向提升阀中间体内的惰性气体供给方法以及向提升阀中间体内的惰性气体供给装置与流程

本发明涉及向提升阀中间体内的惰性气体供给方法以及向提升阀中间体内的惰性气体供给装置。

背景技术：

在内燃机中，为了减少热负荷，倾向于使用在内部收纳有冷却介质用金属的提升阀。当在该提升阀的内部收纳冷却介质用金属时，准备具有内部空间并且该内部空间在轴线方向一端侧开口的提升阀中间体，以其轴线方向一端侧开口朝向上方的方式配置该提升阀中间体，将惰性气体填充至该提升阀中间体的内部空间内之后，从该提升阀中间体的轴线方向一端侧开口供给冷却介质用金属，其后，将提升阀中间体的轴线方向一端侧开口封闭。由此，不仅能够在提升阀的内部(内部空间)收纳冷却介质用金属，还能够使此冷却介质用金属不被最初存在于提升阀中间体的内部空间的空气氧化，并能够使此冷却介质用金属发挥其本来的热传递性能。

再者，作为将惰性气体填充至上述提升阀中间体的内部空间的方法，如专利文献1所示，提出以下的方法：以其轴线方向一端侧开口朝向上方的方式配置提升阀中间体，将喷嘴插入此提升阀中间体的内部空间直到其内部空间的底部附近，一边从此喷嘴喷出惰性气体一边使此喷嘴上升。根据该方法，伴随着喷嘴的上升，惰性气体从其下侧依次供给至提升阀中间体的内部空间内，在喷嘴移动至提升阀中间体的内部空间外时，惰性气体与最初的空气置换而填充于提升阀中间体的整个内部空间。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利5735721号公报

发明的概要

发明所要解决的课题

但是，在使用如上所述的惰性气体供给方法的情况下，作为提升阀中间体，仅限于喷嘴能够从其一端侧开口插入内部空间内的大小的提升阀中间体。

此外，由于是通过喷嘴向对大气开口的提升阀中间体内(内部空间)喷出惰性气体的构成，因此，基本上，不仅有容易从提升阀中间体的一端侧开口向外部漏出的倾向，若来自喷嘴的惰性气体的喷出速度慢，则伴随着基于喷嘴的上升的、内部空间内的喷嘴的占有体积的变化，空气从外部被吸入内部空间，因此，为了可靠地防止此空气的吸入，必须提高来自喷嘴的惰性气体的喷出速度并增加喷出量，与此相伴，从提升阀中间体的一端侧开口白白漏出至外部的惰性气体的量不得不变多。

技术实现要素：

本发明是鉴于上述实际情况而成的，其第一目的在于提供一种无论何种大小的提升阀中间体，都能不浪费地准确填充惰性气体的向提升阀中间体内的惰性气体供给方法。

第二目的在于提供一种无论何种大小的提升阀中间体，都能不浪费地准确填充惰性气体的向提升阀中间体内的惰性气体供给方法装置。

用于解决课题的方法

为了达成上述第一目的，本发明中采用(1)～(10)的构成。即，

(1)一种向提升阀中间体内的惰性气体供给方法，将惰性气体的供给对象设为具有内部空间且该内部空间在轴线方向一端侧开口的提升阀中间体，将该提升阀中间体配置为其轴线方向一端侧开口朝向上方，在供给冷却介质用金属之前，从该提升阀中间体的轴线方向一端侧开口将惰性气体供给至该提升阀中间体的内部空间内，

采用的构成是：通过吸引使上述提升阀中间体的内部空间相对于该提升阀中间体的周围环境压形成负压之后，将上述惰性气体供给至该内部空间，直到该内部空间的压力成为该提升阀中间体的周围环境压。

根据该构成，即使不将喷出惰性气体的喷嘴插入提升阀中间体的内部空间内，利用提升阀中间体的内部空间内处于相对于该提升阀中间体的周围环境压的负压下的情况，能够积极地将惰性气体引导至该提升阀中间体的内部空间内。另一方面，在提升阀中间体的内部空间内的压力达到该提升阀中间体的周围环境压为止的期间，基于其内部空间内处于负压下的情况，能够将此惰性气体的供给方式设为惰性气体不从提升阀中间体的轴线方向一端侧开口漏出的方式。

(2)在上述(1)的构成下，采用以下构成：

准备能够对负压吸引和惰性气体的供给进行切换调整的供排调整件，首先，将上述供排调整件抵接于上述提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部，将该提升阀中间体的轴线方向一端侧开口封闭，接着，通过上述供排调整件的调整来进行负压吸引，将上述提升阀中间体的内部空间内的压力设为低于该提升阀中间体的周围环境压的压力，然后，通过上述供排调整件的切换调整，对上述提升阀中间体的内部空间内供给上述惰性气体，直到该内部空间内成为该提升阀中间体的周围环境压。

根据该构成，将供排调整件抵接于提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部并将此轴线方向一端侧开口封闭之后，进行此供排调整件的调整(负压吸引、惰性气体的供给)，仅仅如此就能将惰性气体填充至提升阀中间体的内部空间内，无需将喷出惰性气体的喷嘴插入提升阀中间体的内部空间内。因此，提升阀中间体不再受到喷嘴的限制，无论对于何种大小的提升阀中间体，都能够填充惰性气体。

另一方面，在比提升阀中间体的周围环境压低的压力下，惰性气体被供给至提升阀中间体的内部空间内，直至此压力达到提升阀中间体的周围环境压，能够将此惰性气体的供给方式设为惰性气体不从提升阀中间体的轴线方向一端侧开口漏出的方式。而且，此后，即使为了供给冷却介质用金属而将供排调整件从提升阀中间体卸下，由于提升阀中间体内的内部空间内的压力为提升阀中间体的周围环境压，因此，也能够防止填充于提升阀中间体内的惰性气体从此提升阀中间体的轴线方向一端侧开口漏出。因此，能够不浪费地将惰性气体准确地填充至提升阀中间体内。

(3)在上述(2)的构成下，采用以下构成：

在同一操作位置进行对上述提升阀中间体的内部空间内的上述负压吸引和上述惰性气体的供给这两个操作，上述两个操作结束后，将上述提升阀中间体输送至构成后工序的上述冷却介质用金属的供给站。

根据该构成，不仅能够不浪费地将惰性气体准确地填充至提升阀中间体内，还能够将填充完此惰性气体的提升阀中间体依次搬出至后工序，而另一方面，与此相伴，能够接受新的提升阀中间体，并对这个新的提升阀中间体填充惰性气体。因此，能够防止对提升阀中间体的惰性气体填充工序影响循环时间(一个提升阀被生产出来为止的时间)的增大。

(4)在上述(2)的构成下，采用以下构成：

将上述供排调整件兼用作输送件，基于上述负压吸引，使上述提升阀中间体吸附于该供排调整件，将该供排调整件输送至构成后工序的上述冷却介质用金属的供给站，在将上述供排调整件输送至上述冷却介质用金属供给站之后，对上述供排调整件进行切换调整，将惰性气体供给至上述提升阀中间体的内部空间内。

