二醇、二乙二醇、三乙二醇、单丙二醇、二丙二醇、三丙二醇及己二醇 等，作为聚伸烷基二醇，例如可列举：聚乙二醇、聚丙二醇、聚氧乙烯聚氧丙烯的共聚物及聚 氧乙烯聚氧丁烯的共聚物。作为二醇醚，例如可列举：二乙二醇单甲醚、二乙二醇单丁醚及 二乙二醇单己醚等。作为聚氧伸烷基二醇醚，例如可列举：聚氧乙烯单甲醚、聚氧丙烯单甲 醚及聚氧乙烯聚氧丙烯共聚物的单丁醚。作为甘油的伸烷基加成物，例如可列举：甘油的乙 烯加成物、丙烯加成物及乙烯丙烯共聚合加成物。（d)成分可单独使用1种，亦可并用2种 以上。（d)成分的含量只要可溶于水即可，优选为70重量％以下。
[0029] 又，本发明的固定研磨粒线锯用水溶性切削液，亦可视需要添加防锈剂、防腐剂、 香料、染料等。
[0030] 使用本发明的固定研磨粒线锯用水溶性切削液，通过固定研磨粒线锯切削铸锭， 由此可获得质量良好的电子材料用基板。
[0031 ] 在用于本发明的固定研磨粒线锯中，成为母线的线可为铁制或不锈钢制，亦可为 经镀铜者、经镀铂者。作为固着于在线的研磨粒，可使用市售的研磨粒，优选为金刚石、氮化 硼。为了将研磨粒固着于在线，优选为利用镍等金属的电镀或使用树脂的树脂附着。
[0032] 又，作为用于本发明的切削机，只要为市场上贩卖的多线锯加工机，则并无特别限 定，优选为固定研磨粒线锯专用多线锯加工机。
[0033] 又，作为用于本发明的铸锭，只要为用以制造电子材料用基板的铸锭，则并无特别 限定，例如优选为使用使硅、蓝宝石、水晶、石英、碳化硅、钽酸锂、氮化镓及砷化镓等结晶成 长并高纯度化而成的铸锭。
[0034] 如上所述，于通过固定研磨粒线锯自铸锭切削作为电子材料铜基板的晶圆时，通 过使用本发明的固定研磨粒线锯用水溶性切削液，可使起泡少，又，可提高切削性能。
[0035] 实施例
[0036] 继而，对本发明的固定研磨粒线锯用水溶性切削液的实施例进行说明，但本发明 并不限定于此。首先，依据表1及表2表示的各成分的调配量，通过常法将这些混合，由此 获得实施例1至实施例9的固定研磨粒线锯用水溶性切削液、以及比较例1至比较例4的 固定研磨粒线锯用水溶性切削液。
[0037] [表 1]
[0038]
[0041] (起泡试验）
[0042] 其次，假定切削中的起泡，将50ml的实施例1至实施例9的固定研磨粒线锯用水 溶性切削液、及比较例1至比较例4的固定研磨粒线锯用水溶性切削液添加至有栓式100mL 量筒中，塞住栓后，剧烈摇晃，确认刚摇晃后的初期起泡量及起泡消失为止的消泡时间。将 其结果示于表3。再者，稳定性是在25°C静置1周而判定，〇：于1周无分离、沉淀，A:于4 日以上且未达1周发生分离、沉淀，X:于未达4日发生分离、沉淀。
[0043] [表 3]
[0044]
[0045] 根据表3可知，比较例2的切削液的稳定性较差，比较例3及4的切削液的起泡较 多，消泡时间亦超过60秒。相对于此，可知本发明的固定研磨粒线锯用水溶性切削液的起 泡较少，较良好。再者，稳定性较差的比较例2中，已分离的（a)成分会附着于装置、配管内 而引起污染，或者因自切削液去除（a)成分而使切削质量恶化，从而难以用作切削液。
[0046] (切削试验）
[0047] 其次，使用实施例1至实施例9的固定研磨粒线锯用水溶性切削液、以及比较例1 至比较例4的固定研磨粒线锯用水溶性切削液，于表4的条件进行切削试验，测定经切削的 晶圆的剖面曲线的最底部高度（PV)。将结果示于表5。
[0048] [表 4]
[0049]
[0050] [表 5]
[0051]
[0052] 根据表5可知，比较例1及2的切削液无法切削铸锭，比较例3及4的切削液的PV 值较大，无法形成良好剖面。相对于此，可知本实施例的固定研磨粒线锯用水溶性切削液的 PV值较小，切削性能良好。
【主权项】
1. 一种固定研磨粒线锯用水溶性切削液，含有下述化学式（1)表示的（a) 2, 4, 7, 9-四 甲基-5-癸炔-4, 7-二醇的伸烷基加成物， [化学式1]其中，R表示分别相同或不同的碳数1~4的伸烷基，ml+m2+nl+n2表示伸烷基加成物 的总加成摩尔数，为1以上的整数。2. 根据权利要求1所述的固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其中，所述（a)的伸烷基加 成物的总加成摩尔数为4~12摩尔。3. 根据权利要求1或2所述的固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其中，所述（a)的含量 为0.01~5.0重量％。4. 根据权利要求1至3中任一项所述的固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其进而含有 (b)羧酸、巯基苯并噻唑、苯并噻唑基硫代乙酸及苯并噻唑基硫代丙酸中的至少1种以上， 及（c)胺、氢氧化钠及氢氧化钾中的至少1种以上。5. 根据权利要求1至4中任一项所述的固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其进而含有 (d)二醇、聚伸烷基二醇、二醇醚、聚伸烷基二醇醚、甘油及甘油的伸烷基加成物中的至少1 种以上。6. -种铸锭的切削方法，使用根据权利要求1至5中任一项所述的固定研磨粒线锯用 水溶性切削液，通过固定研磨粒线锯切削铸锭而获得电子材料用基板。7. -种电子材料用基板，是通过根据权利要求6所述的铸锭的切削方法而获得。
【专利摘要】本发明提供一种起泡少、切削性能高的固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使用其的铸锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板。一种固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其含有化学式(1)表示的(a)2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇的伸烷基加成物。又，一种铸锭的切削方法及由上述切削方法所得的电子材料用基板，上述铸锭的切削方法，是使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切削液，通过固定研磨粒线锯切削铸锭而获得作为电子材料基板的晶圆。
【IPC分类】C10N30/18, C10N40/22, C10M133/04, C10M173/02, C10M135/36, C10M129/08, C10N30/00, C10M145/26, C10M105/18, B28D5/04, C10M107/34, H01L21/304, B23D61/18, B24B27/06, C10M129/16
【公开号】CN105121614
【申请号】CN201480020233
【发明人】铃木清史, 高梨慎也
【申请人】帕莱斯化学株式会社
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2014年3月26日
【公告号】WO2014162945A1