具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片的制作方法

技术特征：

1.具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片，由盖板、MEMS结构层和底板组成，盖板下表面至少有一个上凹腔，底板上表面至少有一个下凹腔，上凹腔和下凹腔共同形成密封腔；MEMS结构层由MEMS结构和MEMS密封区组成，MEMS结构位于密封腔中，并可在密封腔中自由活动；盖板和底板分别键合在MEMS结构层上下两侧，盖板表面还具有焊盘，其特征在于：底板侧面由垂直于底板下表面的垂直部分和圆弧形棱边组成，所述的圆弧形棱边由下圆角、侧壁、上圆角和顶部构成，所述的圆弧形棱边表面呈波浪形，且布满凹坑。

2.根据权利要求1所述的具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片，其特征在于：底板下表面还具有至少两个凹槽，凹槽将底板下表面分割成若干个装片柱，所述的装片柱由背面、装片柱下圆角、装片柱侧壁、装片柱上圆角和装片柱顶部构成，所述的装片柱下圆角、装片柱侧壁、装片柱上圆角和装片柱顶部的表面都呈波浪形，且布满凹坑。

3.根据权利要求1或2所述的具有背面圆弧形棱边的MEMS芯片，其特征在于：圆弧形棱边的深度为10～400μm。