清洁过程，在PC中输入控制程序，以使得PC能够在腔室清洁装置进行清洁作业的过程中，输出相应的控制程序，控制腔室清洁装置中的各个执行部件执行相应的动作。
[0038]第二、可以将从第一工位A作为起始端，经过输送入口 30、清洁轨道02以及输送出口 31，到第二工位B的路线长度称为清洁布210的工作长度。因此，本发明实施例中个一卷清洁布210的长度大于等于上述工作长度。
[0039]因此，当清洁轨道02被部分清洁布210覆盖时，清洁布210的其余部分可以缠绕于位于第一工位A处的卷轴201上、缠绕于位于第二工位B处的卷轴202上，并且在输送入口 30和输送出口 31中还存在有呈展开状态的部分清洁布210。这样一来，位于第一工位A处的卷轴201上还有部分未清洁过的清洁布210，从而可以避免由于清洁布的长度过短，而增加更换清洁布的步骤。
[0040]第三、上述控制器10可以仅控制位于第二工位B处的卷轴202进行转动，由于位于第一工位A处的卷轴201和第二工位B处的卷轴202通过清洁布210相连接，因此在第二工位B处的卷轴202作为主动轮进行转动的情况下，第一工位A处的卷轴201可以作为从动轮转动。从而避免了重复控制，简化了控制电路。
[0041]第四、本发明实施例中的清洁布210可以是活性碳纤维布。所述活性炭纤维是经过活化的含炭纤维，经过高温活化后，其表面可以产生纳米级的孔，因此具有很高的吸附能力。
[0042]在清洁布210为活性炭纤维布的情况下，控制器10可以控制位于第一工位A处的卷轴201和位于第二工位B处的卷轴202停止旋转，在清洁轨道02上静止运动的活性炭纤维布可以在腔室01内对该活性炭纤维布周围的颗粒物进行吸附，从而达到清洁腔室01的目的。此外，当清洁轨道02上静止运动的活性炭纤维布吸附一段时间后，可以通过控制器10控制位于第二工位B处的卷轴202进行旋转，将吸附有颗粒物的活性炭纤维缠绕于第二工位B处的卷轴202上。
[0043]本发明实施例提供一种腔室清洁装置，可以包括:用于提供控制信号的控制器、供给设备，以及设置于所述腔室内部的清洁轨道。供给设备设置有第一工位和第二工位，第一工位与输送入口相对应，第二工位与输送出口相对应。该供给设备包括至少两个卷轴，以及部分位于所述清洁轨道上的清洁布，位于第一工位的卷轴与清洁布的一端相连接，位于第二工位的卷轴与清洁布的另一端相连接。这样一来，当位于第一工位的卷轴在控制器的控制下进行旋转时，可以将清洁布从输送入口传送至清洁轨道上，清洁布在清洁轨道上呈展开的状态，通过对腔室内颗粒物的吸附，达到清洁的作用。在清洁一定时间后，位于第二工位上的卷轴可以在控制器的控制下进行旋转，可以在输送出口处对清洁后的清洁布进行收集。综上所述，在这个清洁过程中，通过卷轴的旋转带动清洁布出入腔室，因此避免了现有技术中采用吸尘器清洁时产生的气流波动对曝光机内部环境因素的影响。此外整个清洁过程有控制器操控完成，因此相对于人工清洁而言，生产效率高。
[0044]为了提高清洁装置的效率，当位于第一工位A处的卷轴201上的清洁布完全脱离该卷轴201时，可以自动更换安装有另一卷清洁布210的卷轴，或者，当第一工位A处的卷轴201上的清洁布的起始端和末端均缠绕于位于第二空位B处的卷轴202上时，需要在第二工位B处，自动更换一个空的卷轴。为了实现上述卷轴的自动更换，本发明提供以下实施例。
[0045]实施例一
[0046]如图2所示，供给设备20还可以包括环形的供给导轨220，第一工位A和第二工位B设置于该供给导轨220上。所述卷轴(201和202)安装于供给导轨220上，并在控制器10的控制下，可以沿供给导轨220进行移动。这样一来，可以通过供给导轨220为实现卷轴的自动更换提供移动路径。
[0047]为了实现卷轴的自动更换，供给设备20还可以包括第一更换单元240和第二更换单元241。
[0048]具体的，第一更换单元240可以设置于输送入口 30与第一工位A之间，用于将相邻两卷清洁布210的末端和起始端相连接；
[0049]第二更换单元241设置于输送出口 31与第二工位B之间，用于将相连接的两卷清洁布210的末端与起始端分开；或用于将输送出口处31的清洁布210的起始端与位于第二工位B的未安装清洁布210的卷轴相连接。
