瓷剪切片的伸缩方向相同，第三组压电陶瓷剪切片8中所有压电陶瓷剪切片的伸缩方向都与第四组压电陶瓷剪切片9中所有压电陶瓷剪切片的伸缩方向相同，第二组压电陶瓷剪切片7中所有压电陶瓷剪切片的伸缩方向都与第三组压电陶瓷剪切片8中所有压电陶瓷剪切片的伸缩方向水平垂直，这两个方向的运动组合在一起而使被加工工件11产生二维振动；本装置的上边第一层和第二层的压电陶瓷剪切片的伸缩方向是同一个方向，相当于串联叠加，与一层压电陶瓷剪切片相比，在施加相同的交变电场时两层压电陶瓷剪切片的叠加的振幅比一层压电陶瓷剪切片的振幅大一倍，这样在相同的振幅时，在两层压电陶瓷剪切片的两端电压幅值要比一层小一半，这样既可以提高振动台整体的精度，又可以避免振幅要求太大时，施加电压过高导致压电陶瓷剪切片的热损坏。在压电陶瓷两端施加电压的时候可以单一方向给电实现一维振动，也可以两个方向给电实现二维振动，而且平台不紧可以通过施加交流电来实现振动，也可以通单个脉冲电压实现微位移柔性运动。
[0014]【具体实施方式】二:结合图1、图2、图3所示，本【具体实施方式】在【具体实施方式】一的基础上在第一导电电极片I的下表面上开有等间距沟槽，第二导电电极片2的上表面和下表面上都开有等间距沟槽，第三导电电极片3的上表面和下表面上都开有等间距沟槽，第四导电电极片4的上表面和下表面上都开有等间距沟槽，第五导电电极片5的上表面上开有等间距沟槽，绝缘平台10的下表面上开有等间距沟槽。其它组成和连接关系与【具体实施方式】一相同。
[0015]本【具体实施方式】中的导电电极片上加工等间距沟槽，在导电电极片的表面与压电陶瓷剪切片表面的连接固定方式为胶水粘接时，在所述沟槽内填充胶水，可以避免胶水涂抹不均匀造成的电陶瓷剪切片位置不正，受力不均匀等问题，同时也能使导电电极片和电源之间的连接导线呈自由状态地放置在沟槽里，避免由于反复弯折和拉扯造成的电线短路和断路。导电电极片上的沟槽有利于陶瓷片散热，防止其压电特性不敏感。
[0016]【具体实施方式】三:结合图1、图2、图3所示，本【具体实施方式】与【具体实施方式】一的不同点在于第一组压电陶瓷剪切片6由四片压电陶瓷剪切片组成，这四片压电陶瓷剪切片的摆放位置呈“田”字形水平均匀分布设置；第二组压电陶瓷剪切片7由四片压电陶瓷剪切片组成，这四片压电陶瓷剪切片的摆放位置呈“田”字形水平均匀分布设置；第三组压电陶瓷剪切片8由四片压电陶瓷剪切片组成，这四片压电陶瓷剪切片的摆放位置呈“田”字形水平均匀分布设置；第四组压电陶瓷剪切片9由四片压电陶瓷剪切片组成，这四片压电陶瓷剪切片的摆放位置呈“田”字形水平均匀分布设置。其它组成和连接关系与【具体实施方式】一相同。
[0017]本实施方式的分布可以使整体结构更加稳定，同时使受到应力和产生的变形更加均匀。
【主权项】
1.基于压电陶瓷剪切片不同摆放方向的二维振动装置，其特征在于它包括第一导电电极片(I)、第二导电电极片(2)、第三导电电极片(3)、第四导电电极片(4)、第五导电电极片(5)、第一组压电陶瓷剪切片(6)、第二组压电陶瓷剪切片(7)、第三组压电陶瓷剪切片(8)、第四组压电陶瓷剪切片(9)、绝缘平台(10); 