专利名称：流量控制阀的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种由压缩空气的压力对抗弹簧弹力而向开启状态过渡或者维持关闭状态的流量控制阀，特别涉及一种在半导体制造装置中使用的流量控制阀。
背景技术：
作为一种现有的流量控制阀，例如有特开平7-253170号公报所记载的流量控制阀。图4显示了这种流量控制阀100的剖视图。流量控制阀100具有下述整体外形，即具有左右形成有输入口121和输出口122的下体120，将形成有第1操作口131的中间体130固设在下体122的上方，将形成有第2操作口141且安装有调整螺栓142的上体140固设在中间体130的上方。
在下体120上除了图中右方的输入口121和图中左方的输出口122之外，在中央还形成有圆环形的阀座101。阀座101的内部A与输入口121连通，阀座101的外部B与输出口122连通，通过使阀体102和阀座101接触，输入121和输出口122被遮断，通过使阀体102从阀座101离开，两个口121、122连通。
中间体130是固设在下体120中央部上方的大致圆筒形状的部件。在中间体130上除了形成第1操作口131之外，在内部还形成有小径缸体132和大径缸体133。大致圆柱形状的活塞150沿上下方向可滑动地嵌合保持在中间体130的内部。活塞150具有中央大径部分151、其下方的下小径部分152和大径部分151上方的上小径部分153。大径部分151气密地嵌合在中间体130的大径缸体133内，下小径部分152气密地嵌合在小径缸体132内。从而，由大径部分151的下面154和中间体130划分出第1操作室134。在第1操作室134内，开设有中间体130的第1操作口131，通过第1操作口131，能够向第1操作室134施加空气压力或使第1操作室134开放。如果向第1操作室134施加空气压力，则向上方推压活塞150。
将阀体102安装在活塞150的下小径部分152的下端上。阀体102的周围变成隔膜156，其周缘由下体120和中间体130夹持。阀体102伴随着活塞150的上下运动而移动，与下体120的阀座101离开或接触。如果阀体102与阀座101接触，则将输入口121和输出口122遮断，如果阀体102和阀座101离开，则两口121、122连通。
上体140是固设在中间体130上方的大致圆筒形状的部件。在上体140上除了形成有第2操作口141之外，在中央还贯通形成有孔143。活塞150的上小径部分153嵌合在上体140的孔143上。由大径部分151的上面155、中间体130和上体140划分出第2操作室144。在第2操作室144上开设有上体140的第2操作口141。通过第2操作口141，可以向第2操作室144施加空气压力或使其开放。如果向第2操作室144施加空气压力，则向下方推压活塞150。而且，在上体140上形成有弹簧槽145，在活塞150的上面155和弹簧槽145之间夹持着复位弹簧146。复位弹簧146向下方对活塞150施加弹力。
在上体140的孔143的上半部分上加工出螺纹槽。将调整螺栓142安装在该部分上。调整螺栓142是由其下端147控制活塞150向上方向的运动的部件。如果使调整螺栓142转动而使其下端147的高度变化，则活塞150的停止位置也改变，能够调整开阀时阀体102和阀座101的间隔。而且，为了不在无意中使调整螺栓142运动，由锁定螺母148进行固定。
下文对具有这种结构的流量控制阀100的作用进行介绍。流量控制阀100通过向第1操作口131或第2操作口141施加空气压力而进行操作。该空气压力供给装置可以是压缩空气罐或空气泵等。
首先对不向第1操作口131和第2操作口141施加空气压力的状态进行考察。在该状态下，活塞150仅承受复位弹簧146的施加力。因而活塞150处于向下方移动直至安装在其下端的阀体102与阀座101接触的状态。在此状态下，由于阀座101和阀体102接触，输入口121和输出口122的连通被遮断，流量控制阀100关闭。
如果向第1操作口131施压空气压力，流量控制阀100的第1操作室134处于高压。因此，活塞150被向上方推压，对抗复位弹簧146的施加力，进行移动直至上端与调整螺栓142的下端147接触而停止，因而，阀体102也和活塞150一起向上方移动，在阀体102和阀座101之间形成间隙，输入口121和输出口122连通，流量控制阀100开启。
