精密液体气相发生器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种精密液体气相发生器，包括气液混合控制管路，所述气液混合控制管路包括气体进入管路、液体进入管路，所述气体进入管路、液体进入管路结合后经过气液混合加热系统加热，构成高温混合气体出口管路。本实用新型的组合式设计，相较于现有技术的气液混合装置，不仅操作方便，而且具有可控性强、调节性强、安全可靠的优势。
【专利说明】精密液体气相发生器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种气相发生器，具体涉及一种精密液体气相发生器。
【背景技术】
[0002]目前市场上还没有组合整体式的精密气相发生器，有的只是单独的气液混合罐，气体流量控制器是单独的浮子流量计或是质子流量控制器，还没有将这些系统整合在一起的设备。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种操作方便快捷、采用模块化组合方式的精密液体气相发生器。
[0004]一种精密液体气相发生器，包括气液混合控制管路，所述气液混合控制管路包括气体进入管路、液体进入管路，所述气体进入管路、液体进入管路结合后经过气液混合加热系统加热，构成高温混合气体出口管路。
[0005]所述气体进入管路、液体进入管路结合处设有四通阀，所述四通阀将气体进入管路、液体进入管路结合后使其流入通往气液混合加热系统的混合管路，所述四通阀的第四条管路连接有密微型可调安全阀。
[0006]所述气体进入管路上设有双卡套角式穿板截止阀及气体流量控制器。
[0007]所述液体进入管路上设有数字液体蠕动泵。
[0008]所述气液混合加热系统进入端的管路上设有压力表。
[0009]所述高温混合气体出口管路上设置有保温装置。
[0010]所述气液混合加热系统置于不锈钢或石英混合罐中。
[0011]所述气液混合加热系统和保温装置分别采用两套独立的智能PID温控系统。
[0012]本实用新型的组合式设计，相较于现有技术的气液混合装置，不仅操作方便，而且具有可控性强、调节性强、安全可靠的优势。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型的管路结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]以下结合具体实施例，对本实用新型做进一步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限制本实用新型的范围。
[0015]实施例1
[0016]参见图1，本实用新型提供的一种精密液体气相发生器，包括置于发生器壳体(图未示)中的气液混合控制管路I，所述气液混合控制管路I包括气体进入管路la、液体进入管路lb，所述气体进入管路la、液体进入管路Ib结合后经过气液混合加热系统Ic加热，构成高温混合气体出口管路ld，最终将高温混合气体排出发生器壳体外。
[0017]实施例2
[0018]作为对上述实施例的进一步改进，所述气体进入管路la、液体进入管路Ib结合处设有四通阀2，所述四通阀2将气体进入管路la、液体进入管路Ib结合后使其流入通往气液混合加热系统Ic的混合管路，为了提高使用时的安全性，所述四通阀2的第四条管路连接有密微型可调安全阀le。
[0019]实施例3
[0020]作为对实施例1的进一步改进，所述气体进入管路Ia上设有双卡套角式穿板截止阀3及气体流量控制器4，方便于对气体进入流量的控制。
[0021]实施例4
[0022]作为对实施例1的进一步改进，所述液体进入管路Ib上设有数字液体蠕动泵5，方便于对液体进入流量的控制。
[0023]实施例5
[0024]作为对实施例1的进一步改进，所述气液混合加热系统Ic进入端的管路上设有压力表6,方便于随时准确掌握该处管道的压力。
[0025]实施例6
[0026]作为对实施例1的进一步改进，所述高温混合气体出口管路Id上设置有保温装置，降低因管道流通对混合气体温度所带来的影响。
[0027]实施例7
[0028]作为对实施例1的进一步改进，所述气液混合加热系统Ic置于不锈钢或石英混合罐7中，确保加热温度的同时，可提高操作时的安全性。
[0029]实施例8
[0030]所述气液混合加热系统和实施例6中所述的保温装置分别采用两套独立的智能PID温控系统，可以根据客户不同实验的需要进行温度的设定。极大的提高整体系统的应用性。
【权利要求】
1.一种精密液体气相发生器，其特征在于:包括气液混合控制管路，所述气液混合控制管路包括气体进入管路、液体进入管路，所述气体进入管路、液体进入管路结合后经过气液混合加热系统加热,构成高温混合气体出口管路。
2.根据权利要求1所述的精密液体气相发生器，其特征在于:所述气体进入管路、液体进入管路结合处设有四通阀，所述四通阀将气体进入管路、液体进入管路结合后使其流入通往气液混合加热系统的混合管路，所述四通阀的第四条管路连接有密微型可调安全阀。
3.根据权利要求1或2所述的精密液体气相发生器，其特征在于:所述气体进入管路上设有双卡套角式穿板截止阀及气体流量控制器。
4.根据权利要求1或2所述的精密液体气相发生器，其特征在于:所述液体进入管路上设有数字液体蠕动泵。
5.根据权利要求1或2所述的精密液体气相发生器，其特征在于:所述气液混合加热系统进入端的管路上设有压力表。
6.根据权利要求1所述的精密液体气相发生器，其特征在于:所述高温混合气体出口管路上设置有保温装置。
7.根据权利要求1所述的精密液体气相发生器，其特征在于:所述气液混合加热系统置于不锈钢或石英混合罐中。
8.根据权利要求6所述的精密液体气相发生器，其特征在于:所述气液混合加热系统和保温装置分别采用两套独立的智能PID温控系统。
【文档编号】B01F3/04GK203525577SQ201320661002
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年10月24日 优先权日:2013年10月24日
【发明者】方辉, 邾根祥, 江晓平 申请人:合肥科晶材料技术有限公司