一种基于模态局部化效应的弱耦合MEMS谐振式加速度计的制作方法

文档序号:11092199阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于模态局部化效应的弱耦合MEMS谐振式加速度计,其特征在于,两个完全相同的敏感质量块,即质量块一301和质量块二302上下对称放置;两根支撑质量块一的弹性支撑梁307将所述质量块一301支撑于其两侧的第一固定锚点303上,两根支撑质量块二的弹性支撑梁306将所述质量块二302支撑于其两侧的第二固定锚点304上,使得所述质量块一301和质量块二302只在该加速度计的敏感方向、即上下方向运动;所述质量块一301和质量块二302的中间是该加速度计的核心结构——弱耦合谐振器,其包含的主要部件谐振器一308与谐振器二309呈上下对称放置,并且由谐振器的机械耦合梁307在靠近谐振梁固定锚点附近连接从而实现弱耦合,与第一质量块301相连接的质量块一的静电力施加电容极板407和与谐振器一308相连接的电容器外极板形成了对谐振器一308施加静电负刚度的第一载荷施加电容310,与第二质量块302相连接的电容器极板408和与谐振器二309相连接的电容器外极板形成了对谐振器二309施加静电负刚度的第二载荷施加电容311。

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