根据该构成，利用提升阀中间体基于负压吸引而吸附于供排调整件的情况，能够立即将此供排调整件作为输送件，将提升阀中间体输送至冷却介质用金属的供给站。然后，在向该此冷却介质用金属的供给站进行了输送之后，将惰性气体供给至提升阀中间体内，由此，能够使提升阀中间体与供排调整件分离，并能够将惰性气体供给至提升阀中间体内。因此，不仅能够将由供排调整件进行的负压吸引和惰性气体的供给利用于向提升阀中间体内的惰性气体的填充，还能够有效地利用于提升阀中间体的输送。

(5)在上述(4)的构成下，采用以下构成：

作为上述提升阀中间体，准备其轴线方向一端侧开口在该提升阀中间体的扩径部的顶端面开口的提升阀中间体，在基于上述负压吸引使上述提升阀中间体吸附于上述供排调整件时，使该提升阀中间体的扩径部的顶端面吸附于该供排调整件。

根据该构成，能够提高提升阀中间体相对于供排调整件的吸附强度，在供排调整件作为输送件来输送提升阀中间体时，即使此提升阀中间体摆动，也能够坚固地维持供排调整件与提升阀中间体的吸附关系。因此，即使供排调整件作为输送件来输送提升阀中间体，也能够准确地将提升阀中间体输送至冷却介质用金属的供给站。

(6)在上述(2)的构成下，采用以下构成：

作为上述供排调整件，使用具备选择性地进行上述负压吸引和上述惰性气体的供给的供排通路、并且该供排通路的开口向外部开口的供排调整件，使上述供排通路的开口在上述供排调整件抵接于上述提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部时，面对该提升阀中间体的轴线方向一端侧开口。

根据该构成，只要将供排调整件抵接于提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部，并将提升阀中间体的轴线方向一端侧开口封闭，就能够通过利用供排通路来选择性地进行负压吸引和惰性气体的供给，并能够具体地实现上述权利要求2的作用效果。

(7)在上述(2)的构成下，采用以下构成：

多次重复上述负压吸引和上述惰性气体的供给。

根据该构成，假设即使进行负压吸引的设备的能力低下，也能够提高惰性气体相对于整体的比例。

(8)在上述(1)的构成下，采用以下构成：

使用氮气或氩气来作为上述惰性气体。

根据该构成，对于氮气，能够利用具有与空气相同程度的重量的情况，对于氩气，能够利用具有与空气相比足够重的性质的情况，并能够具体且准确地将惰性气体填充至提升阀中间体内。

(9)在上述(8)的构成下，采用以下构成：

至少将上述提升阀中间体的周围环境设为惰性气体环境。

根据该构成，假设即使惰性气体从提升阀中间体的内部空间内漏出，提升阀中间体周围的惰性气体进入此提升阀中间体的内部空间内，也能够抑制此内部空间内的惰性气体填充量的变动。

(10)在上述(1)的构成下，

上述(1)的构成下，由于上述提升阀中间体的周围环境压为与大气压相同的压力，因此，与处于特别的压力下的情况不同，能够容易地进行向提升阀中间体内的惰性气体供给。

为了达到上述第二目的，在本发明中，采用(11)～(17)的构成。即，

(11)一种向提升阀中间体内的惰性气体供给装置，将惰性气体的供给对象设为具有内部空间且该内部空间在轴线方向一端侧开口的提升阀中间体，具备将该提升阀中间体以其轴线方向一端侧开口朝向上方的方式支承的支承件，在上述提升阀中间体被支承于该支承件的状态下，从该提升阀中间体的轴线方向一端侧开口将该惰性气体供给至该提升阀中间体的内部空间内，采用以下构成：

具备：供排调整件，被配置为相对于上述提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部能够抵接、分离，在抵接于该提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部时，将该轴线方向一端侧开口封闭，

作为切换方式，上述供排调整件被设定为能够取得负压吸引方式和惰性气体供给方式，上述负压吸引方式在上述供排调整件被配置于上述提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部上时，对该提升阀中间体的内部空间内进行负压吸引，直至达到低于该提升阀中间体的周围环境压的设定压；上述惰性气体供给方式在该提升阀中间体的内部空间内的压力通过该负压吸引方式而成为设定压时，将惰性气体供给至该提升阀中间体的内部空间内，直到该内部空间内的压力成为提升阀中间体的周围环境压。

根据该构成，即使将喷出惰性气体的喷嘴插入提升阀中间体的内部空间内，也能够将惰性气体填充至提升阀中间体，在将此惰性气体供给至提升阀中间体内时，惰性气体能够不从提升阀中间体的轴线方向一端侧开口漏出。因此，能够提供使用上述(2)的方法的向提升阀中间体内的惰性气体供给装置。

(12)在上述(11)的构成下，采用以下构成：

在上述供排调整件具备选择性地进行负压吸引以及惰性气体的供给的供排通路，上述供排通路以在上述供排调整件抵接于上述提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部时、面对该轴线方向一端侧开口的方式开口。

根据该构成，能够提供使用上述(6)的方法的向提升阀中间体内的惰性气体供给装置。

(13)在上述(12)的构成下，采用以下构成：

具备：升降机构，在被上述支承件支承的上述提升阀中间体的上方区域，使上述供排调整件在上下方向升降移动，上述升降机构被设定为：在执行上述负压吸引方式时，使上述供排调整件下降至上述提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部上，在执行该负压吸引方式后、该提升阀中间体的内部空间内的压力达到该提升阀中间体的周围环境压时，使上述供排调整件上升。

根据该构成，能够提供使用上述(3)的方法的向提升阀中间体内的惰性气体供给装置。

(14)在上述(12)的构成下，采用以下构成：

上具备：输送机构，将上述供排调整件作为输送件来输送，上述输送机构被设定为：使上述供排调整件在上述提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部上的第一操作位置和后工序的第二操作位置之间往复移动，上述供排调整件被设定为：在从上述第一操作位置移动至上述第二操作位置时，执行上述负压吸引方式，在到达该第二操作位置时，取代该负压吸引方式而执行上述惰性气体供给方式。

根据该构成，能够提供使用上述(4)的方法的向提升阀中间体内的惰性气体供给装置。

(15)在上述(14)的构成下，采用以下构成：

作为上述提升阀中间体，使用其轴线方向一端侧开口在该提升阀中间体的轴部的顶端面开口的提升阀中间体，在上述供排调整件，以在上述供排通路的开口的周围向下方延伸的方式具备筒状的引导部件，上述引导部件的内径被设定为插通上述提升阀中间体的轴部。

根据该构成，提升阀中间体的轴线方向一端侧开口在该提升阀中间体的轴部的顶端面开口，即使其轴部顶端面吸附于供排调整件，在此供排调整件作为输送件来输送提升阀中间体时，引导部件也会限制提升阀中间体摆动。因此，即使供排调整件一边吸附提升阀中间体的轴部顶端面一边对提升阀中间体进行输送，也能够准确地将提升阀中间体输送至后工序(冷却介质用金属的供给站)。

