微型泵的制作方法

专利名称：微型泵的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种微型泵，尤其涉及使用弯曲变形的压电致动器的微型泵。
背景技术：
在笔记本电脑等小型电子设备的冷却用泵和燃料电池的燃料输送用泵等 中使用微型泵。微型泵是使用通过施加电压而以弯曲模式弯曲变形的压电致动 器的泵，构造比较简单，与将电动机作为驱动源使用的泵相比，可构成为薄型， 并具有消耗功率小的优点。
在专利文献l中披露了一种微型泵，在该微型泵中，在泵本体内形成有泵 室，在构成该泵室的顶壁的膜片的背面(上表面)上粘贴着压电致动器，并在 泵室的正下方配置有流入侧止回阀和流出侧止回阀。在上述微型泵中，由于在 止回阀的正上方具有泵室，在其上方配置有膜片和压电致动器，因此厚度尺寸 大，存在不利于薄型化的问题。
在专利文献2中披露了一种将形成泵室的膜片以及流入侧止回阀和流出 侧止回阀以平面形态配置的微型泵。与专利文献l所披露的微型泵相比，该微 型泵具有可实现薄型化的优点。然而，由于膜片与流入侧止回阀及流出侧止回
阀的阀部由不同部件构成，因此零件数增多，存在会导致制造成本上升的问题。 尤其是在将止回阀做成具有轴部和伞部的伞状构造时，构造复杂，会导致制造
成本进一步上升。
在专利文献3中披露了一种将止回阀的阀部和膜片部形成一体的膜片泵。 在该膜片泵中，通过偏心轴安装在电动机上的连结杆与突设于膜片部背面的轮 毂部连结。在阀部与膜片部之间以及周缘部设置有防止空气泄漏用的肋条。阀 部和膜片部由一个弹性体形成，但为了形成肋条和轮毂部，需要进行立体成形， 从而存在成本上升且厚度增大的问题。另外，由于膜片部的驱动源是电动机，因此泵的厚度大，消耗功率也大，无法应用于小型电子设备。
专利文献l:日本专利特开2003 — 214349号公报 专利文献2:日本专利特开2005 — 337068号公报 专利文献3:日本专利实公昭61 — 36787号公报
发明的公开
发明所要解决的技术问题
本发明的最佳实施形态的目的在于提供一种薄型、零件数少且构造简 单的微型泵。
本发明的另一目的在于提供一种可廉价制造的微型泵。 解决技术问题所采用的技术方案
为了实现上述目的，本发明提供一种微型泵，在通过膜片部将压电致动器 的弯曲变位传递给泵室、使泵室的容积变化的同时交替地开闭流入侧止回阀和 流出侧止回阀，对流体进行输送，其特征在于，包括 一定厚度的弹性体片、 第一外壳部件和第二外壳部件，在所述弹性体片上，所述膜片部、所述流入侧 止回阀的阀部和所述流出侧止回阀的阀部形成为一体，在所述膜片部的背面粘 贴有所述压电致动器，所述弹性体片被夹在所述第一外壳部件和所述第二外壳 部件之间而使两个外壳部件之间密封，在所述弹性体片与所述第一外壳部件之 间形成有收容所述压电致动器的振动室，在所述弹性体片与所述第二外壳部件 之间形成有泵室。
在本发明的微型泵中，膜片部、流入侧止回阀的阔部和流出侧止回阀的阀 部一体形成在一定厚度的弹性体片上，该弹性体片被夹在第一外壳部件和第二 外壳部件之间。因此，可将膜片部、流入侧止回阀和流出侧止回阀以平面形态 配置，可构成为薄型，且零件数减少，构造变得简单。在膜片部的背面粘贴有 压电致动器，膜片部随着致动器的弯曲变形而变形。通过膜片变形，产生泵室 体积增大时经过流入侧止回阀而流入泵室的流体流以及泵室体积减小时经过 流出侧截止阀而从泵室流出的流体流，可高效地输送流体。如上所述， 一个弹 性体片具有作为膜片的功能以及作为流入侧止回阀和流出侧止回阀的阀芯的功能，可实现零件数的减少和阀安装的简化，有助于泵小型化、降低高度、变 得廉价。另外，弹性体片同时起到使泵室的内外和阀室的内外密封的防止液体 泄漏的密封件的作用，因此不需要O形环等特别的密封件，也不需要像肋条那 样进行立体加工。因此，能以不增加零件数的简单结构来实现高的可靠性。
