技术特征：
技术总结
本发明提供了一种真空装置及其排气方法，包括工作腔室，用于加工零件，工作腔室连通排气阀；初抽泵，其吸气口与工作腔室连通；辅助腔室，其与工作腔室连通，辅助腔室和工作腔室之间通过第一通道和第二通道连通，且初抽泵设于第二通道上；分子泵，其吸气口与辅助腔室连通；第一气阀，设于第一通道上；第二气阀，设于初抽泵和工作腔室之间的第二通道上；第三气阀，设于初抽泵和辅助腔室之间的第二通道上。本发明提供的真空装置，在更换零件时，工作腔室和辅助腔室互不连通，辅助腔室的真空度保持不变，使得分子泵可以在此真空度下继续工作，避免分子泵停机造成的时间浪费，缩短下一次抽真空所需的时间。
技术研发人员：易钢杨;黄国君;叶民崇;相飞
受保护的技术使用者：深圳市圆梦精密技术研究院
技术研发日：2019.02.22
技术公布日：2019.06.07