(16)在上述(12)的构成下，采用以下构成：

具备：配置状态检测件，对在被上述支承件支承的上述提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部上配置有上述供排调整件的情况进行检测；以及，控制单元，对上述供排调整件进行控制，

在上述供排调整件具备：压力检测部，对上述提升阀中间体的内部空间内的压力进行检测；负压吸引调整部，调整对该提升阀中间体的内部空间的负压吸引；以及，惰性气体供给调整部，调整对该提升阀中间体的内部空间的惰性气体的供给，

上述控制单元被设定为：在基于来自上述配置状态检测件的信息，判断为上述供排调整件配置于上述提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部上时，对上述负压吸引调整部进行控制，使该提升阀中间体的内部空间的负压吸引开始，在基于来自上述压力检测部的信息，判断为该内部空间内的压力达到低于上述提升阀中间体的周围环境压的设定压时，对上述负压吸引调整部进行控制，使上述负压吸引停止，并对上述惰性气体供给调整部进行控制，使惰性气体供给至该内部空间，而且，在基于来自上述压力检测部的信息，判断为该内部空间内的压力达到上述提升阀中间体的周围环境压时，对上述惰性气体供给调整部进行控制，使惰性气体的供给停止。

根据该构成，能够提供具体地控制上述(12)的装置的装置。

(17)在上述(13)的构成下，采用以下构成：

具备：配置状态检测件，对上述提升阀中间体被上述支承件支承的情况进行检测；配置装置检测件，对在被上述支承件支承的上述提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部上配置有上述供排调整件的情况进行检测；以及，控制单元，对上述升降机构以及上述供排调整件进行控制，

在上述供排调整件具备：压力检测部，对上述提升阀中间体的内部空间内的压力进行检测；负压吸引调整部，调整对该提升阀中间体的内部空间的负压吸引；以及，惰性气体供给调整部，调整对该提升阀中间体的内部空间的惰性气体的供给，

上述控制单元被设定为：在基于来自上述配置状态检测件的信息，判断为上述提升阀中间体被上述支承件支承时，对上述升降机构进行控制，使上述供排调整件朝向上述提升阀中间体下降，在基于来自上述配置状态检测件的信息，判断为上述供排调整件配置于上述提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部上时，对上述负压吸引调整部进行控制，使该提升阀中间体的内部空间的负压吸引开始，在基于来自上述压力检测部的信息，判断为该内部空间内的压力达到低于上述提升阀中间体的周围环境压的设定压时，对上述负压吸引调整部进行控制，使上述负压吸引停止，并对上述惰性气体供给调整部进行控制，使惰性气体供给至该内部空间，而且，在基于来自上述压力检测部的信息，判断为该内部空间内的压力达到上述提升阀中间体的周围环境压时，对上述惰性气体供给调整部进行控制，使惰性气体的供给停止，并对上述升降机构进行控制，使上述供排调整件上升。

根据该构成，能够提供具体地控制上述(13)的装置的装置。

(18)在上述(14)的构成下，采用以下构成：

具备：配置状态检测件，对上述提升阀中间体被上述支承件支承的情况进行检测；第一配置状态检测件，对在上述第一操作位置配置有上述供排调整件的情况进行检测；第二配置状态检测件，对在上述第二操作位置配置有上述供排调整件的情况进行检测；以及，控制单元，对上述输送机构以及上述供排调整件进行控制，

在上述供排调整件具备：压力检测部，对上述提升阀中间体的内部空间内的压力进行检测；负压吸引调整部，调整对该提升阀中间体的内部空间的负压吸引；以及，惰性气体供给调整部，调整对该提升阀中间体的内部空间的惰性气体的供给，

上述控制单元被设定为：在基于来自上述配置状态检测件的信息，判断上述提升阀中间体被上述支承件支承时，对上述输送机构进行控制，使上述供排调整件朝向上述第一操作位置输送，在基于来自上述第一配置状态检测件的信息，判断为上述供排调整件配置于上述第一操作位置时，对上述负压吸引调整部进行控制，进行该提升阀中间体的内部空间的负压吸引，并对上述输送机构进行控制，将上述供排调整件输送至上述第二操作位置，在基于来自上述第二配置状态检测件的信息，判断为上述供排调整件配置于上述第二操作位置时，对上述负压吸引调整部进行控制，使上述负压吸引停止，并对上述惰性气体供给调整部进行控制，使惰性气体供给至该内部空间，而且，在基于来自上述压力检测部的信息，判断为该内部空间内的压力达到上述提升阀中间体的周围环境压时，对上述惰性气体供给调整部进行控制，使惰性气体的供给停止，并对上述输送机构进行控制，使上述供排调整件从上述第二操作位置离开。

根据该构成，能够提供具体地控制上述(14)的装置的装置。

(19)在上述(11)的构成下，采用以下构成：

使用氮气或氩气作为上述惰性气体。

根据该构成，能够提供使用上述(8)的方法的向提升阀中间体内的惰性气体供给装置。

(20)在上述(19)的构成下，采用以下构成：

至少将上述提升阀中间体的周围环境设为惰性气体环境。

根据该构成，能够提供使用上述(9)的方法的向提升阀中间体内的惰性气体供给装置。

(21)在上述(11)的构成下，采用以下构成：

上述提升阀中间体的周围环境压为与大气压相同的压力。

根据该构成，能够提供使用上述(10)的方法的向提升阀中间体内的惰性气体供给装置。

发明效果

根据以上的内容，通过本发明，能够提供一种无论何种大小的提升阀中间体，都能不浪费地准确填充惰性气体的向提升阀中间体内的惰性气体供给方法以及向提升阀中间体内的惰性气体供给方法装置。

