两端子CMUT设备的制作方法

文档序号:11630365阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种超声系统,包括:超声阵列,其包括至少一个电容性微机械超声换能器设备,所述至少一个电容性微机械超声换能器设备包括:薄膜,所述薄膜被耦合到第一电极;衬底,所述衬底与所述薄膜相对并且被耦合到第二电极和第三电极,在所述衬底与所述薄膜之间存在气体或真空腔,其中,所述第二电极在外围区域中与所述第一电极相对,并且所述第三电极在中心区域中与所述第一电极相对;至少一个驱动电路,其被耦合到所述阵列。所述系统还包括:高阻抗电阻器,当所述CMUT设备的所述薄膜处在所述塌陷状态中并且所述CMUT设备在操作频率处被激活时,所述高阻抗电阻器被电气地耦合到所述第二电极与所述第三电极并且具有比所述第一电极与所述第二电极之间的AC阻抗更高的阻抗值。

技术研发人员:F·P·M·布德泽拉;A·W·格伦兰德;A·C·范伦斯
受保护的技术使用者:皇家飞利浦有限公司
技术研发日:2015.11.30
技术公布日:2017.08.01
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