薄膜涂布系统的制作方法

文档序号:14907266发布日期:2018-07-10 22:24阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种薄膜涂布系统,其包含至少一个第一支承圆柱、涂布装置以及至少一个干燥装置。至少一个第一支承圆柱配置成基于转动中心轴转动;涂布装置具有开口,开口朝向第一支承圆柱,其中涂布装置配置成经由开口沿着第一方向朝第一支承圆柱涂布可流动介电质;干燥装置在第一方向上位于转动中心轴靠近涂布装置的一侧,且配置成干燥可流动介电质。借此,本实用新型的薄膜涂布系统,由于包含干燥装置,因此当可流动介电质涂布于可挠性基板之后不需静置至可流动介电质的流动性消失后再进行后续工艺,而是借由干燥装置在可流动介电质涂布于可挠性基板上的时间点就可即时达到干燥效果,金属氧化物溶液可被应用于属于连续工艺的卷轴式工艺中。

技术研发人员:陈玉仙;吴德峻;黄彦馀
受保护的技术使用者:中华映管股份有限公司
技术研发日:2017.12.06
技术公布日:2018.07.10

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