技术总结
本发明公开了一种基于模态局部化效应的弱耦合MEMS谐振式加速度计，属于微机电系统(MEMS)领域。加速度计包括两个完全相同的可动质量块和两个通过机械耦合梁连接在一起的单梁谐振系统。本发明使用了单谐振梁的设计，大大减小了模态干扰；每一个谐振梁的内外两侧都设计有电容器极板，可实现对于单谐振梁的振幅实现差分检测，不仅可以增强信号的强度还消除由驱动电极与检测电极之间存在的电势差引起的馈通电容信号干扰，可以大幅提升测量信号的稳定性与准确度；增加了刚度调节电极，实现了对工作点的灵活选取和线性工作范围的调整；将交流驱动电极安置在两谐振梁的中间，使得输出信号的频率成分更加单一，使得输出信号的检测和闭环控制电路的设计更加容易。
技术研发人员：常洪龙;李博洋;张和民;钟纪明
受保护的技术使用者：西北工业大学
文档号码：201610834931
技术研发日：2016.09.20
技术公布日：2017.05.10