附图说明

图1为表示第一实施方式的提升阀的生产工序的工序图。

图2为说明第一实施方式的惰性气体填充站与金属钠供给站的配置关系、供排调整件以及提升阀中间体的移动路线的说明图。

图3为简略地表示第一实施方式的惰性气体填充站与金属钠供给站的配置关系的俯视图。

图4为说明第一实施方式的惰性气体供给装置的局部剖切侧视图。

图5为表示第一实施方式的供排调整件(抵接单元)抵接于被一对导轨的输送方向终端部支持的提升阀中间体的状态的说明图。

图6为说明第一实施方式的控制单元的输入输出关系的说明图。

图7为表示第一实施方式的控制单元的控制内容的概要的说明图。

图8为表示第一实施方式的控制单元的控制例的流程图。

图9为说明第一实施方式的金属钠供给站的说明图。

图10为表示第二实施方式的提升阀的生产工序的工序图。

图11为简略地表示第二实施方式的抽真空站与金属钠填充站的配置关系的俯视图。

图12为说明第二实施方式的惰性气体供给装置的局部剖切侧视图。

图13为说明第二实施方式的控制单元的输入输出关系的说明图。

图14为表示第二实施方式的控制单元的控制例的流程图。

图15为表示吸附于供排调整件的提升阀中间体随着供排调整件的上升而上升的状态的图。

图16为表示吸附于供排调整件的提升阀中间体通过伺服电机的驱动而位于金属钠填充站的配置台的上方的状态的图。

图17为表示吸附于供排调整件的提升阀中间体通过供排调整件的下降而被配置于配置台的配置孔，并且在此配置台上，惰性气体被供给至提升阀中间体内的状态的图。

图18为说明在结束了向提升阀中间体内的惰性气体的供给之后，供排调整件从此提升阀中间体脱离的状态的说明图。

图19为说明第三实施方式的供排调整件(抵接单元)的纵剖面图。

具体实施方式

以下，基于附图，对本发明的实施方式加以说明。

1.图1表示用于生产提升阀(进排气阀)的生产线的工序图。在该提升阀的生产线中，需要使作为冷却介质用金属的金属钠收纳于提升阀的内部，因此，作为工序，包含：填充惰性气体的惰性气体填充工序、紧接着该惰性气体填充工序的、作为冷却介质用金属的金属钠的供给工序等工序。在本实施方式，该生产线中，至少形成惰性气体填充工序之后的各工序的各站在与大气压相同压力之下，处于惰性气体环境(例如氮气环境)中。

2.上述生产线中，如图2～图4所示，在形成上述惰性气体填充工序的惰性气体填充站Sg与成为其前工序的站(省略图示)之间，为了输送处于提升阀的生产中途阶段的提升阀中间体(以下，称为阀中间体)W，作为输送机构而配置有一对导轨1(通称“滑道”)。

(1)如图2、图4所示，上述阀中间体W在被送入惰性气体填充站Sg时为止，已经被加工成基本上的阀形状，在此阀中间体W具备：轴部W1；和，伞部W2(扩径部)，以相对于此轴部W1形成扩径的状态，与此轴部W1的轴线方向一端侧(以下，称为一端侧)一体化。在该阀中间体W内部，从伞部W2至轴部W1地形成内部空间Win，此内部空间Win在伞部W2形成为向外部开口的凹部W2in，在轴部W1形成有自此凹部W2in连接并延伸的轴状空间W1in。这样的阀中间体W的伞部W2的开口W2o构成阀中间体W的轴线方向一端侧开口，划分出此伞部开口W2o的伞部W2的开口周缘部W2f构成阀中间体W的轴线方向一端侧开口周缘部。

(2)上述一对导轨1隔开固定间隔，并以随着朝向阀中间体W的搬出侧(惰性气体填充站Sg侧)而高度位置变低的方式延伸(倾斜)。在使用该一对导轨1来输送阀中间体W时，使阀中间体W的伞部W2跨越此一对导轨1，并使阀中间体W的轴部W1从该一对导轨1间向下方垂下，由此，阀中间体W在一对导轨1的倾斜之下，基于此阀中间体W的自重而在一对导轨1上滑动，并被输送至惰性气体填充站Sg。

3.如图2～图4所示，上述惰性气体填充站Sg具备惰性气体供给装置100。惰性气体供给装置100具有：上述一对导轨1的输送方向终端部1e(图2中为左端部)，进入惰性气体填充站Sg并构成阀中间体W的支承件；和，供排调整件2，配置于此一对导轨1的输送方向终端部1e的规定位置P1上方，对阀中间体W进行作为负压吸引的抽真空和惰性气体的供给。

(1)上述一对导轨1的输送方向终端部1e相对于此一对导轨1的其他部分被折弯，由此，朝向生产线延续的方向(图2、图3中为左方向)水平延伸。因此，若阀中间体W从一对导轨1的输送方向始端部输送至输送方向终端部1e，则此阀中间体W的伞部开口W2o基于阀中间体W与一对导轨1的上述支承关系，朝向上方。

该情况下，通过一对导轨1输送过来的(滑动过来)阀中间体W与省略图示的限位件抵接，并停止于一对导轨1的输送方向终端部1e上的规定位置P1。

(2)如图2～图4所示，上述供排调整件2具备：调整单元3；和，抵接单元4，配置于该调整单元3的下方侧。

(2－1)上述调整单元3具备：收纳箱5、第一配管6、第二配管7、作为负压吸引调整部的电磁阀8、作为惰性气体供给调整部的电磁阀9、作为压力检测部的压力计10。

(i)收纳箱5被设为维持固定宽度并以偏平状态延伸的形状。该收纳箱5的延伸方向一端侧部分(图3中为下端侧部分，图4中为左端侧部分)被配置为在上述一对导轨1的输送方向终端部1e的上方，横跨此一对导轨1，其延伸方向另一端侧部分(图3中为上端侧部分，图4中为右端侧部分)位于一对导轨1的并列设置方向(图3中为上下方向，图4中为左右方向)一方侧(图3中为上侧，图4中为右侧)。

在该收纳箱5的延伸方向一端侧部分连接有连接筒11。该连接筒11以在上下方向延伸的方式配置，此连接筒11的上端部以从下侧进入收纳箱5内的状态装配于该收纳箱5，此连接筒11的下端部从收纳箱5向下方延伸。该情况下，连接筒11的上端开口利用收纳箱5的上壁部5a而被封闭，仅连接筒11的下端开口向外部开口。

该收纳箱5的延伸方向另一端侧部分介由构成升降机构的伸缩气缸装置12被支承于底座13上。伸缩气缸装置12具备：气缸14；活塞15，将此气缸14内划分为上下二室R1、R2；和，伸缩杆16，一端部连结于此活塞15，另一端部从气缸14向上方延伸并连结于收纳箱5，介由空气压缩机30、调压装置31、调整阀(电磁阀)17对此气缸14内的二室R1、R2供排(供给、排出)压缩空气。通过对该气缸14内的二室R1、R2的压缩空气的供排，伸缩杆16进行伸缩运动，与此伸缩杆16的伸缩运动相伴，收纳箱5在上下方向进行升降运动。

(ii)第一配管6配置于收纳箱5内，在收纳箱5的延伸方向延伸。该第一配管6的一端部连接于上述连接筒11，其另一端从收纳箱5的延伸方向另一端侧向外部开口。第一软管18，其一端连接于该第一配管6的另一端开口，其另一端连接于底座13上的真空泵19。该真空泵19在生产线运转中时，处于工作状态，进行作为负压吸引的抽真空。

(iii)第二配管7也配置于收纳箱5内，在收纳箱5的延伸方向延伸。该第二配管7的一端部连接于上述连接筒11，其另一端从收纳箱5的延伸方向另一端侧向外部开口。第二软管20，其一端连接于该第二配管7的另一端开口，其另一端介由调整器(压力调整件)21连接于惰性气体供给源(例如惰性气体填充储气瓶)22。该惰性气体供给源22在生产线的运转中处于供给惰性气体的状态，使用氩气或氮气来作为此惰性气体。这是因为：在向阀中间体W内填充惰性气体时，对于氩气，除了惰性以外，还能够利用比空气足够重的性质，对于氮气，能够利用与空气具有相同程度的重量的性质。在本实施方式中，重视比空气足够重的性质，将氩气用作惰性气体。

