气组件、辅助真空抽气组件、原料气气瓶6及标准混合气产品气瓶7 ；
[0026]所述高真空抽气组件及所述辅助真空抽气组件均安装在所述壳体I内，且所述高真空抽气组件通过第一管道15与所述辅助真空抽气组件相连接，所述第一管道15的顶端处设有废气排放口 5，所述废气排放口 5位于所述壳体I的顶部；
[0027]所述原料气气瓶6及标准混合气产品气瓶7设置在所述壳体I的外部，所述原料气气瓶6通过第二管道16与所述标准混合气产品气瓶7相连通，所述第二管道16部分位于所述壳体I内，且与所述第一管道15交叉连通。
[0028]所述高真空抽气组件包括分子涡轮泵4、高真空抽气口截止阀10及第一真空度表3，所述分子涡轮泵4靠近所述壳体I的底部，且与所述第一管道15的底端相连接，所述高真空抽气口截止阀10安装在所述第一管道15上，且靠近所述分子涡轮泵4，所述第一真空度表3与所述第一管道15相连接，且位于所述分子涡轮泵4及所述高真空抽气口截止阀10之间。
[0029]所述辅助真空抽气组件包括膜片真空泵13、辅助真空抽气口截止阀14及第二真空度表12，所述膜片真空泵13通过第三管道17与所述第一管道15相连接，所述辅助真空抽气口截止阀14安装在所述第三管道17上，所述第二真空度表12与所述第三管道17相连接，且位于所述膜片真空泵13及所述辅助真空抽气口截止阀14之间。
[0030]所述第二管道16上设有原料气入口截止阀8，所述原料气入口截止阀8位于所述壳体I内，且靠近所述原料气气瓶6。
[0031]所述第二管道16上设有原料气出口截止阀9，所述原料气出口截止阀9位于所述壳体I内，且靠近所述标准混合气产品气瓶7。
[0032]所述标准混合气体配气装置还包括气体高压表2，所述气体高压表2位于所述壳体I内，与所述第二管道16相连接，且靠近所述原料气出口截止阀9。
[0033]所述第一管道15上设有废气排放口截止阀11，所述废气排放口截止阀11位于所述壳体I内，且靠近所述废气排放口 5。
[0034]在实际操作过程中，为了保护高真空抽气组件中的分子涡轮泵4，在打开高真空抽气口截止阀10之前，先启动辅助真空抽气组件内的膜片真空泵13，使其达到极限真空状态，然后开启辅助真空抽气口截止阀14，将第一管道15及第二管道16抽真空，去除常压气体，使管道内的气体压力低于大气压。然后关闭辅助真空抽气口截止阀14，打开高真空抽气口截止阀10，让分子涡轮泵4抽除管道内残余的气体。此时管道内残余气体的压力远低于大气压，形成的气压冲击很小，不会对分子涡轮泵14的叶片造成损坏，从而保护了分子涡轮泵4。确保配气装置的长期安全运行。
[0035]以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种标准混合气体配气装置，其特征在于:包括壳体、高真空抽气组件、辅助真空抽气组件、原料气气瓶及标准混合气产品气瓶； 所述高真空抽气组件及所述辅助真空抽气组件均安装在所述壳体内，且所述高真空抽气组件通过第一管道与所述辅助真空抽气组件相连接，所述第一管道的顶端处设有废气排放口，所述废气排放口位于所述壳体的顶部； 所述原料气气瓶及标准混合气产品气瓶设置在所述壳体的外部，所述原料气气瓶通过第二管道与所述标准混合气产品气瓶相连通，所述第二管道部分位于所述壳体内，且与所述第一管道交叉连通。
2.根据权利要求1所述的标准混合气体配气装置，其特征在于:所述高真空抽气组件包括分子涡轮泵、高真空抽气口截止阀及第一真空度表，所述分子涡轮泵靠近所述壳体的底部，且与所述第一管道的底端相连接，所述高真空抽气口截止阀安装在所述第一管道上，且靠近所述分子涡轮泵，所述第一真空度表与所述第一管道相连接，且位于所述分子涡轮泵及所述高真空抽气口截止阀之间。
3.根据权利要求2所述的标准混合气体配气装置，其特征在于:所述辅助真空抽气组件包括膜片真空泵、辅助真空抽气口截止阀及第二真空度表，所述膜片真空泵通过第三管道与所述第一管道相连接，所述辅助真空抽气口截止阀安装在所述第三管道上，所述第二真空度表与所述第三管道相连接，且位于所述膜片真空泵及所述辅助真空抽气口截止阀之间。
4.根据权利要求1至3任一项所述的标准混合气体配气装置，其特征在于:所述第二管道上设有原料气入口截止阀，所述原料气入口截止阀位于所述壳体内，且靠近所述原料气气瓶。
5.根据权利要求1至3任一项所述的标准混合气体配气装置，其特征在于:所述第二管道上设有原料气出口截止阀，所述原料气出口截止阀位于所述壳体内，且靠近所述标准混合气产品气瓶。
6.根据权利要求5所述的标准混合气体配气装置，其特征在于:所述标准混合气体配气装置还包括气体高压表，所述气体高压表位于所述壳体内，与所述第二管道相连接，且靠近所述原料气出口截止阀。
7.根据权利要求1至3任一项所述的标准混合气体配气装置，其特征在于:所述第一管道上设有废气排放口截止阀，所述废气排放口截止阀位于所述壳体内，且靠近所述废气排放口。
【专利摘要】本发明涉及一种标准混合气体配气装置，包括壳体、高真空抽气组件、辅助真空抽气组件、原料气气瓶及标准混合气产品气瓶；所述高真空抽气组件通过第一管道与所述辅助真空抽气组件相连接，所述第一管道的顶端处设有废气排放口；所述原料气气瓶通过第二管道与所述标准混合气产品气瓶相连通，所述第二管道部分位于所述壳体内，且与所述第一管道交叉连通。本发明增加了一路辅助真空抽气组件，与高真空抽气组件共同组成了双路真空抽气系统，解决了在单真空抽气系统中使用分子涡轮泵时，配气装置管道内的常压气体冲击分子涡轮泵旋转叶片的问题。
【IPC分类】B01F13-06, B01F3-02, B01F15-02
【公开号】CN104525010
【申请号】CN201410838173
【发明人】王德发, 吴海
【申请人】中国计量科学研究院
【公开日】2015年4月22日
【申请日】2014年12月29日