尾气处理设备的制作方法

本实用新型涉及尾气处理领域，具体涉及一种尾气处理设备。

背景技术：

尾气处理设备是减少半导体工艺中排放尾气的有害成分的一种设备，能够减少半导体工艺中排放的尾气对环境的危害，能够达到保护环境和净化空气的效果。

在现有技术中，对尾气进行处理时，由于尾气中通常夹带有固形物杂质，而尾气处理设备对尾气中的固形物杂质的处理效率不高，固形物杂质会直接影响尾气处理设备的使用时长，影响使用尾气处理设备进行尾气处理时所需的物力成本和人力成本。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种尾气处理设备，具有较好的固形物杂质处理效果，且能够减小尾气处理所需的物力成本和人力成本。

为了解决上述技术问题，本实用新型中提供了一种尾气处理设备，包括：离心部，包括进气口，用于向所述尾气处理设备中通入待处理尾气，并使通入的尾气发生离心旋转，从而使尾气中夹带的固形物杂质掉落；处理部，与所述离心部连接，用于处理经离心旋转后的尾气进行净化处理。

可选的，所述离心部包括一锥形腔体，所述锥形腔体沿竖直方向倒置。

可选的，所述进气口设置于所述锥形腔体的上半部的侧壁上，且所述进气口内设置有导流板，所述导流板与所述锥形腔体的腔体壁相切，用于导流，使从所述进气口进入的尾气的流动方向与所述锥形腔体的腔体壁相切，且尾气的流动方向朝向所述锥形腔体的尖端。

可选的，所述锥形腔体内设置有管道结构，所述管道结构一端连通至所述锥形腔体下半部，另一端连通至所述处理部。

可选的，所述锥形腔体下方设置有收集袋，与所述锥形腔体连通，用于收集所述锥形腔体的尾气中的固形物杂质。

可选的，所述处理部包括第一处理单元，连通至所述离心部，包括燃烧腔或吸附腔中的至少一种，用于对经过离心旋转后掉落固形物杂质后的尾气进行初步处理。

可选的，所述燃烧腔内充入有天然气和助燃气体。

可选的，所述吸附腔内放置有活性炭、沸石分子筛和活性氧化铝中的至少一种。

可选的，所述处理部还包括第二处理单元，连通至所述第一处理单元，用于处理经所述第一处理单元初步处理后排出的可溶性气体。

可选的，所述第二处理单元包括水洗腔和存储箱，所述水洗腔和存储箱相互连通，且所述存储箱用于存储能够溶解所述可溶性气体的液体；还包括一喷淋单元，包括相互连通的喷头和喷淋管，所述喷头设置于所述水洗腔内，所述喷淋管连接至所述存储箱。

本实用新型中的尾气处理设备具有离心部，所述离心部包括一进气口，当往所述尾气处理设备中通入气体时，所述离心部会使被通入的气体发生离心旋转，使质量较大的固形物杂质掉落，从而可以完成对气体中的固形物杂质的处理，减少收集部中的废水更换处理的次数，降低尾气处理所需成本。

附图说明

图1为本实用新型的一种具体实施方式中的尾气处理设备的结构示意图。

图2为将图1中的虚线框内的部分放大后的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的一种尾气处理设备进行进一步详细说明。

请参阅图1和图2,，其中图1为本实用新型的一种具体实施方式中的尾气处理设备的结构示意图，图2为将图1中的虚线框内的部分放大后的结构示意图。

在该具体实施方式中，所述尾气处理设备包括离心部101，所述离心部101包括进气口105，用于向所述尾气处理设备中通入待处理尾气，并使通入的尾气发生离心旋转，从而使尾气中夹带的固形物杂质掉落；处理部100，与所述离心部101连通，用于处理经离心旋转后的尾气进行净化处理。

所述离心部101包括一锥形腔体109，所述锥形腔体109沿竖直方向倒置，所述锥形腔体109的尖端处向下放置，所述锥形腔体109的底面向上放置。

在其他的具体实施方式中，也可以设置其他可供尾气进行离心运动的腔体，使尾气在通入锥形腔体109后，尾气中夹带的固形物杂质与锥形腔体109的腔体壁发生碰撞后掉落，从而实现尾气和尾气中夹带的固形物杂质的分离。