(iV)电磁阀8夹装于第一配管6。由此，在电磁阀8被打开时，能够使抽真空的状态波及到上述连接筒11的贯通孔11a内，在电磁阀8被关闭时，能够使抽真空的状态不波及到连接筒11的贯通孔11a内。

(v)电磁阀9夹装于第二配管7。由此，在电磁阀7被打开时，能够将惰性气体(氩气)供给至连接筒11的贯通孔11a内，在电磁阀9被关闭时，能够停止向连接筒11的贯通孔11a内供给惰性气体。

(vi)压力计10连接于连接筒11。该压力计10始终检测连接筒11的贯通孔11a内的压力，其压力检测信号从压力计10被输出。

(2－2)抵接单元4具备衬垫保持件24、帽体25以及衬垫26。

(i)衬垫保持件24形成为厚壁的圆板形状。在该衬垫保持件24的径向中央部螺合有上述连接筒11的下端部，衬垫保持件24的板面朝向上下方向，并且装配于上述收纳箱5(调整单元3)的下侧。

(ii)帽体25形成为圆筒状。在该帽体25的一端部开口内周缘部一体地设有向径向内侧突出的卡止部25a，其一端侧开口的直径相对于另一端侧开口的直径形成缩径。该帽体25的内周面螺合于衬垫保持件24的外周面，卡止部25a面对衬垫保持件24的下表面周缘部。

(iii)衬垫26使用橡胶板等缓冲材，以覆盖衬垫保持件24的下表面的方式配置。该衬垫26的周缘部通过衬垫保持件24的下表面和帽体25的卡止部25a挟持，其周缘部以外的部分从帽体25的一端侧开口面向外侧。在该衬垫26的下表面，圆筒状的突部27(由橡胶等一体成型)一体地设于帽体25的一端侧开口内。该突部27相对于衬垫保持件24的轴线呈同心状地配置，此突部27向帽体25的一端侧开口的下方突出。该突部27基于前述伸缩气缸装置12的伸缩杆16的缩短运动，随着收纳箱5的下降而下降，如图5所示，该突部27的顶端面抵接(就位)于配置在上述规定位置P1(一对导轨1的输送方向终端部1e上的规定位置)的阀中间体W的伞部周缘部W2f的顶端面，与此相伴，阀中间体W的内部空间Win被封闭。因此，突部27的内径被设为大于阀中间体W的伞部开口W2o的直径，此突部27的外径被设为小于阀中间体W的伞部W2外径。本实施方式中，在突部27顶端面就位(抵接)于伞部周缘部W2f的顶端面时，为了形成突部27的内面从伞部开口W2o向径向外侧稍许分离的状态，突部27的内径被设为稍大于阀中间体W的伞部开口W2o的直径。这是为了防止突部27的材质(例如橡胶)附着于阀中间体W的伞部开口内周缘部，并准确地进行盖体向伞部开口内周缘部的焊接(伞部开口W2o的封闭)。

(iv)如图2、图4、图5所示，在该抵接单元4形成有供排通路28。供排通路28通过利用上述连接筒11的贯通孔11a，并在衬垫保持件24以及衬垫26形成与贯通孔11a相连的连通孔24a、26a来构成，该供排通路28从衬垫26的径向中央部外面向外部开口。

4.如图6所示，上述惰性气体供给装置100(惰性气体填充站Sg)具备：上述电磁阀(负压调整部)8、电磁阀(惰性气体供给调整部)9、用于控制调整阀17的控制单元(控制部、控制装置)U。

(1)因此，来自传感器(配置状态检测件)35、传感器(配置状态检测件)36、传感器37、压力计10(压力检测部)的各信息被输入至控制单元U，从此控制单元U对电磁阀8、电磁阀9、调整阀17输出控制信号。

该情况下，传感器35对阀中间体W是否被输送至一对导轨1的输送方向终端部1e的规定位置P1进行检测。传感器36对抵接单元4(供排调整件2)是否配置于上述规定位置P1上的阀中间体W的伞部开口周缘部W2f上进行检测，在本实施方式中，是根据传感器36是否能检测到装配于伸缩气缸装置12的活塞15的磁铁38来进行检测的。传感器37对抵接单元4(供排调整件2)是否位于原位置(上述规定位置P1上方的待避位置)进行检测，在本实施方式中，是根据传感器37是否能检测到装配于上述活塞15的磁铁38(根据伸缩气缸装置12的伸缩杆16是否伸长到最大)来进行检测的。如上所述，压力计10对连接筒11的贯通孔11a内的压力进行检测，通过该压力检测，在规定位置P1的阀中间体W与抵接单元4抵接时，对该阀中间体W的内部空间Win的压力进行检测(参照图5)。

(2)如图6所示，在上述控制单元U具备用于确保作为计算机的功能的存储部40和控制部41。

存储部40由ROM(Read Only Memory)或RAM(Random Access Memory)等存储元件构成，在此存储部40储存有向阀中间体W的内部空间Win填充惰性气体所需的各种程序、设定信息等。根据需要，这些各种程序等通过控制部41读出，此外，必要的信息适当地存储于存储部40。

控制部41由CPU(Central Processing Unit)构成，此控制部41随着从存储部40读出的程序的展开，作为设定部42和运算控制部43发挥作用。

设定部42在使阀中间体W的内部空间Win成为真空时，设定结束抽真空的设定压Ps，在将惰性气体供给至阀中间体W的内部空间Win时，设定停止此惰性气体的供给的设定压Pa等，运算控制部43在各种程序下，基于设定部42的设定信息、来自各传感器等35～37、10的输入信息进行运算处理，将各种控制信号输出至电磁阀8、电磁阀9、调整阀17。

(3)如图7所示，上述控制单元U表示如下控制内容的概要。

若检测到阀中间体W存在于规定位置P1，则供排调整件2从原位置下降。然后，若通过传感器36检测到供排调整件2就位于规定位置P1的阀中间体W的伞部开口周缘部W2f，则电磁阀8开阀(ON)，开始抽真空。由此，阀中间体W内的压力P降低。

若通过压力计10检测到阀中间体W内的压力P降低至设定压Ps(例如160mmHg(abs))，则电磁阀8闭阀(OFF)，并且电磁阀9开阀(ON)。由此，取代抽真空而供给惰性气体，通过该惰性气体的供给，阀中间体W内的压力P升高。

若压力计10检测到阀中间体W内的压力P上升至周围环境压(本实施方式中为大气压)，则电磁阀9闭阀(OFF)。由此，惰性气体被填充至阀中间体W内，供排调整件2为了与阀中间体W分离而上升。

