技术总结
本申请实施例提供的一种封闭式研磨装置，包括底座和研磨室。所述底座包围形成密封腔，外表面设置有抽气口。所述研磨室设置于所述密封腔内且外壁设置有研磨室气孔。所述研磨室的外壁和所述底座的内壁间隔设置。所述研磨室用于容纳柔性研磨杯。当用真空泵对所述底座抽真空时，所述底座内的气压变小，此时所述柔性研磨杯开始逐渐朝向所述研磨室的内壁膨胀并最终贴附于所述研磨室的内壁，然后可以在所述柔性研磨杯中盛放物料，并通过所述研磨刀对物料进行研磨。当研磨完后，可以直接取出所述柔性研磨杯，在下次使用所述研磨装置时可以直接更换新的所述柔性研磨杯，省去了清洗研磨杯的步骤，避免了研磨杯清洗不干净的问题，同时也大大提高了生产效率。大提高了生产效率。大提高了生产效率。
技术研发人员：陈继欣 高雨飞
受保护的技术使用者：江西西里科技有限公司
技术研发日：2020.08.25
技术公布日：2021/2/2