根据最佳实施形态，最好是流入侧止回阀和流出侧止回阀设置在隔着泵室 相对的位置上，从流入侧止回阀流入的流体经过泵室向流出侧止回阀正向输 送。由于在膜片的驱动下经过流入侧止回阀而流入泵室的流体流以及经过流出 侧止回阀而从泵室流出的流体流正向流动、即不会逆转，因此可减少阻碍流体 流的损失。流入侧止回阀和流出侧止回阀不一定要配置成直线状，只要流动方 向变化角度在90。以内即可。这样配置，即使是使用小功率压电致动器的小型 泵也容易增大泵输送量。另外，当在泵室空着的状态下将流体引入泵室时，泵 室内的空气被流入的流体挤压而容易从流出侧止回阀排出，在泵室内不容易残 留气泡。由此，可防止因泵室内残留有作为压縮性流体的空气的气泡而导致泵 的效率下降。
根据最佳实施形态，最好将压电致动器形成为长方形，并将流入侧止回阀 和流出侧止回阔配置在压电致动器的短边侧。作为压电致动器的形状，例如有 圆板形和长方形等，但在使长方形的压电致动器以将其长度方向两端部(短边 侧的两边)作为支点的模式弯曲变位时，可获得比使圆板状的压电致动器以将 外周部作为支点的模式弯曲变位时大的变位体积。因此，若将长方形的压电致 动器作为膜片驱动用致动器使用，则可提高泵的效率。另外，在使用长方形的
压电致动器时，若将流入侧止回阀和流出侧止回阀配置在致动器的短边侧，则 止回阀不位于致动器的最大变位点附近，因此，可防止阀因流体的急流而不必 要地抖动。
根据最佳实施形态，最好将所述第一外壳部件做成具有振动室用凹部、与 振动室用凹部隔开的流入通路用凹部以及与振动室用凹部隔开的流出空间用 凹部的板状部件，将所述第二外壳部件做成具有泵室用凹部、与泵室用凹部连 通并与所述流入通路用凹部相对的流入空间用凹部以及与泵室用凹部连通并 与所述流出空间用凹部相对的流出通路用凹部的板状部件，在所述弹性体片上，将关闭所述流入通路用凹部的流入侧止回阀的阀部和关闭所述流出通路用 凹部的流出侧止回闽的阀部形成为舌片状。具有凹部的第一外壳部件和第二外 壳部件可通过注射模塑成形法那样的公知方法简单地制造。微型泵由第一外壳 部件、第二外壳部件和弹性体片三个零件构成，通过将第一外壳部件和第二外 壳部件夹着弹性体片进行层叠，可构成微型泵，因此，可实现零件数少、制造 容易且薄型的微型泵。
根据最佳实施形态，最好所述第一外壳部件通过将平板构成的底板以及在 平板上形成有振动室用孔部、与该振动室用孔部隔开的流入通路用孔部和与所 述振动室用孔部隔开的流出空间用孔部的第一中间层层叠而形成，所述第二外 壳部件通过将平板构成的顶板以及在平板上连续形成有泵室用孔部、与所述流 入通路用孔部相对的流入空间用孔部和与所述流出空间用孔部相对的流出通 路用孔部的第二中间层层叠而形成，在所述弹性体片上，将关闭所述流入通路 用孔部的流入侧止回阀的阀部和关闭所述流出通路用孔部的流出侧止回阀的 阀部形成为舌片状。在该实施形态中，构成第一外壳部件的底板和第一中间层、 弹性体片以及构成第二外壳的顶板和第二中间层均是二维加工形成的板材，只 要将它们层叠就可构成微型泵，因此，可实现制造简单、薄型且可靠性高的微 型泵。由于弹性体片的舌片状的阀部、第一中间层的孔部、第二中间层的孔部 可通过对平板进行冲裁加工或激光加工等简单地形成，因此不需要金属模具， 不仅能以低成本进行加工，而且不会出现翘曲和应变。构成第一外壳部件的底 板和第一中间层、构成第二外壳部件的顶板和第二中间层除了可使用树脂板之 外，还可使用金属板、玻璃环氧树脂基板那样的复合材料来构成。