因此，即使不将喷出惰性气体的喷嘴插入提升阀中间体W的内部空间Win内，也能够利用提升阀中间体W的内部空间Win内相对于此提升阀中间体W的周围环境压处于负压下的情况，积极地将惰性气体引导至此提升阀中间体W的内部空间Win内。而且，在提升阀中间体W的内部空间Win内的压力达到此提升阀中间体W的周围环境压为止的期间，基于此内部空间Win内处于负压下的情况，能够将惰性气体的供给方式设为惰性气体不从提升阀中间体W的伞部开口W2o漏出的方式。

此外，如果是一般大小的阀中间体W，则内部空间Win的容积也不那么大(例如0.35cm³～1cm³的范围)，因此，能够几乎瞬间地分别进行抽真空以及惰性气体的供给，与使喷出惰性气体的喷嘴在阀中间体W的内部空间Win进出的情况相比，能够显著地缩短生产阀的周期时间。

(4)基于图8所示的流程图，具体地说明对阀中间体W的惰性气体供给方法以及上述控制单元U的控制例。再者，S表示步骤。

若开始进行控制，则首先，在S1，基于来自传感器35的信息，辨别阀中间体W是否存在于一对导轨1的输送方向终端部1e的规定位置P1。这是为了判断阀中间体W是否被输送至规定位置P1，以便判断惰性气体供给工序可否开始。因此，在S1为否时，返回到S1，继续检测被输送来的阀中间体W，而另一方面，在S1为是时，S2中，供排调整件2通过伸缩气缸装置12而下降。

在S2，若供排调整件2下降，则在S3，基于来自传感器36的信息，辨别抵接单元4(衬垫26的突部27)是否抵接于阀中间体W的伞部开口周缘部W2f的顶端面。这是为了判断阀中间体W的内部空间Win是否形成密闭状态，是否能对此内部空间Win抽真空。因此，在该S3为否时，返回到上述S2，在S3为是时，S4中，供排调整件2的下降运动停止，并且，S5中，电磁阀8开阀。由此，阀中间体W的内部空间Win被抽真空，最初存在于此内部空间Win内的空气被排出。

若在S5开始抽真空，则在S6，基于来自压力计10的信息，辨别阀中间体W的内部空间Win的压力P是否达到比阀中间体W的周围环境压(本实施方式中为与大气压相同的压力)低的设定压Ps以下。这是为了顺利地进行接下来要进行的惰性气体的供给，并在此供给时，基于阀中间体W内的负压，形成惰性气体不从阀中间体W的伞部开口W2o漏出的状态。因此，在S6为否时，返回到S5继续进行抽真空，另一方面，在S6为是时，在S7，电磁阀8闭阀，并且在接下来的S8，电磁阀9开阀。由此，如上所述，在负压下，惰性气体被供给至阀中间体W内。

在S8，若开始向阀中间体W内供给惰性气体，则在S9，辨别阀中间体W的内部空间Win的压力P是否上升至惰性气体填充站Sg的周围环境压(本实施方式中为与大气压相同的压力)以上。这是为了判断停止供给惰性气体的定时。因此，在S9为否时，返回到S7，继续进行惰性气体的供给，另一方面，在该S9为是时，在S10，电磁阀9闭阀，停止惰性气体的供给。与此相伴，在接下来的S10，供排调整件2基于伸缩气缸装置12的驱动而返回(上升)至原位置，与规定位置P1的阀中间体W分离。

当然，此时，阀中间体W的内部空间Win的压力P与周围环境压相同，由此，供排调整件2容易地与阀中间体W分离，此外，即使在阀中间体W的伞部开口W2o开口的状态下，惰性气体被填充于阀中间体W内的状态也得以维持。

5.如图2、图3所示，在惰性气体填充站Sg，用于搬出位于规定位置P1的阀中间体W的搬出装置45设于一对导轨1的并列设置方向另一方侧(图3中为下侧，图4中为左侧)。搬出装置45以一对导轨1为基准，在上下具备第一、第二搬出装置45A、45B，第一搬出装置45A以一对导轨1为基准配置于其下侧(参照图2)，第二搬出装置45B以一对导轨1为基准配置于其上侧(参照图3)。

再者，图2中，仅简略地示出第一搬出装置45A，图3中，仅简略地示出第二搬出装置45B。

(1)第一搬出装置45A具备开闭的一对臂部46A(简略地示于图2中)，此一对臂部46A能够在上下方向升降运动。由此，在搬出位于规定位置P1的阀中间体W时，第一搬出装置45A的一对臂部46A的顶端部夹持位于规定位置P1的阀中间体W的轴部W1，此一对臂部46A一边维持此夹持状态一边上升固定长度，阀中间体W的伞部W2以分离的状态位于一对导轨1的上方。

(2)如图3所示，第二搬出装置45B具备开闭的一对臂部46B，此一对臂部46B在上下方向升降运动，并且第二搬出装置45B自身能够在形成金属钠供给工序的金属钠供给站Sm与惰性气体供给工序站Sg之间移动(参照图3)。由此，在搬出位于规定位置P1的阀中间体W的时候，第一搬出装置45A(一对臂部46A)使阀中间体W上升时，第二搬出装置45B的一对臂部46B夹持从一对导轨1上升的阀中间体W的轴部W1，此一对臂部46B等待由随此夹持进行动作的第一输送装置(一对臂部)所产生的挟持解除运动而上升。然后，第二搬出装置45B移动至金属钠供给站Sm的配置47台上，若到达此处，使一对臂部46B下降至规定的下降位置后打开，将阀中间体W交付至金属钠供给站Sm(参照图2、图3)。若结束该一系列的动作，第一、二搬出装置45A、45B返回至原位置、原状态。

6.如图2、图3、图9所示，在金属钠供给站Sm，具备：接受阀中间体W的上述配置台47；将金属钠向下方挤出的挤出机49；将从该挤出机49挤出的金属钠输送至配置台47的上方的细分用保持架装置50；使细分用保持架装置50在挤出机49与配置台47之间移动的保持架移动装置51；将通过细分用保持架装置50输送的金属钠从该细分用保持架装置50挤出的惰性气体喷出装置60。

(1)如图3所示，配置台47配置于上述一对导轨1的输送方向终端部1e的延长区域。如图2、图9所示，在该配置台47形成有接受阀中间体W的配置孔48。该配置孔48朝向上方开口，其开口直径、开口形状供阀中间体W的轴部W1插通并能够支承伞部W2。因此，在配置孔48从第二搬出装置45B接受了阀中间体W时，与惰性气体填充站Sg的情况相同，阀中间体W以使其伞部开口W2o朝向上方的状态被配置。

(2)如图3、图9所示，挤出机49配置于一对导轨1的并列设置方向一方侧(图3中为上侧)，形成相对于上述配置台47在一对导轨1的并列设置方向偏置配置的配置关系。该挤出机49具备：呈棒状地挤出金属钠的挤出机主体52；和，以固定长度切割从此挤出机主体52向下方挤出的棒状的金属钠的切割装置53，它们在相对于配置台47偏置配置的状态下，位于距该配置台47的上表面固定距离的上方(参照图9)。

