一种胶盘和匀胶机的制作方法

本实用新型涉及半导体生产领域，具体而言，涉及一种胶盘和匀胶机。

背景技术：

匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。该设备主要用于晶片涂光刻胶，有自动、手动和半自动三种工作方式。

目前，使用得较多匀胶机有SVG匀胶机，其设计结构存在缺陷人员更换十分不方便。尤其是女员工在更换老SVG胶盘时，因安装繁琐不到位导致废碎片问题，不仅影响产品质量，还存在一定的安全隐患。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

技术实现要素：

基于现有技术的不足，本实用新型提供了一种胶盘和匀胶机，以部分或全部地改善、甚至解决现有技术中的问题。

本实用新型是这样实现的：

在本实用新型的第一方面，提供了一种胶盘。

本实用新型所提出的胶盘适用于匀胶机。

胶盘包括：

底座，底座具有呈圆柱形结构的第一中空侧板、与第一中空侧板连接的底板，第一中空侧板的一端连接底板连接并被底板封闭、且另一端为开口端，底板还设置有呈圆柱形结构的第二中空侧板和第三中空侧板，第二中空侧板位于第一中空侧板和第三中空侧板之间，第一中空侧板、第二中空侧板、第三中空侧板将底板分隔为从圆心向外缘分布的第一区域、第二区域以及第三区域，底板在第一区域设置有第一通孔、在第二区域设置有第二通孔、在第三区域设置有第三通孔；

内圈，内圈包括圆盘状的第一板片、连接在第一板片的第一圆柱形件，柱形件从第一板片延伸，第一圆柱形件与第一板片同轴且在圆心处设置有连通的第一贯穿孔，内圈能够以可移除且第一圆柱形件与第二中空侧板配合的方式扣合在底座内，且第一板片的外缘与第一中空侧板内壁之间形成间隙；

盘盖，盘盖具有第二板片、穿设在第二板片的第二圆柱形件，第二板片与第二圆柱形件同轴设置且在圆心处设置有连通的第二贯穿孔，第二圆柱形件具有分别位于第二板片两侧的第一部分和第二部分，盘盖能够以可移除且第一部分嵌入间隙的方式扣合在底座内且覆盖内圈。

在其他的一个或多个示例中，胶盘采用尼龙制作而成。

在其他的一个或多个示例中，第二通孔为半圆形结构。

在其他的一个或多个示例中，第三通孔为半圆形结构。

在其他的一个或多个示例中，第二通孔为半圆形结构由第一弧线边和第一直线边构成，第三通孔为半圆形结构且由第二弧线边和第二直线边构成；

在底板的由圆心至边缘延伸的方向，第一弧线边邻近圆心，第一直线边远离圆心，第二弧线边远离圆心，第二直线边邻近圆心。

在其他的一个或多个示例中，第一直线边和第二直线边分别贴靠于第二中空侧板沿厚度方向的两侧。

在其他的一个或多个示例中，第二通孔和第三通孔错位布置。

在其他的一个或多个示例中，第一中空侧板的厚度大于第二中空侧板的厚度，第一中空侧板的厚度还大于第三中空侧板的厚度。

在其他的一个或多个示例中，第一部分的长度小于第二部分的长度。

在本实用新型的第二方面，提供了一种匀胶机。

匀胶机包括如前述的胶盘。

有益效果：

本实用新型实施例提供的胶盘经过外形改造设计，结合现有匀胶机的使用情况，改造了现有的胶盘，使更换胶盘更简化降低员工劳动强度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例中胶盘的底座背面的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中胶盘的底座正面的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中胶盘的底座的局部剖视的结构示意图；

图4为本实用新型实施例中胶盘的内圈的剖视结构示意图；

图5为本实用新型实施例中胶盘的盘盖的剖视结构示意图；

图6为本实用新型实施例中胶盘的整体结构示意图。

图标：101-底座；1011-第一通孔；1012-第二通孔；1013-第三通孔；10122-第二凹槽；10133-第三凹槽；201-第一中空侧板；202-第二中空侧板；203-第三中空侧板；301-第二区域；302-第三区域；400-内圈；401-第一板片；402-第一圆柱形件；403-间隙；404-第一贯穿孔；500-盘盖；501-第二板片；502-第二圆柱形件；503-第二贯穿孔；5021-第一部分；5022-第二部分。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，在不矛盾或冲突的情况下，本实用新型的所有实施例、实施方式以及特征可以相互组合。在本实用新型中，常规的设备、装置、部件等，既可以商购，也可以根据本实用新型公开的内容自制。在本实用新型中，为了突出本实用新型的重点，对一些常规的操作和设备、装置、部件进行的省略，或仅作简单描述。

