压力有助于密封部件230和磁体240之间的密封面的密封性。尤其是，流体压力越高，密封面的密封性越高。因此，即使在本实施例中，转动密封220也能发挥高的耐压性。
[0067]另外，即使在本实施例中，可将过滤器110和转动密封220在环状间隙30内一体设置，而且，由于可将密封部件230直接固定于由强硬地材料构成的过滤器110，从而能够使过滤器装置200更加小型化。另外，在本实施例中，由于具有柔软性的密封部件230被磁体240吸引，即使使相对转动的轴10和壳体20的相对位置变化，也能够较好地维持密封面。另外，由于容易进行相对于壳体20的轴10的定位，从而能够容易地进行过滤器更换。另外，也不用要求轴10及壳体20以较高的尺寸精度制造。
[0068]在本实施例中，也可使磁体240比密封部件230更快转动。由此，密封部件230比磁体240转动得慢，或者静止。因此，在以与磁体240接触而变形的密封部件230，与使密封部件230比磁体240转动得更快的情形相比，难以作用离心力。因此，在密封部件230，由于难以作用阻碍该变形的离心方向的力，从而能够良好地保持密封部件230和磁体240之间的密封面。尤其是，使密封部件230静止，而仅磁体240转动时，S卩，在使轴10静止时，由于未在密封部件230作用离心力，而能够更良好地保持密封面。
[0069]实施例3
[0070]接下来，使用图3对本发明的实施例3的过滤器装置进行说明。与上述的实施例不同，在本实施例中，将过滤器设置于壳体。与上述的实施例相同的结构部分用相同的符号表示，在此省略对其的说明。图3是表示本实施例的过滤器装置300的结构的截面示意图。
[0071]过滤器装置300具有:设置于壳体20的环状的过滤器310和封闭轴10和过滤器310之间的环状间隙的转动密封320。过滤器310具有环状(圆筒状)的形状，并将其外周面固定于壳体20的轴孔21的内周面。过滤器310的材料及固定方法等，与上述的实施例的过滤器110相同。转动密封320具有:直接固定于轴10的外周面的环状的密封部件330和直接固定于过滤器310的内周面的环状的磁体340。密封部件330及磁体340的形状、材料、设置位置等，与各自上述的的实施例的密封部件及磁体的形状、材料、设置位置等相同。但，密封部件330，以其外径大于磁体340的内径的方式形成。因此，密封部件330在其外径侧且自由端侧，具有在轴向与磁体340对置的环状的对置部分331。对置部分331与上述的实施例的对置部分相同，包含与磁体340对置的对置面和该对置面周边的内侧部分。另外，在对置部分331含浸磁性流体150。
[0072]上述结构的过滤器装置300，也能够实现与上述的实施例的过滤器装置同样的效果。也就是说，利用作用于磁性流体150的磁力，在对置部分331被磁体340吸引时，由于使密封部件330以摆动的方式变形，从而使对置部分331与磁体340接触。由此，在密封部件330和磁体340之间形成环状的密封面，而且，利用磁性流体150的一部分，在对置部分331和磁体340之间的对置面间进行润滑。因此，对于轴10和过滤器310之间的环状间隙，即使在轴10和壳体20相对转动中，也能够利用转动密封320以低摩擦转矩稳定地封闭。另外，密封部件330设置在相对于磁体340的上游侧，从而使环状间隙30内流通的流体(7)压力有助于密封部件330和磁体340之间的密封面的密封性。其结果，在本实施例中，也能够实现与上述的实施例的过滤器装置相同的效果。在过滤器装置300中，使过滤器310固定于壳体20，从而不能够与轴10—起从壳体20取出。但，如果将轴10取出，能够在轴孔21内设置作业用的空间，从而容易进行过滤器更换。另外，根据过滤器装置300，由于具有转动密封320，而容易进行轴10插入时的定位，即使在过滤器装置300中，也能够容易进行过滤器更换。
[0073]在本实施例中，可使磁体340比密封部件330转动快。由此，密封部件330比磁体340转动得慢或静止。因此，与上述的实施例同样，与使密封部件330比磁体340转动快的情形相比，难以在密封部件330作用离心力。因此，能够容易良好地维持密封部件330和磁体340之间的密封面。尤其是，在使密封部件330静止，仅使磁体340转动时，由于在密封部件330未作用离心力，能够良好地维持密封面。
[0074]实施例4
[0075]接下来，使用图4对本发明的实施例4的过滤器装置进行说明。与上述的实施例3不同，在本实施例中，将转动密封的密封部件设置于过滤器，将磁场形成部件设置于轴。与上述的实施例3相同的结构部分用相同的符号表示，在此省略对其的说明。图4是表示本实施例的过滤器装置400的结构的截面示意图。
[0076]过滤器装置400具有:设置于壳体20的环状的过滤器310和封闭轴10和过滤器310之间的环状间隙的转动密封420。转动密封420具有:直接固定于过滤器310的内周面的环状的密封部件430和直接固定于轴10的外周面的环状的磁体440。密封部件430及磁体440的形状、材料、设置位置等，各自与上述的实施例的密封部件及磁体的形状、材料、设置位置等相同。但，密封部件430，以其内径小于磁体440的外径的方式形成。因此，密封部件430，在其内径侧且自由端侧具有在轴向与磁体440对置的环状的对置部分431。对置部分431与上述的实施例的对置部分相同，包含与磁体440对置的对置面和该对置面周边的内侧部分。另外，在对置部分431含浸磁性流体150。
