一种动态配气仪及配气方法_2

文档序号:8212089阅读:来源:国知局
通道和稀释气通道,出口为目标气出气口。通过混合管道8的作用,将原料气I和稀释气2按需混合,得到满足要求的目标气。
[0031]本发明中,第一流量控制器5与第二流量控制器6均采用层流差压式测量原理的流量控制器,其内部均自带温度和压力补偿。这样简化了配气仪结构,不需额外设置控温装置和压力补偿装置等,即可使整个管路内气体的温度始终保持在一个相对恒定的温度范围内,减少环境温度对配气所引起的干扰,从而提高配气时的稳定性。
[0032]如图1所示,原料气通路上设有一进两出的三通阀7,其进口与第一流量控制器5连接,其中一个出口连接混合管道8,另一出口为排气口。这样,当只需清洁两个控制器时,将三通阀7与混合管道8的通路封闭,清洁气从三通阀的排气口排出即可满足清洁要求,而当需要连同清洁混合管路时,可关闭三通阀7,使清洁气从混合管道8的出气口排出。
[0033]使用本发明的配气仪配气时,首先,启动仪器,根据原料气浓度S1、目标气浓度C1和目标气总流量等参数,计算得到所需稀释气的流量为N1,原料气的流量为Gp
[0034]自清洁程序,关闭原料气I的相应电磁阀3,控制一号控制阀4,如图2所示的气体流向通道,稀释气2依次沿第二流量控制器6、一号控制阀4和第一流量控制器5流通,对各设备进行自清洁,在此程序中,稀释气2可从第一流量控制器5直接流入混合管道8进行清洁排出,也可通过设置的二号控制阀7的排气口排出。具体使用中,自清洁程序可在任何需要时随机灵活启动。
[0035]自校准程序,如图2所示的气体流向通路,通过控制两个流量控制器和控制阀,可实现控制器的相互自校准程序,减小配气误差。操作时,设置第二流量控制器6的控制量为满量程N,设置第一流量控制器5的流量N1,其中,N1小于N,稀释气2按图2所示的通路流通,当第一流量控制器5和第二流量控制器6示值稳定后,记录第二流量控制器6的流量示值为N2,队与N 1成线性拟合关系,这样通过第一流量控制器5来控制第二流量控制器6的流量,利用控制量&与N2的比例关系,实现自校准程序。具体操作时,校准程序还可以通过第二流量控制器6来控制第一流量控制器5的流量,来实现第二流量控制器6对第一流量控制器5的反校准,类似的,只需将第一流量控制器5的控制量设置为满量程N,设置第二流量控制器的流量为G1,与前述类似进行校准即可。
[0036]混合配气程序,如图3所示的气体流向通道,在校准程序后,断开一号控制阀4与第一流量控制器5的通路,控制第一流量控制器5的控制量为G1,同时控制第二流量控制器6的控制量为N2,原料气I通过第一流量控制器5和二号控制阀7,进入混合管路8中,稀释气2依次通过第二流量控制器6和一号控制阀4,进入混合管路8中,原料气I与稀释气2混合,得到目标气,由N1Ai1正比于S /(^的关系计算能得到目标气浓度C 10
[0037]需要说明的是,本发明的动态配气仪的原料气采用多路并联的方式接入相应的第一流量控制器中,可以按需配置单组份目标气,也可以拓展增加相应的流量控制器,用以控制原料气,从而能实现多组份目标气的配气。
[0038]综上所述,本发明提供的一种动态配气仪结构简单,控制性好,配气方法简单易行,提高了配比目标气的精度和效率,自身具有校准和自动清洁能力,抗腐蚀性好,有利于仪器维护。
[0039]以上仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种动态配气仪,其特征在于,包括原料气通路、稀释气通路和混合管道,所述原料气通路和稀释气通路均与所述混合管道连通,所述原料气通路上设有第一流量控制器,所述稀释气通路上设有第二流量控制器,所述第二流量控制器通过一号控制阀分别与所述第一流量控制器及混合管道连接。
2.根据权利要求1所述的动态配气仪,其特征在于,所述第一流量控制器的入口并联有若干原料气接入支路,所述若干原料气接入支路的每条支路上均设有电磁阀,用以控制相应的原料气通入所述第一流量控制器。
3.根据权利要求1所述的动态配气仪,其特征在于,所述一号控制阀为一进两出的三通阀,其进口与所述第二流量控制器连接,出口分别连接所述第一流量控制器和混合管路。
4.根据权利要求1所述的动态配气仪,其特征在于,所述一号控制阀为两个二位二通电磁阀组成,所述第二流量控制器通过其中一个二位二通电磁阀与所述混合管道连接,所述第二流量控制器通过另一个二位二通电磁阀与所述第一流量控制器连接。
5.根据权利要求1所述的动态配气仪,其特征在于,所述混合管道为两进一出的三通管,其两个进口分别连接所述原料气通道和稀释气通道,出口为目标气出气口。
6.根据权利要求1所述的动态配气仪,其特征在于,所述第一流量控制器与第二流量控制器均采用层流差压式测量原理的流量控制器,其内部均自带温度和压力补偿。
7.根据权利要求1所述的动态配气仪,其特征在于,所述原料气通路上设有一进两出的三通阀,其进口与第一流量控制器连接,其中一个出口连接所述混合管道,另一出口为排气口。
8.一种采用如权利要求1所述的动态配气仪进行的配气方法,其特征在于,包括以下程序: 计算初始流量,根据原料气浓度S1、目标气浓度CjP目标气总流量的参数,计算所需稀释气的流量为N1,原料气的流量为G1; 自清洁程序,关闭所述原料气的接入,接通所述一号控制阀,稀释气依次沿所述第二流量控制器、一号控制阀和第一流量控制器流通,进行自清洁; 自校准程序,设置所述第二流量控制器的控制量为满量程N,设置第一流量控制器的流量N1,其中,N1小于N,稀释气按上述自清洁程序的通路流通,当所述第一流量控制器和第二流量控制器示值稳定后,记录第二流量控制器的流量示值为N2,队与N 1成线性拟合关系; 混合配气程序,在所述自校准程序后,控制所述第一流量控制器的控制量为G1,控制所述第二流量控制器的控制量为N2,原料气通过所述第一流量控制器,进入所述混合管路中,稀释气依次通过所述第二流量控制器和一号控制阀,进入所述混合管路中,所述原料气与所述稀释气混合,得到目标气,由N1Ai1正比于S /(^的关系计算能得到目标气浓度Ciq
【专利摘要】本发明涉及气体检测仪器领域,尤其涉及一种动态配气仪及配气方法。该配气仪包括原料气通路、稀释气通路和混合管道,所述原料气通路和稀释气通路均与所述混合管道连通,所述原料气通路上设有第一流量控制器,所述稀释气通路上设有第二流量控制器,所述第二流量控制器通过一号控制阀分别与所述第一流量控制器及混合管道连接。该配气仪结构简单,可控性好,配气方法简单易行,通过采用该配气仪能实现第一流量控制器与第二流量控制器的自清洁与自校准功能,提高了所配目标气的精度和配气效率,抗腐蚀性好,有利于维护设备,同时若干种原料气的接入支路并联接入,可根据不同需求配比相应的目标气。
【IPC分类】G01N33-00, B01F15-04, G01N1-38, B01F3-02
【公开号】CN104525011
【申请号】CN201410843871
【发明人】彭冉, 刘海东
【申请人】力合科技(湖南)股份有限公司
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月30日
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