在本实用新型实施例中，提供一种改进型的用于在半导体生产工艺中，匀胶机(SVG匀胶机)中的胶盘，以便降低操作员的使用难度。

参阅图1至图6。

胶盘的改造主要涉及三个部分。即胶盘的三大块，胶盘盖500、胶盘内圈400、胶盘底座101。

其一、通过将胶盘盖500的内圈400加厚，增加反溅射设计一体成型。如此，可以简化胶盘的更换步骤。从而提升设备实际做片质量。

胶盘内圈400的背洗头位置由原先的固定位置，设计为任意方向无需固定位置，减少员工更换步骤降低做片异常。

胶盘底座101取消卡槽豁口，对边缘细节进行改进有效保证运行环境。

其二、材料方面的替代，因为原材质的价格比较昂贵。通过对新材质进行各类实验，尼龙材质作为新型胶盘的材质可以降低制作成本。

具体阐述如下。

本实施例提供了一种用于匀胶机的胶盘。

胶盘包括底座101、内圈400以及盘盖500。

大体上，胶盘为柱形的结构，内圈400可以扣合在底座101内，盘盖500可以扣合在底座101内，且底座101和盘盖500扣合能够形成一个内部空腔，内圈400则位于该内部空腔内。组装配合好的胶盘在中心位置具有一个圆柱形孔。胶盘能够套设在匀胶机设备的部件上，且该匀胶机设备的部件穿设圆柱形孔。

使用过程中，首先将底座101固定在前述部件上，再将内圈400安装在底座101内，进一步地，再将盘盖500扣在底座101内同时覆盖内圈400。现有的胶盘在进行更换时则需要五步，利用本实用新型的胶盘，更换胶盘时通过三步即可完成，去原有胶盘安装需要调整内圈400位置和上盖反溅射铁圈的安装。

内圈400采用回转体设计，省去原有背洗头凹槽，这样员工更换胶盘内圈400时更加方便，无需对准凹槽。

盘盖500采用一体成型，可以省去更换铁挡圈的步骤降低员工劳动成本，且其使用和运行更加稳定。

以下各个结构进行详细阐述。

底座101具有呈圆柱形结构的第一中空侧板201、与第一中空侧板201连接的底板。第一中空侧板201的一端连接底板连接并被底板封闭、且另一端为开口端。

底板还设置有呈圆柱形结构的第二中空侧板202和第三中空侧板203。第二中空侧板202位于第一中空侧板201和第三中空侧板203之间。基于强度的需要可使第一中空侧板201被加厚，即第一中空侧板201的厚度大于第二中空侧板202的厚度，且第一中空侧板201的厚度还大于第三中空侧板203的厚度。

第一中空侧板201、第二中空侧板202、第三中空侧板203将底板分隔为从圆心向外缘分布的第一区域、第二区域301以及第三区域302。底板在第一区域设置有第一通孔1011、在第二区域301设置有第二通孔1012、在第三区域302设置有第三通孔1013。在底板的外表面(背面)，对应于第二通孔1012具有第二凹槽10122，第二通孔1012位于第二凹槽10122限定的内部区域；对应于第三通孔1013具有第三凹槽10133，第三通孔1013位于第三凹槽10133限定的内部区域。

一种示例中，第二通孔1012为半圆形结构。另一种示例中，第三通孔1013为半圆形结构。优选地，第二通孔1012为半圆形结构由第一弧线边和第一直线边构成，第三通孔1013为半圆形结构且由第二弧线边和第二直线边构成。其中，在底板的由圆心至边缘延伸的方向，第一弧线边邻近圆心，第一直线边远离圆心，第二弧线边远离圆心，第二直线边邻近圆心。进一步地，第一直线边和第二直线边分别贴靠于第二中空侧板202沿厚度方向的两侧。更进一步地，第二通孔1012和第三通孔1013错位布置。

内圈400包括圆盘状的第一板片401、连接在第一板片401的第一圆柱形件402，柱形件从第一板片401延伸，第一圆柱形件402与第一板片401同轴且在圆心处设置有连通的第一贯穿孔404，内圈400能够以可移除且第一圆柱形件402与第二中空侧板202配合的方式扣合在底座101内，且第一板片401的外缘与第一中空侧板201内壁之间形成间隙403。

盘盖500具有第二板片501、穿设在第二板片501的第二圆柱形件502，第二板片501与第二圆柱形件502同轴设置且在圆心处设置有连通的第二贯穿孔503，第二圆柱形件502具有分别位于第二板片501两侧的第一部分5021和第二部分5022，盘盖500能够以可移除且第一部分5021嵌入间隙403的方式扣合在底座101内且覆盖内圈400。可选地，第一部分5021的长度小于第二部分5022的长度。

基于成本和耐久性的考量，优选对，本实施例中胶盘采用尼龙制作而成。在其他的示例中，胶盘也可以采用树脂等材料制作而成。

作为一种胶盘的用例，胶盘被用于匀胶机，且作为匀胶机的匀胶的辅助设备使用。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。