根据最佳实施形态，最好连接所述泵室与流入空间之间的连通路的长度以 及连接所述泵室与流出通路之间的连通路的长度分别做成比流路宽度大。弹性 体片被第一外壳部件和第二外壳部件夹持而起到密封作用，但连接泵室与流入 侧止回阀及流出侧止回阀的连通路无法用第一外壳部件和第二外壳部件从上 下夹持。即，仅在弹性体片的一侧存在壁面。因此，不得不利用弹性体片与一 侧的外壳部件之间的粘结力来防止液体泄漏。但是，可能会有液体从弹性体片 上的为形成阀部而实施了切下加工或剪下加工的部分泄漏到收容有压电致动器的振动室内而造成故障。因此，通过将无法通过上下夹持弹性体片来实现密 封作用的连接泵室与流入侧止回阀及流出侧止回阀的连通路的长度做成比流 路宽度大，可在连通路的途中部分用第一外壳部件和第二外壳部件来夹持弹性 体片，即使是较弱的粘结，也可起到足够的密封作用。
作为将连通路的长度做成比流路宽度大的具体方法，将连接泵室与流入空 间之间的连通路以及连接泵室与流出通路的连通路分别形成为曲轴形状，从而 可防止弹性体片与一侧的外壳部件剥离。
压电致动器可以是在金属板上粘贴有压电体的单压电晶片构造，但若使用 将多个压电体层叠的双压电晶片构造的压电致动器，则可获得比单压电晶片构 造大的变位体积，较为理想。作为弹性体片，可使用丁基橡胶等任意的柔性弹 性片。
发明效果
如上所述，根据本发明，由于将膜片部以及流入侧止回阀和流出侧止回阀 的阀部形成在一个弹性体片上，因此可将膜片部、流入侧止回阔和流出侧止回 阀以平面形态配置，可构成为薄型。另外，可实现构成微型泵的零件数少、构 造简单且廉价的微型泵。


图1是本发明的微型泵的第1实施例的立体图。 图2是图1所示的微型泵的分解立体图。 图3是图1所示的微型泵的俯视图。
图4是沿图3的IV-IV线的剖视图。 图5是沿图3的V-V线的剖视图。
图6是表示图1所示的微型泵的动作的概略剖视图，图6 (a)表示的是 压电致动器上凸的状态，图6(b)表示的是压电致动器下凸的状态。 图7是本发明的微型泵的第2实施例的俯视图。 图8是沿图7的VIII-VIII线的剖视图。 图9是沿图7的IX-IX线的剖视图。图10是将图7所示的微型泵的各部分分解后的俯视图。
图11表示的是本发明的微型泵的第3实施例，图11 (a)是将上壳部分 剖切后的横向剖视图，图ll (b)是沿A-A线的剖视图。
图12表示的是图11所示的第3实施例的比较例，图12 (a)是将上壳部 分剖切后的横向剖视图，图12 (b)是沿B-B线的剖视图。
图13是本发明的微型泵的第4实施例的剖视图。
图14是本发明的微型泵的第5实施例的剖视图。 (符号说明)
Pl、 P2微型泵
1下壳(第一外壳部件)
la振动室(凹部)
2弹性体片
2a膜片部
2b、 2c阀部
3压电致动器
4上壳(第二外壳部件)
5泵室
6流入侧止回阀 7流出侧止回阀 10底板 11第一中间层 12弹性体片 13第二中间层 14顶板
具体实施例方式
下面基于实施例来说明本发明的最佳实施形态。 实施例1图1 图6表示的是本发明的微型泵的第1实施例。本实施例的微型泵P1
