半导体晶圆小型工件用的滤水机构的制作方法

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，尤其是指半导体晶圆小型工件用的滤水机构。

背景技术：

现有的半导体晶圆小型工件在清洗后直接放置收集框内，再将收集框放在震动器上，将水震落，这种方式滤水效果差，尤其是异型工件，无法达到要求的滤水效果。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种半导体晶圆小型工件用的结构合理、使用效果好的滤水机构。

为实现上述目的，本实用新型所提供的技术方案为：半导体晶圆小型工件用的滤水机构，它包括有滤水机架、滤水导料板，滤水机架顶部安装有滤水进料斗，滤水机架内倾斜放置有滤水导料板，滤水导料板两端均设有吊环，吊环上铰接有吊环连杆，吊环连杆与滤水机架顶部铰接，滤水进料斗位于滤水导料板较高一端上方，滤水导料板较低一端的滤水机架上开有出料口；滤水导料板底部固定有向下凸起的撞击筋，撞击筋下方的滤水机架内安装有曲轴，曲轴由相应的电机带动旋转，曲轴上设有与撞击筋相配合的凸轮，滤水导料板两侧的滤水机架上安装有数量大于2的喷气管，喷气管由外部风机供风。

所述的滤水导料板上方的滤水机架内安装有滤水拨料辊，滤水拨料辊表面设有拨料刺，拨料刺采用橡胶材料制成，安装后的滤水拨料辊与滤水导料板之间形成过料通道。

所述的曲轴下方的滤水机架内倾斜安装有导水板。

所述的滤水导料板较高一端端部向上折弯形成进料限位挡板。

本实用新型在采用上述方案后，清洗后的半导体晶圆小型工件由滤水进料斗进入落在滤水导料板上，滤水导料板表面均匀分布有上下贯穿的滤水孔，曲轴旋转通过凸轮撞击撞击筋，从而使滤水导料板震动，使粘附在半导体晶圆小型工件表面的水震落，同时喷气管通过外部风机供风吹向半导体晶圆小型工件表面，滤水拨料辊用于翻动异型的半导体晶圆小型工件，采用本方案后的结构合理、使用效果好、可以对半导体晶圆小型工件进行快速滤水。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

具体实施方式

下面结合所有附图对本实用新型作进一步说明，本实用新型的较佳实施例为：参见附图1，本实施例所述的半导体晶圆小型工件用的滤水机构包括有滤水机架1、滤水导料板3，滤水机架1顶部安装有滤水进料斗2，滤水机架1内倾斜放置有滤水导料板3，滤水导料板3较高一端端部向上折弯形成进料限位挡板5，滤水导料板3上方的滤水机架1内安装有滤水拨料辊11，滤水拨料辊11表面设有拨料刺，拨料刺采用橡胶材料制成，安装后的滤水拨料辊11与滤水导料板3之间形成过料通道；滤水导料板3两端均设有吊环，吊环上铰接有吊环连杆4，吊环连杆4与滤水机架1顶部铰接，滤水进料斗2位于滤水导料板3较高一端上方，滤水导料板3较低一端的滤水机架1上开有出料口；滤水导料板3底部固定有向下凸起的撞击筋6，撞击筋6下方的滤水机架1内安装有曲轴7，曲轴7由相应的电机带动旋转，曲轴7下方的滤水机架1内倾斜安装有导水板9，曲轴7上设有与撞击筋6相配合的凸轮8，滤水导料板3两侧的滤水机架1上安装有数量大于2的喷气管10，喷气管10由外部风机供风。本实施例清洗后的半导体晶圆小型工件由滤水进料斗进入落在滤水导料板上，滤水导料板表面均匀分布有上下贯穿的滤水孔，曲轴旋转通过凸轮撞击撞击筋，从而使滤水导料板震动，使粘附在半导体晶圆小型工件表面的水震落，同时喷气管通过外部风机供风吹向半导体晶圆小型工件表面，滤水拨料辊用于翻动异型的半导体晶圆小型工件，采用本实施例后的结构合理、使用效果好、可以对半导体晶圆小型工件进行快速滤水。

以上所述之实施例只为本实用新型之较佳实施例，并非以此限制本实用新型的实施范围，故凡依本实用新型之形状、原理所作的变化，均应涵盖在本实用新型的保护范围内。