一种标准混合气体配气装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种标准混合气体配气装置，尤其是涉及一种双路真空抽气系统的标准混合气体配气装置。
【背景技术】
[0002]气体成分分析广泛存在与工业和大气环境监测等领域。为保证测量结果的可靠性，通常需要浓度已知的标准混合气体对分析仪器的示值进行校准。标准混合气体的配制主要有动态发生法和称量法两种。称量法制备标准混合气体的一般做法是通过一个配气装置将确定质量的不同种类的原料气体充入到气瓶中，不同种类的气体在气瓶内混合，得到目标浓度的标准混合气体。配气装置是该方法制备标准混合气体所使用的核心装置之一。
[0003]现有的配气装置只使用单路真空抽气系统，一般配备一台真空泵，如果使用真空机械泵，极限真空度仅能达到I X KT1到I XlO _2Pa (绝对真空度)，如想达到更高的极限真空度，则需要在真空抽气系统中配备分子涡轮真空泵。分子涡轮真空泵的极限真空可达IX KT6Pa(绝对真空度)，可以大大提高配气装置管道内的清洁度，提高配制标准混合气的准确度。
[0004]但是，分子涡轮泵一旦达到高真空状态时，其内部的旋转叶片会达到很高的转速，此时如果打开真空抽气口截止阀，让配气装置管道内的常压气体进入分子涡轮泵内，会因为气压冲击过大，而使分子涡轮泵的旋转叶片受到影响，造成分子涡轮泵故障，甚至有打碎旋转叶片、毁坏分子涡轮泵的风险。分子涡轮泵一般价格昂贵，如果损毁将是巨大的经济损失。
【发明内容】
[0005]本发明所要解决的技术问题是提供一种保证其在正常工作状态下，分子涡轮泵内的旋转叶片避免常压气体的压力冲击的标准混合气体配气装置。
[0006]本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种标准混合气体配气装置，包括壳体、高真空抽气组件、辅助真空抽气组件、原料气气瓶及标准混合气产品气瓶；
[0007]所述高真空抽气组件及所述辅助真空抽气组件均安装在所述壳体内，且所述高真空抽气组件通过第一管道与所述辅助真空抽气组件相连接，所述第一管道的顶端处设有废气排放口，所述废气排放口位于所述壳体的顶部；
[0008]所述原料气气瓶及标准混合气产品气瓶设置在所述壳体的外部，所述原料气气瓶通过第二管道与所述标准混合气产品气瓶相连通，所述第二管道部分位于所述壳体内，且与所述第一管道交叉连通。
[0009]本发明的有益效果是:
[0010]本发明增加了一路辅助真空抽气组件，与高真空抽气组件共同组成了双路真空抽气系统，解决了在单真空抽气系统中使用分子涡轮泵时，配气装置管道内的常压气体冲击分子涡轮泵旋转叶片的问题，提高了分子涡轮泵的安全使用性，降低了分子涡轮泵出故障的几率，增强了标准混合气体配气装置安全运行的可靠性，减少经济损失。
[0011]在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。
[0012]进一步，所述高真空抽气组件包括分子涡轮泵、高真空抽气口截止阀及第一真空度表，所述分子涡轮泵靠近所述壳体的底部，且与所述第一管道的底端相连接，所述高真空抽气口截止阀安装在所述第一管道上，且靠近所述分子涡轮泵，所述第一真空度表与所述第一管道相连接，且位于所述分子涡轮泵及所述高真空抽气口截止阀之间。
[0013]进一步，所述辅助真空抽气组件包括膜片真空泵、辅助真空抽气口截止阀及第二真空度表，所述膜片真空泵通过第三管道与所述第一管道相连接，所述辅助真空抽气口截止阀安装在所述第三管道上，所述第二真空度表与所述第三管道相连接，且位于所述膜片真空泵及所述辅助真空抽气口截止阀之间。
[0014]采用上述进一步方案的有益效果是，在辅助真空抽气组件中不需要使用价格昂贵的分子涡轮泵，只需要使用价格相对便宜的膜片真空泵，极限真空度达到200Pa (绝对真空度)即可。除了膜片真空泵，该组件中还有真空度表和抽气口截止阀。提高了分子涡轮泵的安全使用性，降低了分子涡轮泵出故障的几率，增强了标准混合气体配气装置安全运行的可靠性，减少经济损失。
[0015]进一步，所述第二管道上设有原料气入口截止阀，所述原料气入口截止阀位于所述壳体内，且靠近所述原料气气瓶。
[0016]进一步，所述第二管道上设有原料气出口截止阀，所述原料气出口截止阀位于所述壳体内，且靠近所述标准混合气产品气瓶。
[0017]进一步，所述标准混合气体配气装置还包括气体高压表，所述气体高压表位于所述壳体内，与所述第二管道相连接，且靠近所述原料气出口截止阀。
[0018]进一步，所述第一管道上设有废气排放口截止阀，所述废气排放口截止阀位于所述壳体内，且靠近所述废气排放口。
[0019]本发明标准混合气体配气装置的工作原理如下:
[0020]工作时，为了保护高真空抽气组件中的分子涡轮泵，在打开高真空抽气口截止阀之前，先启动辅助真空抽气组件内的膜片真空泵，使其达到极限真空状态，然后开启辅助真空抽气口截止阀，将第一管道及第二管道抽真空，去除常压气体，使管道内的气体压力低于大气压。然后关闭辅助真空抽气口截止阀，打开高真空抽气口截止阀，让分子涡轮泵抽除管道内残余的气体。此时管道内残余气体的压力远低于大气压，形成的气压冲击很小，不会对分子涡轮泵的叶片造成损坏，从而保护了分子涡轮泵。确保配气装置的长期安全运行。
【附图说明】
[0021]图1为本发明标准混合气体配气装置的结构示意图；
[0022]附图中，各标号所代表的部件列表如下:
[0023]1、壳体，2、气体高压表，3、第一真空度表，4、分子涡轮泵，5、废气排放口，6、原料气气瓶，7、标准混合气产品气瓶，8、原料气入口截止阀，9、原料气出口截止阀，10、高真空抽气口截止阀，11、废气排放口截止阀，12、第二真空度表，13、膜片真空泵，14、辅助真空抽气口截止阀，15、第一管道，16、第二管道，17、第三管道。
【具体实施方式】
[0024]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
[0025]一种标准混合气体配气装置，如图1所示，包括壳体1、高真空抽