节部件402以竖直调节部件401为中心进行旋转，并沿水平方向伸缩，带动导向部件403上的清洁布210沿水平方向运动。
[0104]这样一来，可以在清洁布210的清洁能力范围内，达到最大的清洁范围和最佳的清洁效果。
[0105]本发明实施例提供一种腔室清洁装置的控制方法，用于控制如上所述的任意一种腔室清洁装置的方法，如图7所示，所述方法可以包括:
[0106]SlOl、如图3所示，将第一卷轴2001位于第一工位A，第二卷轴2002位于第二工位B。
[0107]S102、将第一卷轴2001上的第一清洁布2100的起始端与第二卷轴2101相连接；其中，由于第一清洁布2100安装于第一卷轴2001上，因此第一清洁布2100的末端与所述第一卷轴相连接；
[0108]S103、第一卷轴2001进行旋转，将第一清洁布2100从输送入口 30传送至清洁轨道02上。
[0109]S104、清洁轨道02将第一清洁布2100展开，第一清洁布2100沿清洁轨道02对腔室01进行清洁。
[0110]S105、第二卷轴2002进行旋转，将第一清洁布2100进行收集。
[0111]本发明实施例提供一种腔室清洁装置的控制方法，包括:首先，将第一卷轴位于第一工位，第二卷轴位于第二工位；然后，将第一卷轴上的第一清洁布的起始端与第二卷轴相连接；第一清洁布的末端与所述第一卷轴相连接；接下来第一卷轴进行旋转，将第一清洁布从输送入口传送至清洁轨道上；接下来，清洁轨道将第一清洁布展开，第一清洁布沿清洁轨道对腔室进行清洁；最后，第二卷轴进行旋转，将第一清洁布进行收集。这样一来，当位于第一工位的卷轴在控制器的控制下进行旋转时，可以将清洁布从输送入口传送至清洁轨道上，清洁布在清洁轨道上呈展开的状态，通过对腔室内颗粒物的吸附，达到清洁的作用。在清洁一定时间后，位于第二工位上的卷轴可以在控制器的控制下进行旋转，可以在输送出口处对清洁后的清洁布进行收集。综上所述，在这个清洁过程中，通过卷轴的旋转带动清洁布出入腔室，因此避免了现有技术中采用吸尘器清洁时产生的气流波动对曝光机内部环境因素的影响。此外整个清洁过程有控制器操控完成，因此相对于人工清洁而言，生产效率尚O
[0112]实施例三
[0113]为了提高清洁装置的效率，当位于第一工位A处的卷轴201上的清洁布完全脱离该卷轴201时，可以自动更换安装有另一卷清洁布210的卷轴，或者，当第一工位A处的卷轴201上的清洁布的起始端和末端均缠绕于位于第二空位B处的卷轴202上时，需要在第二工位B处，自动更换一个空的卷轴。本发明实施例提供的可以实现上述卷轴的自动更换过程的腔室清洁控制方法在上述步骤S103之后，如图8所示，还可以包括:
[0114]S201、当第一清洁布2100的末端完全脱离第一卷轴2001时，第一卷轴2001停止旋转并沿第一方向(如图2中的实线线头所示的顺时针方向)，向第二工位B移动。
[0115]需要说明的是，本发明实施例中的第一方向是以顺时针方向为例进行的说明。当然所述第一方向也可以是逆时针方向。
[0116]S202、第三卷轴2003沿所述第一方向移动至第一工位A后停止，第一更换单元240将第三卷轴2003上的第二清洁布2101的起始端与第一清洁布2100的末端相连接。第三卷轴2003进行旋转并将第二清洁布2101由输送入口 30传输至清洁轨道02上。
[0117]S203、当第一清洁布2100的末端与第二清洁布2101的起始端在输送出口 31与第二工位B之间被第二更换单元241分开，第一清洁布2100的起始端和末端均缠绕于第二卷轴上时，第二卷轴2002沿第一方向离开所述第二工位B。
[0118]S204、第一卷轴2001移动至第二工位B后停止，通过第二更换单元241与从输送出口 31传出的第二清洁布2101的起始端相连接。
[0119]S205、第一卷轴2001旋转，对第二清洁布2101进行收集。
[0120]需要说明的是，当第一卷轴2001离开第一工位A后，在到达第二工位C之前，上述清洁过程还包括:
[0121]首先，第一卷轴2001，移动至预设位置D后停止；其中，所述预设位置D位于第一工位A和第二工位B之间；