实际上，尾气在锥形腔体109内进行离心运动，并不仅仅依赖于锥形腔体109的形状，还依赖于进气口105处设置的导流板106。通过导流板106使得尾气在进入所述锥形腔体109时，具有在锥形腔体109内做离心运动的条件。

在一种具体实施方式中，所述进气口105设置于所述锥形腔体109的上半部的侧壁上，使尾气进入锥形腔体109后有足够长的运动区域，能够从锥形腔体109的上半部运动到下半部，以实现足够多的碰撞，尽可能多的将尾气中夹带的固形物杂质分离出来。

实际上，本领域的技术人员也可设置所述进气口105于所述锥形腔体109的其他位置，只需满足使所述尾气具有足够多的运动空间，能够发生足够多的碰撞，以尽可能多的将尾气中夹带的固形物杂质分离出来即可。

在一种具体实施方式中，所述进气口105内设置有导流板106，所述导流板106与所述锥形腔体109的腔体壁相切，用于导流，使从所述进气口105进入的尾气的流动方向与所述锥形腔体109的腔体壁相切，尾气的流动方向朝向所述锥形腔体109的尖端，与所述锥形腔体109的中心轴呈一非直角夹角。

设置能够使尾气的流动方向与所述锥形腔体109的腔体壁相切，并朝向所述锥形腔体109的尖端，使得尾气在进入所述锥形腔体109后，运动方向既与所述锥形腔体109的腔体壁相切，又朝向所述锥形腔体109的尖端，在满足与所述锥形腔体109的腔体壁发生碰撞后将尾气中的固形物杂质分离出来的需求的基础上，还能够控制尾气的运动半径逐渐减小，使尾气能够在运动半径收缩到一定程度后形成二次涡流，向所述锥形腔体109的上半部运动，便于对分离了固形物杂质的尾气进行进一步处理。

在一种具体实施方式中，所述导流板106耐酸碱腐蚀，使所述导流板106难以被带有腐蚀性的尾气腐蚀毁损。本领域的技术人员可以根据需要设置所述导流板106的制备材料，在选择过程中需要满足耐腐蚀的特性。

在一种具体实施方式中，所述锥形腔体109内设置有管道结构以连通锥形腔体109和处理部100。在一种具体实施方式中，所述管道结构一端连通至所述锥形腔体109下半部，另一端连通至所述处理部100，使得进入到所述锥形腔体109中的尾气必须要运动到所述锥形腔体109下半部后，才能通过所述管道结构进入到所述处理部100，从而使尾气中夹带的固形物杂质与腔体壁发生充分的碰撞，以获取更好的固形物杂质分离效果。

在图2所示的具体实施方式中，所述管道结构为圆筒112，所述圆筒112中空，且一端连通至锥形腔体109下半部，即尖端处，一端连通至所述处理部100。将所述管道结构设置为圆筒112，不会存在棱角阻碍尾气在锥形腔体109中的离心运动，还可进一步的增加尾气发生碰撞的区域的面积，使得尾气与锥形腔体109的腔体壁或圆筒112发生碰撞的概率也提高，由于固形物杂质掉落是由于尾气与所述锥形腔体109的腔体壁或圆筒112发生碰撞所致，因此固形物杂质掉落的更完全，能够获取到更好的固形物杂质分离效果。

在实际的使用过程中，本领域的技术人员也可以设置所述管道结构呈其他形状，如方筒，但需要注意的是，所述管道结构所呈的形状优选为不会阻碍尾气在所述锥形腔体109中的离心运动的形状。

在一种具体实施方式中，本领域的技术人员还可根据需要设置所述管道结构连通至所述锥形腔体109的一端在所述锥形腔体109中所处的位置。具体地，所述管道结构连通至所述锥形腔体109的一端在所述锥形腔体109中所处的位置应当使得尾气经过充分的碰撞后，才会通过所述管道结构进入到所述处理部100。