[0050]其中，如图3所示，第一更换单元240、第二更换单元241可以分别输出、回收第二链接扣212以实现相邻两卷清洁布的首尾相连、收尾分开。具体的，上述第二链接扣212上可以设置有卡槽，使得凸起状的第一链接扣211能够卡入上述卡槽中，或者从上述卡槽中脱离，从而实现相邻两卷清洁布的首尾相连，或者首尾分开。或者，第一链接扣211可以是金属薄片，而第二链接扣212可以是磁铁薄片，通过第一连接器240使得第一链接扣211吸附于第二链接扣212上；通过第二连接器241对第二链接扣212进行消磁处理，以使得第二链接扣212从第一链接扣211上脱离。
[0051]此外，在上述卷轴上可以设置有卡槽，使得第二更换单元241通过机械手将清洁布210上的呈凸起状的第一链接扣211卡入上述卡槽中，从而使得第二更换单元241将输送出口处31的清洁布210的起始端与位于第二工位B的未安装清洁布210的卷轴相连接。或者，在第一链接扣211为金属薄片的情况下，上述卷轴上可以设置有磁铁薄片，使得第二更换单元241上通过机械手将清洁布210上的第一链接扣211与卷轴上的磁铁薄片相吸附，以实现第二更换单元241将输送出口处31的清洁布210的起始端与位于第二工位B的未安装清洁布210的卷轴相连接的目的。
[0052]当然，上述仅仅是对第一更换单元240、第二更换单元241连接方式的举例说明，其它方式在此不再一一赘述，但都应当属于本发明的保护范围。
[0053]以下对涉及卷轴的自动更换过程的腔室清洁装置的清洁过程进行详细的说明。在腔室清洁装置可以包括三个卷轴，分别为第一卷轴2001、第二卷轴2002、第三卷轴2003的情况下，具体的清洁过程为:
[0054]首先，第一卷轴2001位于第一工位A，第二卷轴2002位于第二工位B。
[0055]其次，将第一卷轴2001上的第一清洁布2100的起始端与第二卷轴2002相连接；其中，由于第一清洁布2100安装于第一卷轴2001上，因此第一清洁布2100的末端与第一卷轴2001相连接。
[0056]其次，第一卷轴2001在控制器10的控制下，或者在第二卷轴2002的带动下进行旋转，将第一清洁布2100从输送入口 30传送至清洁轨道02上。
[0057]接下来，当第一清洁布2100的末端完全脱离第一卷轴2001时，第一卷轴2001停止旋转并沿第一方向(如图2中的实线线头所示的顺时针方向)，向第二工位B移动。
[0058]需要说明的是，本发明实施例中的第一方向是以顺时针方向为例进行的说明。当然所述第一方向也可以是逆时针方向，本发明对此并不限定。
[0059]接下来，第三卷轴2003沿所述第一方向移动至第一工位A后停止，第一更换单元240将第三卷轴2003上的第二清洁布2101的起始端与第一清洁布2100的末端相连接。第三卷轴2003进行旋转并将第二清洁布2101由输送入口 30传输至清洁轨道02上。
[0060]接下来，当第一清洁布2100的末端与第二清洁布2101的起始端在输送出口 31与第二工位B之间被第二更换单元241分开，第一清洁布2100的起始端和末端均缠绕于第二卷轴上时，第二卷轴2002沿第一方向离开所述第二工位B。
[0061]接下来，第一卷轴2001移动至第二工位B后停止，通过第二更换单元241与从输送出口 31传出的第二清洁布2101的起始端相连接。
[0062]最后，第一卷轴2001旋转，对第二清洁布2101进行收集。
[0063]需要说明的是，当第一卷轴2001离开第一工位A后，在到达第二工位C之前，上述清洁过程还包括:
[0064]第一卷轴2001，移动至预设位置D后停止；其中，所述预设位置D位于第一工位A和第二工位B之间；
[0065]接下来，当第二卷轴2002离开第二工位B后，在预设位置D处的第一卷轴2001，沿第一方向，向第二工位B移动。
[0066]这样一来，可以避免第一卷轴2001移动速度过快而影响到正处于第二工位B上进行工作的第二卷轴2002。
[0067]上述清洁过程通过将在第一工位A和第二工位B处进行卷轴的自动更换，可以使得清洁过程延续，避免人为续接两卷清洁布210，而造成设备的停机(Down机)，使得稼动率降低。
[0068]为了提高清洁布210的重复利用率，降低成本，本发明