[0122]接下来，当第二卷轴2002离开第二工位B后，在预设位置D处的第一卷轴2001，沿第一方向，向第二工位B移动。
[0123]这样一来，可以避免第一卷轴2001移动速度过快而影响到正处于第二工位B上进行工作的第二卷轴2002。
[0124]上述清洁过程通过将在第一工位A和第二工位B处进行卷轴的自动更换，可以使得清洁过程延续，避免人为续接两卷清洁布210，而造成设备的停机(Down机)，使得稼动率降低。
[0125]实施例四
[0126]为了提高清洁布210的重复利用率，降低成本，所述腔室清洁装置的控制方法还包括:
[0127]首先，还原设备32对还原导轨310上的清洁布进行还原处理。
[0128]然后，还原处理后的清洁布通过还原导轨310，传送至供给导轨220。这样一来，还原设备32可以对清洁后的清洁布210进行还原处理，使其能够重复利用。具体的还原过程，可以是对清洁布210进行清洗、烘干处理。或者，当清洁布210为活性炭纤维布时，可以通过脱附方法对活性炭纤维布进行还原。具体的脱附方法可以包括:高温脱附、减压脱附、冲洗脱附、置换脱附、磁化脱附以及超声波脱附等等。
[0129]此外，在腔室清洁装置包括设置于清洁轨道02上方，或者，设置于输送出口 31与还原入口 301之间，位于供给导轨220上方的至少一个检测器的情况下，上述方法如图9所示，可以包括:
[0130]S301、检测器可以对第一清洁布2100的吸附饱和量进行检测，测量第一清洁布2100的吸附饱和量是否达到检测器的设定阈值。
[0131]S302、当第一清洁布2100的吸附饱和量达到检测器的设定阈值时，向控制器10发送预警信号。
[0132]S303、控制器接受上述预警信号并报警。
[0133]S304、第一清洁布2100的起始端与末端均缠绕于第二卷轴2002上。
[0134]S305、第二卷轴2002沿第一方向通过还原入口 301进入还原导轨310。
[0135]S306、还原设备32对还原导轨301上的清洁布(即清洁后的上述第一清洁布2100)进行还原处理。
[0136]S307、经过还原处理的第一清洁布2100，可以由第二卷轴2002通过还原出口 302运送至供给导轨220上，并移动至第一工位A，以使得还原后的清洁布2100能够被重新利用。
[0137]S308、当第一清洁布2100的吸附饱和量未达到检测器的设定阈值时，第一清洁布2100的起始端与末端均缠绕于第二卷轴2002上。
[0138]S309、第二卷轴2002沿第一方向，向第一工位A移动，以使得吸附饱和量未达到检测器的设定阈值的第一清洁布2100能够被再次利用。
[0139]这样一来，可以通过清洁布的再次利用，降低生产升本。
[0140]需要说明的是，第一、对于上述实施例而言，以上描述过程中提及的第一卷轴2001、第二卷轴2002、第三卷轴2003仅仅是为了利于清楚的描述更换过程，而对装置中的卷轴进行的划分。其中，同一个卷轴可以具有不同的工位。例如第一卷轴2001，当其位于第一工位A时，为该腔室清洁装置中位于第一工位的卷轴201 ;当其位于第二工位B时，为该腔室清洁装置中位于第二工位B的卷轴202。第二卷轴2002与第三卷轴2003同理。
[0141]此外，以上描述过程中提及的第一清洁布2100和第二清洁布2101也是为了利于清楚的描述更换过程，而对腔室清洁装置中的清洁布进行的划分。其中，同一清洁布可以位于不同的位置，例如当第一清洁布2100的部分位于清洁轨道02上时，该清洁布为装置中部位位于清洁布轨道02上的清洁布202 ;当第一清洁布2100位于还原设备32中时，所述第一清洁布2100为腔室清洁装置中位于还原导轨310上的清洁布210。
[0142]第二、上述仅仅是以腔室清洁装置中包括三个卷轴和两卷清洁布为例进行的说明，其他数量的卷轴和清洁布在此不再一一赘述，但都应当属于本发明的保护范围。
[0143]实施例五
[0144]在清洁轨道02由对位置调节器40构成的情况下，所述步骤S104，如图10所示，可以包括:
[0145]S401、当清洁布210在清洁轨道02上展开时，控制器10向位置调节器40发送清洁参数。例如，当清洁布210为活性碳纤维布时，该清洁参数可以与所述活性碳纤维