固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使用其的铸锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种用以切削硅铸锭的固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使用其的铸 锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板。
【背景技术】
[0002] 先前以来，电子材料用基板的晶圆是通过使用有游离研磨粒的利用带锯（Ay卜'' y-）或线锯的切削而获得。然而，使用有游离研磨粒的切削存在如下问题：浆料附着于经 切削的晶圆，后续步骤中的洗净负荷高，又，不易自使用液将游离研磨粒、沉淀物（只7 7 9)、切削液分离，再利用性差。
[0003] 针对这些问题，开发出利用电镀或树脂黏合剂将研磨粒固定于在线的固定研磨粒 线锯，具有简化洗净步骤、或通过将切削液与沉淀物分离而提高再利用性的优点。作为使用 此固定研磨粒线锯切削为电子材料用基板的晶圆时所使用的切削液，提出了水或例如专利 文献1及2中的水溶性切削液。
[0004] 专利文献1 :日本特开2003-82334号公报
[0005] 专利文献2 :日本特开2009-57423号公报。
【发明内容】
[0006] 然而，近年来，为了提高质量方面及切削速度，而使线速度逐步加快，存在如下问 题：若使用如专利文献1及2所揭示的水溶性切削液切削成为电子材料用基板的铸锭，则所 使用的水溶性切削液会起泡，而无法获得质量良好的晶圆。
[0007] 因此，本发明提供一种起泡少、切削性能高的固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使 用其的铸锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板。
[0008] 为了达成以上目的，本发明人等努力进行反复研究，结果发现通过使用含有 (a) 2, 4, 7, 9-四甲基-5-癸炔-4, 7-二醇（2, 4, 7, 9 -亍卜歹^于少一5 -rシ >-4, 7 - 9才一;)的伸烷基（7U> )加成物的水溶性切削液，即便在用于固定研磨粒线锯 时，亦可进行起泡少、切削性能高的切削，从而完成本发明。即，本发明涉及一种固定研磨粒 线锯用水溶性切削液，其特征在于：含有下述化学式（1)表示的（a) 2, 4, 7, 9-四甲基-5-癸 炔-4, 7-二醇的伸烷基加成物。
[0009] [化学式1]
[0010] 化学式（1)
[0011]
[0012] (其中，R表示分别相同或不同的碳数1~4的伸烷基，ml+m2+nl+n2表示伸烷基 加成物的总加成摩尔数，为1以上的整数）。
[0013] 又，本发明涉及一种铸锭的切削方法、及由上述切削方法所得的电子材料用基板， 上述铸锭的切削方法的特征在于：使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切削液，通过固定研 磨粒线锯切削铸锭而获得作为电子材料用基板的晶圆。
[0014] 如上所述，根据本发明，可提供一种起泡少、切削性能高的固定研磨粒线锯用水溶 性切削液、使用其的铸锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板。
【具体实施方式】
[0015] 本发明的固定研磨粒线锯用水溶性切削液中使用的（a)成分即2, 4, 7,9_四甲 基-5-癸炔_4, 7-二醇的伸烷基加成物具有下述化学式（1)表示的结构。
[0016] [化学式2]
[0017] 化学式（1)
[0018]
[0019](其中，R表示分别相同或不同的碳数1~4的伸烷基，ml+m2+nl+n2表示伸烷基 加成物的总加成摩尔数，为1以上的整数）。
[0020] 于上述化学式（1)中，作为加成于2, 4, 7, 9-四甲基-5-癸炔-4, 7-二醇上的环氧 烷，只要为碳数1~4的环氧烷即可，具体而言，特别优选为环氧乙烷单体、或环氧乙烷及环 氧丙烷两者。
[0021] 又，所加成的环氧烷是以无规聚合加成，因此若上述化学式（1)的4个伸烷基 (-0R-)均为碳数1~4的伸烷基，则可相同或不同，优选为4个伸烷基为乙烯单体、或乙烯 及丙烯两者中任一者，特别优选为4个伸烷基均为乙烯。
[0022] 于上述化学式（1)中，伸烷基加成物的加成摩尔数以总量计为1摩尔以上，优选为 1~20摩尔，更优选为4~12摩尔。尤其是，于所加成的伸烷基加成物为环氧乙烷单体时， 优选为环氧乙烷4~12摩尔，更优选为4~8摩尔，特别优选为4~6摩尔。又，于所加成 的伸烷基加成物为环氧乙烷及环氧丙烷时，优选为环氧乙烷4~8摩尔及环氧丙烷2~4 摩尔。
[0023] (a)成分可单独使用1种，亦可并用2种以上，作为（a)成分的添加量，相对于水溶 性切削液，优选为〇. 01~5. 0重量％，更优选为0. 05~2. 0重量％。若（a)的添加量未达 0. 01重量％，则消泡效果小、水溶性切削液的动态表面张力较高，因此存在水溶性切削液难 以进入加工部位而使切削质量恶化的倾向，若超过5.0重量％，则存在水溶性切削液难以 获得如显示消泡效果的调配平衡的情况。
[0024] 本发明的固定研磨粒线锯用水溶性切削液，优选为除了上述（a)成分，亦含有下 述所示的（b)、（c)及⑷成分。通过含有（b)、（c)及⑷成分，可控制固定研磨粒线与加 工物的间的润滑性，提高固定研磨粒线的工具寿命。
[0025] 于本发明中，（b)成分优选为羧酸、巯基苯并噻唑、苯并噻唑基硫代乙酸y'/ 于7、/y少于才酢酸）及苯并噻唑基硫代丙酸（〇、/于7、/y少于才7"口匕。才y酸）中 的至少1种以上。作为羧酸，只要具有1个以上的COOH基即可，例如可列举：辛酸、己酸、月 桂酸、油酸、柠檬酸、顺丁烯二酸、反丁烯二酸、己二酸、间苯二甲酸、苹果酸、酒石酸、十二烷 二酸及癸二酸等。（b)成分可单独使用1种，亦可并用2种以上。
[0026] 又，（c)成分优选为胺、氢氧化钠及氢氧化钾中的至少1种以上，更优选为胺。作 为胺，可列举：单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、单异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、二环 己基胺、三羟甲基丙烷聚（氧化丙烯）三胺、N，N-双（2羟基乙基）-N-环己基胺及间二甲 苯二胺夕年シb7S> )的伸烷基加成物等。（c)成分可单独使用1种，亦可并用 2种以上。
[0027] 关于（b)成分与（C)成分，若均可溶于水，则可以任意比例含有，优选为（C)成分 为将（b)成分中和的量或为此量以上，较理想的是（b)成分与（c)成分的总和为5重量％ 以下。
[0028] 又，⑷成分优选为二醇、聚伸烷基二醇（示y7少年Uy3 -少）、二醇醚、 聚伸烷基二醇醚、甘油及甘油的伸烷基加成物中的至少1种以上。二醇只要具有2个OH基 即可，例如可列举：单乙