由于所述锥形腔体109从上至下依次变窄，尾气进入所述锥形腔体109时流动方向与所述锥形腔体109的腔体壁相切，且与所述锥形腔体109的中心轴呈一非直角夹角，因此尾气在所述锥形腔体109中的运动为沿所述锥形腔体109的腔体壁，向下做运动半径逐渐减小的螺旋运动。在尾气做螺旋运动的过程中，尾气中夹带的固形物杂质也会跟随尾气做螺旋运动。由于固形物杂质的质量大于尾气的质量，因此在做螺旋运动时，固形物杂质受到的向心力与离心力无法平衡，具体地，固形物杂质受到的向心力小于固形物杂质受到的离心力。因此，在做螺旋运动时，固形物杂质会脱离尾气进行螺旋运动的轨迹，被甩向所述锥形腔体109的腔体壁，与所述锥形腔体109的腔体壁发生碰撞，并在重力的作用下掉落。

请参阅图2，图2中锥形腔体109内的箭头表示尾气的运动方向。由于锥形腔体109从上至下逐渐变窄，尾气向下进行螺旋运动时，且从上到下运动半径逐渐减小，逐渐逼近所述锥形腔体109的中心轴。在尾气的运动半径收缩到一定程度后，会向上形成二次涡流，经所述管道结构进入至所述处理部100，由所述处理部100对经过离心旋转、掉落固形物杂质后的尾气进行处理。

在一种具体实施方式中，所述锥形腔体109下方设置有收集袋107，与所述锥形腔体109连通，用于收集所述锥形腔体109的尾气中的固形物杂质。在一种具体实施方式中，所述收集袋107的尺寸与所述收集袋107中预计要收集的固形物杂质的量相适应。当所述收集袋107内预计要收集的固形物杂质的量较多时，所述收集袋107的尺寸需要设置的较大，当所述收集袋107内预计要收集的固形物杂质的量较少时，所述收集袋107的尺寸可设置的较小。实际上，本领域的技术人员可根据需要设置所述收集袋107的尺寸。

在图1所示的具体实施方式中，所述收集袋107通过排灰管108连通至所述锥形腔体109。实际上，所述收集袋107也可通过其他管道连通至所述锥形腔体109。需要注意的是，所述管道的内壁应当为光滑的。掉落的固形物杂质经所述管道进入到所述收集袋107时，不会粘连在所述管道的内壁上造成管道堵塞。

在一种具体实施方式中，所述处理部100包括第一处理单元，连接至所述离心部101，包括燃烧腔102或吸附腔中的至少一种，用于对经过离心旋转后掉落固形物杂质后的尾气进行初步处理。在图1所示的具体实施方式中，所述第一处理单元包括燃烧腔102。所述燃烧腔102的腔壁耐高温，且所述燃烧腔102内充入有天然气和助燃气体，使通入到所述燃烧腔102中的尾气在高温条件下氧化分解，重新组合，形成无害气体或者可溶性气体。

实际上，本领域的技术人员可以根据需要设置所述第一处理单元的具体结构。当尾气中的绝大部分气体可以通过燃烧来处理时，可以只设置燃烧腔102；当尾气中的绝大部分气体无法通过燃烧来处理时，还可以通过进一步设置吸附腔来处理。当同时设置有燃烧腔102和吸附腔时，本领域的技术人员可根据需要自行设置两者的排布顺序，使尾气先通过所述燃烧腔102，再进入所述吸附腔，或先进入所述吸附腔，再通过所述燃烧腔102。当所述第一处理单元中同时包括燃烧腔102和吸附腔，尾气进入所述第一处理单元后相当于经过了两次处理，可以完成对尾气中包含的绝大多数种类的气体的处理，处理效果更佳。

当所述第一处理单元中还包括吸附腔时，所述吸附腔内放置有活性炭、沸石分子筛和活性氧化铝中的至少一种。所述活性炭具有较大的比表面积，以具有足够多的吸附孔，来实现吸附无害气体或可溶性气体的功能。在一种具体实施方式中，所述活性炭的比表面积大于8000m/g。实际上，本领域的技术人员可以根据需要选择所述活性炭的比表面积，以在800～2000m/g之间为宜。

在一种具体实施方式中，当所述第一处理单元内同时包含燃烧腔102和吸附腔时，由于燃烧腔102可能会使得所述吸附腔处在高温环境下，而所述活性炭不耐高温且易燃，因此，所述吸附腔中应当添加沸石分子筛作为活性炭的替代吸附剂。