具有下壳l、弹性体片2和上壳4的三层构造，这些部件层叠粘结。
下壳1例如由玻璃环氧树脂基板或树脂基板形成为长方形的平板状，在中
央部形成有构成振动室的长方形的凹部la。在凹部la的底面上形成有用于引 出后述的压电致动器3的引线3a的两个引出孔lb和用于使振动室向大气开放 的多个透气孔lc。在引出孔lb可兼用作透气孔时，可省去透气孔lc。凹部la 的深度被设定成比压电致动器3的厚度与最大变位量之和大。与振动室用凹部 la的短边侧的两条边相邻的地形成有流入通路用凹部ld和流出空间用凹部 le。流入通路用凹部ld和流出空间用凹部le与振动室用凹部la独立，它们 分别通过流入口 lf和流出口 lg与外部连通。
弹性体片2是由橡胶、弹性体、软质树脂那样的柔性弹性材料构成的一定 厚度的片材，形成为与下壳l相同的形状。在弹性体片2的中央部设置有膜片 部2a，在膜片部2a的两侧一体地形成有流入侧止回阀的阀部2b和流出侧止回 阀的阀部2c。阀部2b、 2c通过切下加工或剪下加工而形成为舌片状。在膜片 部2a的背面(下表面)上以面接触方式粘贴有压电致动器3，弹性体片2的除 去膜片部2a和阀部2b、 2c以外的区域的背面与下壳l的上表面粘结。若将弹 性体片2粘结在下壳1上，则阀部2b、 2c分别与流入通路用凹部ld和流出空 间用凹部le对应。另外，在弹性体片2的与下壳1的流入口 lf和流出口 lg 对应的部位上形成有缺口部2d、 2e。
压电致动器3形成为长方形，并收纳在凹部la内。压电致动器3的外形 尺寸比凹部la的内尺寸小，在压电致动器3被收容于凹部la的状态下，可在 压电致动器3的四边与凹部la的内侧缘之间形成规定间隙5 (参照图5)。该 间隙S与压电致动器3弯曲变位了时可供膜片部2a充分伸展的空余部分对应。 本实施例的压电致动器3是公知的双压电晶片式压电陶瓷元件。在压电致动器 3下表面的电极上连接两根引线3a，通过对这些引线3a施加交变信号(矩形 波信号或交流信号)，可使压电致动器3在将长度方向两端部(短边侧的两边) 作为支点并将长度方向中央部作为最大变位点的弯曲模式下弯曲振动。另外， 作为压电致动器3，也可使用单压电晶片式压电致动器。上壳4利用与下壳1相同的材料形成为长方形的平板状。在上壳4的下表
面上连续形成有长方形的泵室用凹部4a、流入空间用凹部4b和流出通路用凹 部4c。泵室用凹部4a和流入空间用凹部4b通过连通路4d彼此连通，泵室用 凹部4a和流出通路用凹部4c通过连通路4e彼此连通。在将上壳4的下表面 粘结到弹性体片2的上表面上时，泵室用凹部4a与膜片部2a对应，流入空间 用凹部4b与阀部2b及流入通路用凹部ld对应，流出通路用凹部4c与阀部2c 及流出空间用凹部le对应。另外，在上壳4的与下壳1的流入口 lf和流出口 lg对应的部位上形成有独立的槽部4f、 4g。
如上所述，通过层叠粘结下壳l、弹性体片2和上壳4，完成本微型泵。 在凹部4a与膜片部2a之间形成泵室5，由阀部2b、流入通路用凹部ld和流 入空间用凹部4b形成流入侧止回阀6，由阀部2c、流出空间用凹部le和流出 通路用凹部4c形成流出侧止回阀7 (参照图4)。在流入口 lf和流出口 lg上 分别连接液体供给用管8和液体排出用管9 (参照图l)。
