件15的第一阳极分段2、第一阳极元件15的第二阳极分段3及第一阳极元件15的介于所述第一阳极分段2与所述第二阳极分段3之间的中间间隔4。
[0081]此外，图1在第一阳极分段2内侧展现第一阳极元件15的第一阳极分段2的四个不同紧固及电接触元件5，同时在第一阳极元件15的第二阳极分段3内侧展示四个不同紧固及电接触元件6。据此，这四个不同紧固及电接触元件6放置于第一阳极元件15的圆形第二阳极分段3的外侧，由于数个缺点(例如所施加电场的干扰)，此将并非是本发明的更优选实施例中的情况。然而，已成功地应用图1中所展示的第一阳极元件15来实现本发明的主要目的。
[0082]另外，图1展示第一阳极元件15的第一阳极分段2的多个贯通导管7，其围绕第一阳极元件15的中心以圆形方式布置。所述贯通导管包括长方形孔的横截面，其中长方形孔具有从第一阳极元件的中心到其外侧的定向。第一阳极元件15的第一阳极分段2的中心8以及第一阳极元件15的最外部阳极区域9 (在此情况中等于第二阳极分段3)不包括任何贯通导管。
[0083]图2展示优选实施例的第一装置元件的第一载体元件10的示意性后视图，其包括围绕第一载体元件10的中心以圆形方式点对称布置的贯通导管11，及紧固元件12。所述贯通导管包括圆形横截面。此外，可辨识出将在另一侧(载体元件10的前侧)上的第一阳极元件的第一阳极分段的紧固及电接触元件5'以及第一阳极元件的第二阳极分段的紧固及电接触元件6'。进一步值得注意的是，所述第一载体元件10的中心不具有贯通导管，从而自然地导致在前侧(此图中未展示)上放置于第一载体元件10的腔中的相邻第一阳极元件的中心不存在贯通导管。
[0084]图3展示优选实施例的第一装置元件的第一载体元件10'的贯通导管11'的一个可能分布的示意图，所述第一载体元件包括第一载体元件10'的紧固元件12'及在第一或第三装置元件的第一载体元件1(V内侧的腔13，所述腔适合于以使得第一载体元件10'及第一阳极元件的上部边缘对准的方式容纳第一阳极元件。此外，图3展现第一载体元件表面上的垂线14，其已用以测量第一载体元件10'的贯通导管11'相对于所述垂线14的角度。清楚地演示，这些贯通导管11'在最靠近载体元件10'的中心的位置中具有30°的角度且对于其它(较靠外)贯通导管11'具有40°的角度。但是，必须注意，图3图解说明穿过载体元件10'的剖面，此意指(特定来说)在围绕载体元件10'的中心的圆形布置中每一接下来的贯通导管I。(图3中未展示)可相对于图3中所展示的贯通导管Ilr具有相同或不同角度。
[0085]图4及5展示优选实施例的第一或第三装置元件1、广两者的第一阳极元件与第一载体元件10"、10"'结合的前视图及透视图，所述第一阳极元件包括第一阳极元件的第一阳极分段2'、2"及第二阳极分段3'、3"，第一阳极元件的所述第一阳极分段2'、2"与第二阳极分段3'、3"之间具有中间间隔4'、4"。此外，图4及5展示第一阳极元件的第一阳极分段2'、2"的紧固及电接触元件5"、5"'及第二阳极分段3'、3"的紧固及电接触元件6"、6"'。
[0086]图4还展示第一载体元件10"的贯通导管11"，其放置于第一阳极分段2'后面且其可在第一阳极元件的第一阳极分段2'的贯通导管7'的内侧以交替次序可见。表达“交替次序”意指在围绕第一载体元件10"的中心的同心圆内侧的每一第二贯通导管11"包括相对于载体元件表面上的垂线相应在前贯通导管11"的对角。与其相反，图5仅展示第一阳极元件的第一阳极分段2"的贯通导管7"。
[0087]图4及5进一步展示第一阳极元件的第一阳极分段2'、2"中无贯通导管7'、7"的中心8'、8"及最外部阳极区域9'、9"(在此情况中其等于第一阳极元件的无贯通导管的第二阳极分段3'、3")。最后，存在第一载体元件10"、10"'的紧固元件12"、12"'。在本发明的此实施例中，第一阳极分段的贯通导管7'、7"的最外部圆圈用于产生及/或正面地影响处理溶液的入射体积流的目的以便确保甚至是第一阳极元件的最外部区域(在此情况中是第二阳极分段3'、3")将恰当且成功地进行金属(特定来说，铜)电流沉积，特定来说，将处理溶液的入射体积流一直引导到第一阳极元件的由第一载体元件10"、10"'至少部分地或如在本发明的此优选实施例中完全地包围的边缘。
[0088]图6a及6b展示本发明的优选实施例的具有其贯通导管17、17 ^的均匀(图6a)或非均匀(图6b)分布的掩蔽元件16、W的前视图。此外，图6a及6b揭示掩蔽元件的紧固元件18、18' ο
