设有进液阀和排液阀;

所述物理清洁池的外侧设有进水阀和排水阀;

所述烘干室的内侧右边设有热风机,热风机的出风口贯穿烘干室的内部。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片的清洗烘干装置,其特征在于:所述伸缩装置的固定夹上设有振动器。

3.根据权利要求1所述的单晶硅片的清洗烘干装置,其特征在于:所述化学清洗池的超声波发生器内设有多个超声波振子。

4.根据权利要求1所述的单晶硅片的清洗烘干装置,其特征在于:所述烘干室的热风机的左侧设有导风板,导风板上均匀设有透气孔。

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