在对压电致动器3施加交变电压(矩形波电压或交流电压)时，压电致动 器3将长度方向两端部作为支点并将长度方向中央部作为最大变位点而弯曲振 动，通过膜片部2a连动变形，可使泵室5的容积变化。图6 (a)表示的是压 电致动器3上凸变形时的状态，图6 (b)表示的是压电致动器3下凸变形时的 状态。流入侧阀部2b在泵室5的容积减小时关闭流入通路用凹部ld，在泵室 5的容积增大时，打开流入通路用凹部ld，将流体引向泵室5。流出侧阀部2c 在泵室5的容积增大时关闭流出通路用凹部4c，在泵室5的容积减小时，可将 流体从泵室5排出。通过这样驱动压电致动器3，可使流体经由流入侧止回阔 6、泵室5、流出侧止回阀7高效地输送。
流入侧止回阀6和流出侧止回阀7隔着泵室5设置在相对的位置上。因此， 从流入侧止回阀6流入的液体可经由泵室5向流出侧止回阀7正向输送，流动 在泵室5内不会逆转，因此流体损失少。另外，即使有气体进入泵室5，也可 通过从流入侧止回阀6到泵室5、再到流出侧止回阀7的液体的正向流动将气 体压出，气体不会残留在泵室5内。在此例中，由于流入侧止回阀6和流出侧 止回阀7配置在压电致动器3的相对的短边侧，因此止回阀位于离开致动器3的最大变位点的位置上，可防止阀因流体的急流而抖动。 实施例2
图7 图10表示的是本发明的微型泵的第2实施例。本实施例的微型泵 P2具有底板10、第一中间层ll、弹性体片12、第二中间层13和顶板14的五 层构造，这些部件层叠粘结。
底板IO例如是由玻璃环氧树脂基板、树脂板、金属板等构成的平板，形 成有用于引出压电致动器15的引线15a的两个引出孔10a以及用于使振动室 向大气开放的多个透气孔10b。透气孔10b根据情况进行设置。在底板10的两 侧部一体地形成了具有螺钉插通孔10d的两对安装片10c。
第一中间层11是由与底板10相同种类的材料形成为与底板10相同的外 形形状的平板。在第一中间层11的中央部形成有构成振动室的长方形的振动 室用孔lla，在长度方向两端部以与振动室用孔lla隔开的状态形成有流入通 路用孔部lib和流出空间用孔部llc。在第一中间层11两侧部的与底板10的 安装片10c对应的位置上一体地形成有具有螺钉插通孔lie的两对安装片lld。
弹性体片12除了在两侧部的四个部位上具有安装片12f之外与第1实施 例的弹性体片2相同，设置有膜片部12a、流入侧阀部12b、流出侧阀部12c、 缺口部12d、 12e。在安装片12f上形成有螺钉插通孔12g。在膜片部12a的背 面(下表面)上粘贴有与第1实施例相同的压电致动器15。
第二中间层13是由与底板IO相同种类的材料形成为与底板IO相同的外 形形状的平板。在第二中间层13的中央部形成有长方形的泵室用孔13a，在长 度方向两端部以与泵室用孔13a连通的状态形成有流入空间用孔部13b和流出 通路用孔部13c。在第二中间层13的两侧部一体地形成有具有螺钉插通孔13e 的两对安装片13d。
顶板14是具有与底板10相同的外形形状的平板。在顶板14的两侧部一 体地形成有具有螺钉插通孔14b的两对安装片14a。通过在第二中间层13的上 表面上粘贴顶板14,可在顶板14与弹性体片12之间形成泵室以及流入通路和 排出通路。
上述底板IO、第一中间层ll、弹性体片12、第二中间层13和顶板14层叠粘结，从而构成微型泵P2。在流入通路和排出通路上分别连接管子16、 17。
之后，通过在层叠后的安装片的螺钉插通孔内插通螺钉，可将微型泵P2安装
到未图示的设备本体上。也可在设于安装片的螺钉插通孔内插通铆钉等来代替 在该孔内插通螺钉。另外，也可省去安装片。
如上所述，构成微型泵P2的零件均是二维加工形成的一定厚度的平板，
