薄膜涂布系统的制作方法

文档序号:14907266发布日期:2018-07-10 22:24阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种薄膜涂布系统,其特征在于,所述薄膜涂布系统包含:

至少一个第一支承圆柱,其配置成基于转动中心轴转动;

涂布装置,其具有开口,所述开口朝向所述第一支承圆柱,其中所述涂布装置配置成经由所述开口沿着第一方向朝所述第一支承圆柱涂布可流动介电质;以及

至少一个干燥装置,其在所述第一方向上位于所述转动中心轴靠近所述涂布装置的一侧,且所述至少一个干燥装置配置成干燥所述可流动介电质。

2.如权利要求1所述的薄膜涂布系统,其特征在于,在所述转动中心轴的延伸方向上,所述开口具有第一宽度,而所述干燥装置具有第二宽度,且所述第一宽度大于所述第二宽度。

3.如权利要求1所述的薄膜涂布系统,其特征在于,所述薄膜涂布系统还包含至少一个第二支承圆柱,所述至少一个第二支承圆柱位于所述转动中心轴远离所述干燥装置的一侧,并配置成支承所述可流动介电质所涂布的可挠性基板。

4.如权利要求1所述的薄膜涂布系统,其特征在于,所述可流动介电质的材质为金属氧化物。

5.如权利要求1所述的薄膜涂布系统,其特征在于,所述干燥装置包含红外线加热装置。

6.如权利要求5所述的薄膜涂布系统,其特征在于,所述涂布装置的所述开口沿着所述第一方向在所述第一支承圆柱上对应有投影,所述红外线加热装置与所述投影之间的距离介于1毫米与100毫米之间。

7.如权利要求1所述的薄膜涂布系统,其特征在于,所述干燥装置包含抽风装置,其具有至少一个进风口以及至少一个出风口,其中所述涂布装置的所述开口沿着所述第一方向在所述第一支承圆柱上对应有第一投影,所述抽风装置沿着第二方向朝向所述第一支承圆柱,并沿着所述第二方向在所述第一支承圆柱上对应有第二投影,所述第二投影涵盖所述第一投影,且所述第二方向与所述第一方向相交。

8.如权利要求7所述的薄膜涂布系统,其特征在于,所述至少一个出风口的数量为多个,所述多个出风口沿着所述转动中心轴的延伸方向等间距地开设于所述抽风装置上。

9.如权利要求7所述的薄膜涂布系统,其特征在于,所述干燥装置与所述第一投影之间的距离介于10毫米与50毫米之间。

10.如权利要求7所述的薄膜涂布系统,其特征在于,所述第二方向实质上垂直于所述第一方向。

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