(3)如图9所示，细分用保持架装置50具备：能够收纳一定量的金属钠的筒状的保持架54；和，对此保持架54内的金属钠的保持、排出进行调整的截止阀55。保持架54以使其轴线朝向上下方向的状态装配于基板56，截止阀55配置于保持架54的下端侧，通过装配于基板56的执行器57的驱动来对保持架54的下端开口进行开闭。

(4)如图9所示，保持架移动装置51具备具有伸缩杆58a的伸缩气缸装置58，此伸缩杆58a的顶端部连结于上述基板56。该伸缩气缸装置58通过伸缩杆58a的伸缩运动，使装配于基板56的保持架54移动到其上端面位于挤出机49的下方侧的金属钠接收位置(图9中为实线状态)和其下端面面向配置台47的配置孔48的金属钠排出位置(图9中为假想线状态)。

再者，符号59表示支承伸缩气缸装置58的固定座。

(5)如图9所示，惰性气体喷出装置60配置于配置台47的上方。该惰性气体喷出装置60通过省略图示的升降装置，能够在上下方向进行升降运动，此惰性气体喷出装置60具备：喷嘴61；与此喷嘴61相连的惰性气体供给源(省略图示：本实施方式中为氩气供给源)；夹装在此喷嘴61与惰性气体供给源之间的电磁阀62。

喷嘴61被设定为能够基于惰性气体喷出装置60的升降运动取得待避位置和工作位置，该待避位置为自配置台47的上表面向上方以阀中间体W的轴线方向长度以上的距离分离的位置，该工作位置为自配置台47的上表面向上方以稍长于保持架54的轴线方向长度的距离分离的位置，在保持架54移动至配置台47上方的金属钠排出位置时，喷嘴61位于工作位置，由此接近并面向保持架54的上端面，除此以外的时间，喷嘴61位于待避位置。

惰性气体供给源处于供给惰性气体的状态，惰性气体向喷嘴61的供给通过电磁阀62来调整。

在喷嘴61处于工作位置时，电磁阀62开阀，惰性气体从喷嘴61喷出。由此，此惰性气体从保持架54的上端开口进入其内部，由此，保持架54内的金属钠向下方被挤出。

(6)在这样的金属钠供给站Sm，当通过上述第二搬出装置45B接收阀中间体W时，喷嘴61处于待避位置，在这样的状态下，阀中间体W通过第二搬出装置45B被输送至配置台47，阀中间体W被配置于此配置台47的配置孔48。

若确认到阀中间体W被配置于配置台47的配置孔48，则保持架移动装置51被驱动，保持架54移动至金属钠排出位置(参照图9中的假想线)。该情况下，在该保持架移动装置51被驱动之前，从挤出机49挤出的棒状的固定量的金属钠被导入保持架54内，为了将此金属钠保持于保持架54内，截止阀55成为闭阀状态。

若确认到保持架54移动至金属钠排出位置，则喷嘴61下降至工作位置，之后，截止阀55开阀，并且电磁阀62开阀。由此，惰性气体从喷嘴61喷出，保持架54内的金属钠从此保持架54的下端开口被挤入阀中间体W内。

若确认到保持架54内的金属钠被挤出，且该保持架54内为空，则喷嘴61返回至待避位置，并且截止阀55关闭，通过保持架移动装置51的驱动，保持架54被返回至原位置。在返回至该原位置的保持架54内，从挤出机49供给新的金属钠。

另一方面，若确认到喷嘴61向待避位置移动，且保持架54返回至原位置，则容纳有金属钠的阀中间体W被输送至形成对阀中间体W内的金属钠的挤入工序、阀中间体W的伞部开口W2o的封闭工序(盖体的焊接处理)的各站，通过经由此各站，阀W完成。

再者，图2、图9中，符号63为将容纳有金属钠的阀中间体W从配置台47搬出时所使用的挤出销。

7.图10～图18表示第二实施方式，图19表示第三实施方式。在该各实施方式中，对于与上述第一实施方式相同的构成要素，赋予相同的符号并省略其说明。

8.图10～图18所示的第二实施方式，作为第一实施方式的变形例，表示在供排调整件2处于抽真空方式时，着眼于此供排调整件2与阀中间体W一体化的情况，将供排调整件2用作输送件的结构。

(1)在该第二实施方式中，为了对阀中间体W内填充惰性气体，也执行抽真空工序和惰性气体供给工序，而在该第二实施方式中，如图10所示，取代惰性气体填充站Sg、金属钠供给站Sm，设置仅进行抽真空工序的抽真空站Sv、进行惰性气体供给工序和金属钠供给工序的金属钠填充站Sf。第二实施方式的惰性气体供给装置100在抽真空站Sv以及金属钠填充站Sf两方发挥作用。

(2)第二实施方式的惰性气体供给装置100基本上利用上述第一实施方式的构成，但一部分构成有所不同。

(3)在第二实施方式的惰性气体供给装置100，也具备底座13，但此底座13配置于一对导轨1的并列设置方向另一方侧(图11中为下方侧)，此底座13由固定底座13A、沿生产线延续的方向(图11中为左右方向)在此固定底座13A上滑动的滑动底座13B。在该滑动基盤13B，介由动力传递机构71，连接卡合有作为驱动源的伺服电机72，嵌入滑动底座13B的滚珠丝杠构造73、夹于此滚珠丝杠构造(轴部)73与伺服电机72之间的带轮74、带75、带轮76作为此动力传递机构71，将伺服电机72的驱动力作为往复动力传递至滑动底座13B。由此，滑动底座13B在抽真空站Sv与金属钠填充站Sf之间移动。

(4)如图13所示，针对第二实施方式的控制单元U，除了来自传感器(配置状态检测件)35、传感器(配置状态检测件)36、传感器37、压力计10(压力检测部)的各信息以外，还输入来自伺服电机72的编码器77的信息，除了电磁阀8、电磁阀9、调整阀17以外，还对伺服电机72从此控制单元U输出控制信号。

此外，除了上述第一实施方式的设定内容，在控制单元U的设定部42设定有滑动底座13B在抽真空站Sv与金属填充站Sf之间移动的距离。

(5)基于图14所示的流程表等，具体地说明上述控制单元U的控制例以及一系列的作用。再者，Q表示步骤。

(i)若开始控制，则首先，确认阀中间体W存在于一对导轨1的输送方向终端部1e的规定位置P1(Q1)，若确认到此阀中间体W的存在，则通过伸缩气缸装置12，而供排调整件2下降(Q2)。然后，若确认到通过该下降，抵接单元4(衬垫26的突部27)抵接于阀中间体W的伞部开口周缘部W2f的顶端面(图12中，参照抵接单元4的假想线)(位于第一操作位置)(Q3)，则停止供排调整件2的下降运动并打开电磁阀8，对阀中间体W的密闭状态的内部空间Win进行抽真空(Q4、Q5)。由此，与上述第一实施方式相同，最初存在于阀中间体W的内部空间Win内的空气被排出。