第一导电电极片(I)的下表面与第一组压电陶瓷剪切片(6)中所有电陶瓷剪切片的上表面紧密连接，第二导电电极片(2)的上表面与第一组压电陶瓷剪切片(6)中所有电陶瓷剪切片的下表面紧密连接，第二导电电极片(2)的下表面与第二组压电陶瓷剪切片(7)中所有电陶瓷剪切片的上表面紧密连接，第三导电电极片(3)的上表面与第二组压电陶瓷剪切片(7)中所有电陶瓷剪切片的下表面紧密连接，第三导电电极片(3)的下表面与第三组压电陶瓷剪切片(8)中所有电陶瓷剪切片的上表面紧密连接，第四导电电极片(4)的上表面与第三组压电陶瓷剪切片(8)中所有电陶瓷剪切片的下表面紧密连接，第四导电电极片(4)的下表面与第四组压电陶瓷剪切片(9)中所有电陶瓷剪切片的上表面紧密连接，第五导电电极片(5)的上表面与第四组压电陶瓷剪切片(9)中所有电陶瓷剪切片的下表面紧密连接；第一组压电陶瓷剪切片(6)中所有压电陶瓷剪切片的伸缩方向都与第二组压电陶瓷剪切片(7)中所有压电陶瓷剪切片的伸缩方向相同，第三组压电陶瓷剪切片(8)中所有压电陶瓷剪切片的伸缩方向都与第四组压电陶瓷剪切片(9)中所有压电陶瓷剪切片的伸缩方向相同，第二组压电陶瓷剪切片(7)中所有压电陶瓷剪切片的伸缩方向都与第三组压电陶瓷剪切片(8)中所有压电陶瓷剪切片的伸缩方向水平垂直；绝缘平台(10)的下表面与第一导电电极片(I)的上表面连接，绝缘平台(10)的上表面用于装夹被加工工件(11 )。2.根据权利要求1所述的基于压电陶瓷剪切片不同摆放方向的二维振动装置，其特征在于在第一导电电极片(I)的下表面上开有等间距沟槽，第二导电电极片(2)的上表面和下表面上都开有等间距沟槽，第三导电电极片(3)的上表面和下表面上都开有等间距沟槽，第四导电电极片(4)的上表面和下表面上都开有等间距沟槽，第五导电电极片(5)的上表面上开有等间距沟槽，绝缘平台(10)的下表面上开有等间距沟槽。3.根据权利要求1所述的基于压电陶瓷剪切片不同摆放方向的二维振动装置，其特征在于第一组压电陶瓷剪切片(6)由四片压电陶瓷剪切片组成，这四片压电陶瓷剪切片的摆放位置呈“田”字形水平均匀分布设置；第二组压电陶瓷剪切片(7)由四片压电陶瓷剪切片组成，这四片压电陶瓷剪切片的摆放位置呈“田”字形水平均匀分布设置；第三组压电陶瓷剪切片(8)由四片压电陶瓷剪切片组成，这四片压电陶瓷剪切片的摆放位置呈“田”字形水平均匀分布设置；第四组压电陶瓷剪切片(9)由四片压电陶瓷剪切片组成，这四片压电陶瓷剪切片的摆放位置呈“田”字形水平均匀分布设置。
【专利摘要】基于压电陶瓷剪切片不同摆放方向的二维振动装置，它属于能量辅助机械加工的技术领域。它是为了解决现有高精度惯导传感器中薄壁微构件加工时，所用的谐振式振动装置存在振动频率不可调、加工工件刀纹不均匀、不整齐，及现有的非谐振式振动装置存在陶瓷工作时间长的情况下压电特性就会减弱、振动不明显的问题。它的第一导电电极片与第二导电电极片之间夹有第一组压电陶瓷剪切片，第二导电电极片与第三导电电极片之间夹有第二组压电陶瓷剪切片，第三导电电极片与第四导电电极片之间夹有第三组压电陶瓷剪切片，第四导电电极片与第五导电电极片之间夹有第四组压电陶瓷剪切片。本发明利用压电陶瓷剪切片不同摆放方向和施加不同电场方向实现二维振动。<u/>
【IPC分类】B06B1/06
【公开号】CN104923469
【申请号】CN201510248321
【发明人】王波, 李国 , 冯薇薇, 张鹏, 丁飞, 王石磊
【申请人】哈尔滨工业大学
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年5月16日