具多重气密空腔的微机电装置及其制作方法与流程

技术总结
本发明公开一种具多重气密空腔的微机电装置及其制作方法，可将多种感测元件整合在单一装置中。例如，本发明的微机电装置可提供具有不同的气压的两个气密空腔，以分别使微机电气压计及微机电加速度计能在最佳的气压环境下进行操作。

技术研发人员：苏中源;郭秦辅;李宗璟;黄肇达
受保护的技术使用者：财团法人工业技术研究院
技术研发日：2014.12.17
技术公布日：2018.10.26