专利名称：一种氯硅烷水解吸收塔的制作方法
技术领域：
本实用新型属于硅化工领域，涉及一种氯硅烷水解吸收塔。
背景技术：
多晶硅，是单质硅的一种形态，是极为重要的优良半导体材料。多晶硅是电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。多晶硅生产过程中产生的氯硅烷残液、废气，属易燃、易爆危险介质，常采用水解加碱液中和的办法进行处理，处理过程中存在爆炸的危险；另外氯硅烷残液、废气水解时还会产生大量的二氧化硅固体物质。常见的填料洗涤塔无法满足该工艺过程的需要，不能有效避免爆炸的危险、固体物质堵塞塔器的情况。
实用新型内容本实用新型的发明目的在于针对上述存在的问题，提供一种氯硅烷水解吸收塔。 该水解吸收塔构思巧妙、设计合理，有效避免了爆炸的危险和固体物质堵塞塔器的问题。为实现上述目的，本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种氯硅烷水解吸收塔，包括塔体、进口管和尾气出口管，所述进口管设置在塔体的下部，所述尾气出口管设置在塔体的顶部，所述塔体的一端敞开，所述塔体上还设置有喷淋液进口管。作为优选方式，所述塔体的敞开端设置在循环液地槽内。作为优选方式，所述喷淋液进口管上设置有螺旋喷嘴。本实用新型氯硅烷水解吸收塔下端口敞开，塔内不装任何填料，使用时可根据工艺条件将塔敞开端浸没在循环液地槽内，这样塔内出现异常超压时可从塔敞开端突出，有效避免了爆炸的危险；同时，氯硅烷水解过程中产生的固体物质也可直接从塔底部排出，不至于出现堵塞的情况；采用不锈钢螺旋喷嘴，均勻分布洗涤液，使气液充分接触，并解决了喷淋器易堵塞的问题，保证了洗涤效果。由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是本实用新型构思巧妙、设计合理，有效避免了爆炸的危险和固体物质堵塞塔器的问题。
图1是本实用新型结构示意图。图中标记1塔体、2进口管、3尾气出口管、4喷淋液进口管、5螺旋喷嘴。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型作详细的说明。为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。实施例如图1所示，一种氯硅烷水解吸收塔，包括塔体1、进口管2和尾气出口管 3，所述进口管2设置在塔体1的下部，所述尾气出口管3设置在塔体1的顶部，所述塔体1 的一端敞开，所述塔体1上还设置有喷淋液进口管4。所述塔体1的敞开端设置在循环液地槽内。所述喷淋液进口管4上设置有螺旋喷嘴5。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种氯硅烷水解吸收塔，其特征在于包括塔体(1)、进口管(2)和尾气出口管(3)， 所述进口管(2)设置在塔体(1)的下部，所述尾气出口管(3)设置在塔体(1)的顶部，所述塔体(1)的一端敞开，所述塔体(1)上还设置有喷淋液进口管(4)。
2.如权利要求1所述的一种氯硅烷水解吸收塔，其特征在于所述塔体(1)的敞开端设置在循环液地槽内。
3.如权利要求1所述的一种氯硅烷水解吸收塔，其特征在于所述喷淋液进口管(4)上设置有螺旋喷嘴(5)。
专利摘要本实用新型公开了一种氯硅烷水解吸收塔，包括塔体(1)、进口管(2)和尾气出口管(3)，所述进口管(2)设置在塔体(1)的下部，所述尾气出口管(3)设置在塔体(1)的顶部，所述塔体(1)的一端敞开，所述塔体(1)上还设置有喷淋液进口管(4)。本实用新型构思巧妙、设计合理，有效避免了爆炸的危险和固体物质堵塞塔器的问题。
文档编号B01D53/78GK202028324SQ20112007709
公开日2011年11月9日 申请日期2011年3月23日 优先权日2011年3月23日
发明者曾维华 申请人:四川瑞能硅材料有限公司