一种封闭式研磨装置的制作方法

文档序号:23824536发布日期:2021-02-03 17:21阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种封闭式研磨装置,其特征在于,包括:底座(100),所述底座(100)内部包围形成密封腔(201),所述底座(100)设置有抽气口(110) ;以及研磨室(300),设置于所述密封腔(201),所述研磨室(300)的外壁与所述底座(100)的内壁间隔设置,所述研磨室(300)设置有研磨室气孔(310),所述研磨室(300)用于放置柔性研磨杯。2.如权利要求1所述的封闭式研磨装置,其特征在于,还包括旋转闭锁壳(500),套设于所述研磨室(300)的外侧,所述旋转闭锁壳(500)设置有旋转闭锁壳气孔(510),当所述旋转闭锁壳(500)围绕所述研磨室(300)旋转到第一位置时,所述旋转闭锁壳气孔(510)与所述研磨室气孔(310)连通,当所述旋转闭锁壳(500)围绕所述研磨室(300)旋转到第二位置时,所述旋转闭锁壳(500)将所述研磨室气孔(310)密封。3.如权利要求2所述的封闭式研磨装置,其特征在于,所述研磨室(300)设置有研磨室传感器安装孔(320),所述旋转闭锁壳(500)设置有旋转闭锁壳传感器安装孔(520),所述旋转闭锁壳(500)围绕所述研磨室(300)在所述第一位置和所述第二位置来回转动时,所述研磨室传感器安装孔(320)在所述旋转闭锁壳传感器安装孔(520)的投影落入所述旋转闭锁壳传感器安装孔(520)内。4.如权利要求3所述的封闭式研磨装置,其特征在于,还包括第一压力传感器(600),设置于所述研磨室传感器安装孔(320)。5.如权利要求2所述的封闭式研磨装置,其特征在于,还包括残渣室(501),围绕设置于所述旋转闭锁壳(500)远离所述研磨室(300)的一侧。6.如权利要求1所述的封闭式研磨装置,其特征在于,所述研磨室(300)的开口高于所述底座(100)开口,所述研磨室(300)的开口设置有安装卡环(301),用于固定所述柔性研磨杯的开口。7.如权利要求6所述的封闭式研磨装置,其特征在于,还包括研磨室密封台(420),用于压置于所述安装卡环(301),以固定所述柔性研磨杯的开口。8.如权利要求1所述的封闭式研磨装置,其特征在于,所述底座(100)设置有气门(120)。9.如权利要求1所述的封闭式研磨装置,其特征在于,所述底座(100)设置有封闭台阀门(210)。10.如权利要求1所述的封闭式研磨装置,其特征在于,还包括:研磨刀(400),设置于所述研磨室(300);以及第一电机(410),所述第一电机(410)的驱动轴与所述研磨刀(400)传动连接。
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