通过层叠并粘结这些零件，可构成微型泵，因此，不需要成形金属模具，制造
极其简单，能以低成本和薄型形状来构成微型泵。由于上述微型泵P2的动作 与第1实施例的微型泵P1的动作相同，因此在此省去赘述。 实施例3
图11表示的是本发明的微型泵的第3实施例。在本实施例中，连结泵室 20与止回阀21的连通路22的长度做成比宽度长。在此，连通路22做成曲轴 形状。泵室20形成在弹性体片23与上壳24之间，在弹性体片23与下壳25 之间形成了振动室26。在振动室26内收容有与弹性体片23的背面粘结的压电 致动器27。在弹性体片23的与泵室20对应的部位上设置有膜片部23a，在弹 性体片23的与止回阀21对应的部位上通过切下加工或剪下加工等形成有阀部 23b。符号23c是切除部分。阀部23b预先将流入或流出用的流通路28关闭， 在泵室20增大容积或减小容积时将流通路28打开。图12中表示的是连通路 22做成笔直形状、即连通路22的长度等于或小于宽度的情况。
在泵室20的周围，弹性体片23被上壳24、下壳25夹持而起到密封作用， 但弹性体片23的连接泵室20与止回阔21的连通路22的部分不能由壳24、25 从上下夹持。即，仅在弹性体片23的一侧具有壁面，因此，不得不利用弹性 体片23与下壳25之间的粘结力来防止液体泄漏。在像图12那样、连通路22 大致笔直且长度与宽度大致相等时，若长期使用，则弹性体片23的连通路部 分会因泵室20的压力变化而像图12(b)中的虚线所示的那样从下壳25剥离， 可能会有液体从弹性体片23的实施了切下加工或剪下加工的部分23c向振动 室26泄漏。对此，若像图11那样将连通路22做成曲轴形状，从上壳24突出 设置凸部24a，则可将弹性体片23夹在上壳24与下壳25之间，能可靠地防止 液体泄漏。另外，作为连通路22的长度做成比宽度大的构造，并不局限于曲轴形状，也可做成呈s字状或u字状弯曲的通路。
实施例4
在上述实施例中表示的是振动室的高度比压电致动器的厚度大很多、即使 致动器在振动室发方向上最大程度地变位了时致动器也不会与振动室的底面 接触的例子，但也可像图13那样，使致动器3的背面与振动室la的底面la, 接触。这种情况下，由于致动器3的背面被振动室la的底面la,支撑，因此无 论致动器3朝任一方向变位，均可使泵室5的容积减小，并可实现微型泵的薄 型化。另外，在此例中对各部件标记了与第l实施例相同的符号。
实施例5
也可像图14那样，在振动室la的底面la,上设置支撑致动器3两端部的 背面的支撑部la2，并在致动器3的中央部背面侧设置可供致动器3弯曲变形 的空间1&。这种情况下，与图13—样，也可将致动器3的变位有效地传递给 膜片2，并可实现微型泵的薄型化。在致动器3呈长方形时，若使致动器3在 将其长度方向两端部(短边侧的两边)作为支点的模式下弯曲变位，则可获得 较大的变位体积。因此，若用支撑部la2来支撑长方形致动器3的长度方向两 端部，则与图13相比，可进一步增大泵室5的变位体积。另外，对各部件标 记了与第1实施例相同的符号。
在上述实施例中使用了长方形的压电致动器，但也可使用正方形或圆形的 压电致动器。但是，在采用长方形的压电致动器时，可获得比正方形和圆形的 压电致动器大的变位体积，因此具有可实现小型且效率高的微型泵的优点。
在上述实施例中表示的是将流入侧止回阀和流出侧止回阀夹着泵室相对 设置的例子，但也可将流入侧止回阀和流出侧止回阀与泵室的一侧相邻设置。 另外，上述实施例中将流入侧止回阀和流出侧止回阀配置在长方形泵室的长度 方向两侧，但也可将它们配置在宽度方向两侧。