[0077]在上述结构的过滤器装置400中，能够实现与上述的实施例3的过滤器装置相同的效果。也就是说，在使对置部分431被磁体440吸引时，由于使密封部件430以摆动的方式变形，使对置部分431与磁体440接触。由此，在密封部件430和磁体440之间，形成润滑的密封面。另外，密封部件430由于设置在相对于磁体440的上游侧，从而使环状间隙30内流通的流体的压力，有助于密封部件430和磁体440之间的密封面的密封性。其结果，在本实施例中，能够实现与上述的实施例3的过滤器装置相同的效果。
[0078]在本实施例中，可使磁体440比密封部件430转动得快。由此，密封部件430比磁体440转动得慢，或静止。因此，与上述的实施例相同，与使密封部件430比磁体440转动得快的情形相比，在密封部件430难以作用离心力。因此，能够容易良好地维持密封部件430和磁体440之间的密封面。尤其是，在使密封部件430静止，仅使磁体440转动时，由于在密封部件430未作用离心力，从而更良好地维持密封面。
[0079]过滤器的固定方法
[0080]在本实施例的过滤器装置中，由于将从流体除去的异物堆积于过滤器，而需要更换过滤器。因此，过滤器优选可装卸地固定于轴或壳体。此时，如已经叙述的那样，具有柔软性的密封部件，由于被磁体吸引而变形，在将过滤器固定于轴时，不需要求高精度地位置控制。但，在过滤器，沿轴向作用环状间隙内流通的流体压力，从而固定方法需要一定程度的坚固。以下，将相对于轴或壳体的过滤器的固定方法使用图面说明。以上述的实施例1的过滤器装置100为例进行说明，但其他的实施例也可使用相同的固定方法。另外，上述的固定方法，可在将密封部件或磁场形成部件固定于轴或壳体时使用。
[0081]图5?图7，是表示实施例1的过滤器装置100的、相对于轴10的过滤器110的固定方法的截面示意图。对共通的结构部分用相同的符号表示，在此省略对其的说明。
[0082]在图5所示的固定方法中，过滤器110，利用紧固于朝向过滤器110的外侧的法兰部112的定位螺钉90，固定于轴10。轴10的外周面11和过滤器110的内周面111之间的间隙，利用0型圈91封闭。该固定方法中，利用定位螺钉90，进行过滤器110的轴向和转动方向的定位。定位螺钉90的数量及紧固力可适当确定。另外，如果将定位螺钉90取出，能够将过滤器110从轴10容易地取出。
[0083]在图6所示的固定方法中，过滤器110利用设置于过滤器110的轴向两侧的2个的卡环92、93固定。卡环92随着与过滤器110的轴向一方侧的端面接触，而嵌入设置于轴10的外周面11的环状槽12。使设置于卡环92的轴向向下的凸部，嵌入设置于过滤器110的轴向一方侧的端面的凹部113。另外，卡环93随着与过滤器110的轴向另一方侧的端面接触，而嵌入设置于轴10的外周面11的环状槽13。在该固定方法中，利用卡环92、93，进行过滤器110的轴向及径向的定位。另外，如果将卡环92、93取出，能够容易地将过滤器110从轴10取出。
[0084]在图7所示的固定方法中，过滤器110，利用嵌入设置于朝向过滤器110的外侧的法兰部114的环状槽115的环状的弹簧94固定。在该固定方法中，利用弹簧94对过滤器110进行轴向和转动方向的定位。另外，如果将弹簧94取出，能够容易地将过滤器110从轴10取出。
[0085]根据本实施例，通过使用上述的固定方法，容易将过滤器110以能够容易地装卸于轴10的外周面11的状态固定。因此，在将轴10从壳体20取出时，能够容易进行过滤器110的更换。
[0086]在图5?图7所示的固定方法中，子实施例3及4中，也同样适用于将过滤器310固定于壳体20的轴孔21的内周面21时。
[0087]过滤器的其他的例子
[0088]接下来，使用图8?图11对可适用于本发明的过滤器的其他的例子进行说明。首先，使用图8及图9，对密封部件使用与过滤器相同的材料，并与过滤器一体设置的结构进行说明。
[0089]图8表示过滤装置500，其中替代了上述的实施例2的过滤器装置200中的过滤器110和密封部件230，而使用了过滤器510。过滤器510为使作为密封部件的密封部使用与过滤器相同的材料，并与过滤器510设置为一体的过滤器。与上述的实施例2相同的结构用相同的符号表示，在此省略对其的说明。图8是表示过滤器装置500的结构的截面示意图。
[0090]由具有柔软性的多孔质的材料构成的过滤器510具有:圆筒状的过滤器部511和设置在该过滤器部511的外周面的、开孔的圆板状的密封部530。也就是说，密封部530使用与过滤器部511相同的材料，并作为单一的部件与过滤器部511—体设置。该材料优选使用具有柔软性的多孔质的，并且，可通过热处理等的处理，堵塞细孔并硬化的材料。上述的材料，例如为多孔质的有机高分子材料。如果使用上述的材料，通过对过滤器部511的、除密封部530的外周面实施热处理，能够以堵塞该外周面的细孔并使其硬化。由此，能够防止穿过过滤器部511的内部的流体从外周面流出，而且，能够构成不会因过滤器510的自重或流体的压力