在一种具体实施方式中，所述第一处理单元连接至所述锥形腔体109的上半部。这是因为，掉落了固形物杂质的尾气在螺旋运动至所述锥形腔体109下半部时，由于锥形腔体109从上至下呈收缩状，因此所述尾气的运动半径逐渐变小，尾气会逐渐向所述锥形腔体109中间收缩，产生向上的二次涡流，从而向上运动，因此，将所述第一处理单元设置于所述锥形腔体109的上端，以便尾气能够自行进入到所述第一处理单元中。

实际上，也可以将所述第一处理单元设置在其他位置，此时，本领域的技术人员需要在所述第一处理单元中设置真空泵等以营造低压环境，使第一处理单元中的气压低于锥形腔体109中的气压，使得尾气被锥形腔体109中的气压压入到所述第一处理单元中。另外，当所述第一处理单元包括燃烧腔102时，由于燃烧腔102中的燃烧作用会消耗第一处理单元中的氧气，因此第一处理单元中的气压低于锥形腔体109中的气压，尾气也可以被锥形腔体109内的气压压入至所述第一处理单元中。

在一种具体实施方式中，所述处理部100还包括第二处理单元，连通至所述第一处理单元，用于处理经所述第一处理单元初步处理后排出的可溶性气体。如图1所示，所述第二处理单元包括水洗腔110和存储箱103，所述水洗腔110和存储箱103相互连通，且所述存储箱103用于存储能够溶解所述可溶性气体的液体；还包括一喷淋单元，包括相互连通的喷头111和喷淋管104，所述喷头111设置于所述水洗腔110内，所述喷淋管104连接至所述存储箱103。

在一种具体实施方式中，所述水洗腔110的腔体壁耐酸碱腐蚀。所述存储箱103的箱体也耐酸碱腐蚀。在图1具体实施方式中，所述存储箱103通过管道113连通至所述水洗腔110，使得设置于所述水洗腔110中的喷头111喷出的液体能够通过管道113回流至所述存储箱103，实现存储箱103内存储的液体的循环利用。所述存储箱103的体积与所述尾气处理设备的最大尾气处理量相适应。在一种具体实施方式中，所述存储箱103中存储的液体所能溶解的尾气的最大的量应当大于等于所述尾气处理设备的最大尾气处理量。

当所述可溶性气体为油溶性气体时，所述存储箱103内存储有能够溶解所述可溶性气体的液体为油脂，且该油脂可以溶解所述油溶性气体。当所述可溶性气体为水溶性气体时，所述存储箱103内存储有水，用于溶解所述水溶性气体。

在图1所示的具体实施方式中，所述喷淋单元包括两个喷头111，设置于所述水洗腔110内，用于喷出能够溶解所述可溶性气体的液体，以溶解所述第一处理单元排出的可溶性气体。通过设置两个喷头111，来加速气体溶解的速率。实际上，本领域的技术人员可根据需要设置所述喷头111的个数。喷头111的数目越多，可溶性气体的溶解速率越快。

实际上，当所述第一处理单元中包括燃烧腔102时，排出的气体温度较高，所述第二处理单元还可用于对气体进行降温处理。具体地，所述喷头111喷出的液体进入到充满高温气体的水洗腔110中时会发生蒸发，蒸发是一个吸热过程，因此所述喷头111喷出的液体可以用于给高温气体降温，使最终排出的气体的温度较低。需要注意的是，当所述第一处理单元中包括燃烧腔102时，所述存储箱103中存储的液体应当为不易燃的。

在一种具体实施方式中，所述喷淋单元还包括一增压泵，设置于所述喷淋管104内。所述增压泵具有足够的扬程，能够使所述喷头111高于所述存储箱103设置时也能喷出液体来溶解所述可溶性气体。

本实用新型中的尾气处理设备具有离心部101，所述离心部101包括一进气口，当往所述尾气处理设备中通入气体时，所述离心部101会使被通入的气体发生离心旋转，使质量较大的固形物杂质掉落，从而可以完成对气体中的固形物杂质的处理，减少收集部中的废水更换处理的次数，降低尾气处理所需成本。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。