(ii)若在Q5开始抽真空，则在Q6，辨别阀中间体W的内部空间Win的压力P是否达到比阀中间体W的周围环境压(本实施方式中为与大气压相同的压力)低的设定压Ps以下，若确认如此，则通过伸缩气缸装置12的伸缩杆16的伸长，供排调整件2如图15所示地上升(Q7)。通过传感器37检测供排调整件2是否由于该供排调整件2的上升而到达原位置，若通过此传感器37的检测确认到供排调整件2已到达原位置(Q8)，则伺服电机72被驱动，此伺服电机72的驱动力介由带轮76、带75、带轮74、滚珠丝杠机构73被传递至滑动底座13B。由此，滑动底座13B移动至金属填充站Sf，与此相伴，吸附于供排调整件2的阀中间体W也以吊垂的状态被输送至金属填充站Sf(Q9)。

此时，惰性气体喷出装置60的喷嘴61处于待避位置，在本实施方式，不仅考虑到阀中间体W还考虑到供排调整件2，此待避位置为这些阀中间体W以及供排调整件2在其输送时不与喷嘴61或配置台47干渉的位置。

此外，在输送该阀中间体W时，供排调整件2吸附具有较大面积的伞部W2顶端面，由于二者2、W2的吸附关系牢固，因此，假设即使输送时阀中间体W摆动，阀中间体W也不会从供排调整件2脱离、落下。

(iii)如图16所示，通过该滑动底座13B的移动，吸附于供排调整件2的阀中间体W到达配置台47(配置孔)的上方，若控制单元U基于来自编码器77的信息而判断出此情况(Q10)，则伺服电机72停止，滑动底座13B停止，并且伸缩气缸装置12的伸缩杆16缩短运动，供排调整件2下降(Q12)。通过该下降，吸附于供排调整件2的阀中间体W如图17所示地从其轴部W1插通至配置孔48，若通过传感器36确认到供排调整件2到达规定下降位置(第二操作位置)(阀中间体W配置于配置台47的状态)(Q13)，则伸缩杆16的缩短运动停止，供排调整件2的下降运动停止(Q14)。

(iv)若供排调整件2的下降运动停止，则在供排调整件2吸附阀中间体W的状态(图17的状态)下，此阀中间体W内的压力P通过压力计10再次读入。然后，在此检测压力P并非设定压Ps以下时，认为有位置偏移等而产生吸附不良，工作停止，另一方面，在认为检测压力P维持在设定压Ps以下时，电磁阀8关闭并且电磁阀9打开，取代抽真空而供给惰性气体(Q18、Q19)。

(v)将惰性气体供给至阀中间体W内，若确认到阀中间体W内成为周围环境压Pa以上，则电磁阀9关闭，惰性气体的供给停止(Q21)，供排调整件2如图18所示地返回至原位置(Q22)。

此后，在金属钠填充站，通过与上述第一实施方式相同的方法，向阀中间体W内进行金属钠的供给，若结束此供给，则收纳此金属钠的阀中间体W被输送至下一站。

(6)因此，在该第二实施方式中，不仅能够不浪费惰性气体地将惰性气体供给至阀中间体W内，也能够利用供排调整件2对阀中间体W抽真空的方式，将供排调整件2用作输送阀中间体W的输送件。

9.图19所示的第三实施方式表示上述第二实施方式的变形例。

在该第三实施方式中，作为阀中间体W，将其伞部W2顶端面封闭而在其轴部W1顶端面形成开口W1o，并且内部空间Win介由此开口W1o与外部连通的结构作为惰性气体的供给对象。因此，需要通过轴部W1的顶端面开口W1o来进行抽真空和惰性气体的供给，由此，供排调整件2的抵接单元4与第二实施方式的结构相比整体上形成缩径，衬垫26的突部27顶端面能够抵接于轴部W2的顶端面。

而且，在抵接单元4的帽体25，其卡止部25a的顶端周缘部一体地形成有筒状的引导部25b(引导部件)。该引导部25b从卡止部25a的顶端周缘部向下方延伸，其内径能够供阀中间体W的轴部W1插通。

因此，抽真空工序中，在抵接单元4(供排调整件2)吸附阀中间体W的轴部W1顶端面时，如图19所示，其轴部W1插通至引导部25b内，在抵接单元4一边吸附阀中间体W的轴部W1顶端面一边被输送至金属钠填充站Sf时，即便使阀中间体W摆动的力发挥作用，引导部25b也会限制此摆动。由此，在抵接单元4(供排调整件2)输送阀中间体W时，能够防止阀中间体W从抵接单元4(供排调整件2)脱离。

10.以上对实施方式进行了说明，但本发明包含以下的方式。

(1)使生产线的惰性气体环境高于大气压。

(2)使生产线在大气环境(大气压)下运行。该情况下，作为填充于阀中间体W内惰性气体，优选氩气。

(3)在将氮气用作惰性气体的情况下，优选将生产线设为惰性气体环境。更为优选的是，进一步将其环境压力设为大气压以上。

(4)作为冷却介质用金属，使用Na－K合金。

(5)在真空泵19的能力低时，重复多次抽真空以及惰性气体的供给，最终，将阀中间体W内的惰性气体的比例提高到所希望的值。

(6)作为升降机构，可以使用各种结构。

(7)作为伸缩气缸装置12，并不限于空气气缸，而使用液压气缸。

符号说明

1e 一对导轨的输送方向终端部(支承件)

2 供排调整件

4 抵接单元(供排调整件)

8 电磁阀(负压吸引调整部)

9 电磁阀(惰性气体供给调整部)

10 压力计(压力检测部)

12 伸缩气缸装置(升降机构、输送机构)

13B 滑动底座(输送机构)

25 帽体

25b 引导部(引导部件)

28 供排通路

35 传感器(配置状态检测件)

36 传感器(配置状态检测件、第一配置状态检测件、第二配置状态检测件)

37 传感器

71 动力传递机构(输送机构)

72 伺服电机(输送机构)

77 编码器(第二配置状态检测件)

100 惰性气体供给装置

Sg 惰性气体填充站

Sf 金属钠填充站(金属钠的供给站)

W 提升阀中间体

W2 提升阀中间体的伞部(扩径部)

W2o 伞部开口(提升阀中间体的轴线方向一端侧开口)

W2f 伞部开口周缘部(提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部)

Win 提升阀中间体的内部空间

W1 提升阀中间体的轴部

W1o 轴部开口(提升阀中间体的轴线方向一端侧开口)

W1f 轴部开口周缘部(提升阀中间体的轴线方向一端侧开口周缘部)

P 提升阀中间体的内部空间内的压力

Ps 设定压

Pa 周围环境压

P1 一对导轨的输送方向终端部上的规定位置

U 控制单元