权利要求
1. 一种微型泵，在通过膜片部将压电致动器的弯曲变位传递给泵室、使泵室的容积变化的同时交替地开闭流入侧止回阀和流出侧止回阀，对流体进行输送，其特征在于，包括一定厚度的弹性体片、第一外壳部件和第二外壳部件，在所述弹性体片上，所述膜片部、所述流入侧止回阀的阀部和所述流出侧止回阀的阀部形成为一体，在所述膜片部的背面粘贴有所述压电致动器，所述弹性体片被夹在所述第一外壳部件和所述第二外壳部件之间而使两个外壳部件之间密封，在所述弹性体片与所述第一外壳部件之间形成有收容所述压电致动器的振动室，在所述弹性体片与所述第二外壳部件之间形成有泵室。
2. 如权利要求1所述的微型泵，其特征在于，所述流入侧止回阀和流出 侧止回阀设置在隔着所述泵室相对的位置上，从所述流入侧止回阀流入的流体 经过所述泵室向所述流出侧止回阀正向输送。
3. 如权利要求1或2所述的微型泵，其特征在于，所述压电致动器形成 为长方形，所述流入侧止回阀和流出侧止回阀配置在所述压电致动器的短边
4. 如权利要求1至3中任一项所述的微型泵，其特征在于， 所述第一外壳部件是具有振动室用凹部、与振动室用凹部隔开的流入通路用凹部以及与振动室用凹部隔开的流出空间用凹部的板状部件，所述第二外壳部件是具有泵室用凹部、与泵室用凹部连通并与所述流入通路用凹部相对的流入空间用凹部以及与泵室用凹部连通并与所述流出空间用凹部相对的流出通路用凹部的板状部件，在所述弹性体片上，关闭所述流入通路用凹部的流入侧止回阀的阀部和关闭所述流出通路用凹部的流出侧止回阀的阀部形成为舌片状。
5. 如权利要求1至3中任一项所述的微型泵，其特征在于，所述第一外壳部件是通过将平板构成的底板和第一中间层层叠而形成的， 该第一中间层在平板上形成有振动室用孔部、与该振动室用孔部隔开的流入通 路用孔部以及与所述振动室用孔部隔开的流出空间用孔部，所述第二外壳部件是通过将平板构成的顶板和第二中间层层叠而形成的， 该第二中间层在平板上连续形成有泵室用孔部、与所述流入通路用孔部相对的 流入空间用孔部以及与所述流出空间用孔部相对的流出通路用孔部，在所述弹性体片上，关闭所述流入通路用孔部的流入侧止回阀的阀部和关 闭所述流出通路用孔部的流出侧止回阀的阀部形成为舌片状。
6. 如权利要求1至5中任一项所述的微型泵，其特征在于，连接所述泵 室与流入空间之间的连通路的长度以及连接所述泵室与流出通路之间的连通 路的长度分别比流路宽度大。
7. 如权利要求6所述的微型泵，其特征在于，连接所述泵室与流入空间 之间的连通路以及连接所述泵室与流出通路之间的连通路分别形成为曲轴形 状。
全文摘要
本发明提供一种薄型、零件数少且构造简单的微型泵。膜片部(2a)、流入侧止回阀的阀部(2b)和流出侧止回阀的阀部(2c)形成在一个弹性体片(2)上，在膜片部(2a)的背面粘贴有压电致动器(3)。弹性体片(2)被夹在第一外壳部件(1)和第二外壳部件(4)之间而使两个外壳部件之间密封，在弹性体片(2)与第一外壳部件(1)之间形成收容压电致动器(3)的振动室(1a)，在弹性体片(2)与第二外壳部件(4)之间形成泵室(5)。
文档编号F04B43/02GK101415945SQ20078001214
公开日2009年4月22日 申请日期2007年2月9日 优先权日2006年3月29日
发明者平田笃彦, 神谷岳 申请人:株式会社村田制作所