[0089]图7a及7b展示本发明的优选实施例的第一或第三装置元件的包括多个突出部19的第一载体元件10""的前视图及透视图。图7a及7b进一步展示第一阳极元件的第一阳极分段与第二阳极分段之间的中间间隔4"'(为更好地图解说明所述优选第一载体元件的前表面未将阳极分段置于这些图中)。此外，存在第一阳极元件的第一阳极分段的紧固元件及电接触元件5""以及第一阳极元件的第二阳极分段的紧固及电接触元件6""。因此，第一载体元件10""包括多个贯通导管11"'、数个紧固元件12""及腔13'。图7c展现本发明的优选实施例的包括多个突出部19的第一载体元件10""的图7b的透视图的一部分的分解视图。
[0090]将理解，本文中所描述的实施例仅为示范性的且所属领域的技术人员可在不背离本发明的精神及范围的情况下做出许多变化及修改。包含上文所论述的那些变化及修改的所有此类变化及修改打算包含于如所附权利要求书所界定的本发明的范围内。
[0091]参考符号
[0092]1、I'第一或第三装置元件
[0093]2、2'、2"第一阳极元件的第一阳极分段
[0094]3、3'、3"第一阳极元件的第二阳极分段
[0095]4、4'、4"、4"'第一阳极元件的第一阳极分段与第二阳极分段之间的中间间隔
[0096]5、5'、5"、5" '、5""第一阳极元件的第一阳极分段的紧固元件及电接触元件
[0097]6，6'，6"，6" '，6""第二阳极元件的第二阳极分段的紧固元件及电接触元件
[0098]7、7'、7"第一阳极元件的第一阳极分段的贯通导管
[0099]8、8'、8"第一阳极元件的第一阳极分段中无贯通导管的中心
[0100]9、9'、9"第一或第三装置元件的第一阳极元件的无贯通导管的最外部阳极区域
[0101]1UOr、10"、10"丨、10""第一 /第三装置元件的第一载体元件
[0102]IlUlr、11"、11"'第一载体元件的贯通导管
[0103]12、12'、12"、12" '、12""第一载体元件的紧固元件
[0104]13、13 ^第一载体元件内侧的腔
[0105]14第一载体元件表面上的垂线
[0106]15阳极元件
[0107]16、16'掩蔽元件
[0108]17、17^掩蔽元件的贯通导管
[0109]18、18'掩蔽元件的紧固元件
[0110]19第一载体元件的突出部
【主权项】
1.一种用于在衬底上进行垂直金属、优选地为铜电流沉积的装置，其特征在于 所述装置包括彼此平行地以垂直方式布置的至少第一装置元件及第二装置元件，其中所述第一装置元件包括具有多个贯通导管的至少第一阳极元件及具有多个贯通导管的至少第一载体元件，其中所述至少第一阳极元件与所述至少第一载体元件彼此牢固地连接；且其中所述第二装置元件包括适于接纳至少第一待处理衬底的至少第一衬底固持器，其中所述至少第一衬底固持器在接纳所述至少第一待处理衬底之后沿着其外框架至少部分地包围所述至少第一待处理衬底；且其中所述至少第一装置元件的所述第一阳极元件与所述第二装置元件的所述至少第一衬底固持器之间的距离介于从2mm到15mm的范围内。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述至少第一待处理衬底为:圆的、优选地圆形；或有角的、优选地多角，例如矩形、方形或三角形；或圆与有角结构元件的混合，例如半圆形；及/或其中在圆结构的情况中，所述至少第一待处理衬底具有介于从50mm到1000mm、优选地从10mm到700mm且更优选地从120mm到500mm的范围内的直径；或在有角、优选地多角结构的情况中，所述至少第一待处理衬底具有介于从1mm到1000mm、优选地从25mm到700mm且更优选地从50mm到500mm的范围内的边长，及/或其中所述至少第一待处理衬底为印刷电路板、印刷电路箔片、半导体晶片、太阳能电池、光电电池或监视器单元。3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于所述装置进一步包括第三装置元件，所述第三装置元件以使得所述第二装置元件布置于所述第一装置元件与所述第三装置元件之间的方式平行于所述第一装置元件及所述第二装置元件以垂直方式布置，其中所述第三装置元件包括具有多个贯通导管的至少第一阳极元件及具有多个贯通导