一种高纯石英砂酸洗用反应釜的制作方法

文档序号:14221048阅读:来源:国知局
一种高纯石英砂酸洗用反应釜的制作方法

技术特征:

1.一种高纯石英砂酸洗用反应釜,其特征在于:它包含釜体、加热片、釜盖、加压嘴、放气阀、气压仓、活塞、锁紧器、通气管、温度传感器、压力传感器;所述釜体的内侧壁上设置有加热片,所述釜体的上端安装有加压嘴,所述加压嘴通过加压管与釜体的内部连通,所述釜体上端的安装架上连接有釜盖,所述安装架的下端安装有气压仓,所述气压仓的内部设置有活塞,所述活塞的活塞杆穿接在釜盖上,所述釜盖上安装有锁紧器,所述锁紧器套接在活塞杆上,所述气压仓的底部设置有通气管,所述气压仓的底侧壁上分别安装有温度传感器、压力传感器,所述釜体的上侧壁上安装有放气阀。

2.根据权利要求1所述的一种高纯石英砂酸洗用反应釜,其特征在于:所述锁紧器包含锁紧壳体、耐磨套、锁紧栓;所述锁紧壳体的内侧壁上安装有耐磨套,所述锁紧壳体上对称的安装有两个锁紧栓,所述锁紧栓的前端安装有防滑块。

3.根据权利要求1所述的一种高纯石英砂酸洗用反应釜,其特征在于:所述釜盖与安装架的连接处设置有密封垫。

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