在此状态下，如果对调整螺栓142进行操作，改变其下端的位置，则活塞150的停止位置改变，可以对流量控制阀100开启状态下的阀体102和阀座101之间的间隙进行调整，可以对流量进行调整。
如果停止向第1操作口131供给空气压力，放开第1操作室134的压力，则流量控制阀100由于复位弹簧146的施加力作用而再次变成关闭状态。此时，如果向第2操作口141施压空气压力，则第2操作室144变成高压。由于该压力帮助复位弹簧146的施加力，将活塞150推压到下方，而更可靠地进行闭阀操作。
但是，由于图4所示流量控制阀100的流量调整由手动对调整螺栓142进行转动操作，改变与活塞150的上端相接触的调整螺栓142的下端147的位置，改变开启状态下的活塞150的停止位置而进行，不能遥控且高精度地进行流量调整。
特别是在半导体制造装置中，由于需要进行遥控且高精度的流量调整，因而图4所示的流量控制阀100能应用在半导体制造装置中。
而且，图5显示如下的结构相对图4所示流量控制阀100的第1操作131，安装由控制基板163对常闭的吸气比例阀161和常闭的排气比例阀162进行控制的电动气动调节器部160的流量控制阀。因此，在图5所示的流量控制阀100中，通过电动气动调节器部160而向第1操作131施压或开放空气压力，从而向开启状态·关闭状态过渡。因而如果在开启常闭的吸气比例阀161的同时对常闭的排气比例阀162进行关闭，由于向第1操作134供给·施加空气压力，流量控制阀变成向开启状态过渡·维持。但是此时如果变成非通电状态，常闭的吸气比例阀161和常闭的排气比例阀162都关闭，保持第1操作室134的空气压力，由于状态不同或情况不同，由于维持开启状态而存在控制流体持续流出的问题。
特别是如果在非通电时控制流体持续流出，在半导体制造装置中，由于要求严格的流量控制，从而也存在图5所示的流量控制阀100不能应用在半导体制造装置中的问题。
发明内容
因而，为了解决上述问题提出本发明，本发明的第1目的是提供一种流量控制阀，其是一种通过接触而确定在开启状态下的活塞停止位置，从而进行流量调整的阀，能够遥控且高精度地进行流量控制。
本发明的第2目的是提供一种流量控制阀，其是一种由压缩空气压力对抗弹簧弹力而进行流量调整的阀，在非通电时能够防止控制流体的流出。
用于实现第1目的的本发明的流量控制阀，设置在活塞前端上的阀体由弹簧弹力而与阀座密接而变成关闭状态，另一方面，通过由供给到控制室内压缩空气的压力而使活塞移动，上述阀体从上述阀座离开，而且，通过使上述活塞与接触部件抵接，变成开启状态，并确定上述开启状态下的上述阀体的停止位置，其特征在于设置了使该接触部件以前进·后退的直进动作移动到任意位置的电动机驱动控制机构。
而且在本发明的流量控制阀中，优选具有电动气动调节器部，该电动气动调节器部设置有用于向上述控制室内供给压缩空气的供给回路和用于从上述控制室内将压缩空气排出的排出回路。
而且在本发明的流量控制阀中，优选上述电动气动调节器部的非通电状态是上述排出回路的连通状态。
而且在本发明的流量控制阀中，优选还具有使上述控制室内和外部稍微成连通状态的排泄机构，即使上述电动气动调节器部的非通电状态是上述供给回路和排出回路的遮断状态，也可以将上述控制室内的压缩空气由上述排泄机构缓慢地排出到外部。
而且本发明的流量控制阀，优选在半导体制造装置中使用。
在具有这种特征的本发明的流量控制阀中，在关闭状态下，通过使弹簧的施加力作用在活塞上，设置在活塞前端上的阀体与阀座密接，如果向控制室内供给压缩空气，由于压缩空气的压力作用在活塞上，活塞一边对抗着弹簧施加力一边移动，设置在活塞前端上的阀体从阀座上离开。然后由活塞与接触部件抵接，设置在活塞前端上的阀体停止，设置在活塞上的阀体与阀座的间隙固定，变成开启状态。
而且在本发明的流量控制阀中，可以利用电动机驱动控制机构，使该接触部件以前进·后退的直进动作移动到任意位置，因而可以使活塞与该接触部件的抵接位置变化，由此，能够对设置在活塞上的阀体与阀座的间隙正确地进行调整。
也就是在本发明的流量控制阀中，如果活塞与所述接触部件接触而停止，设则置在活塞前端上的阀体也停止而处于开启状态，虽然设置在活塞上的阀体与阀座的间隙固定，但是此时通过使所述接触部件以前进·后退的直进动作移动到任意位置的电动机驱动控制机构能够对设置在活塞上的阀体与阀座的间隙正确地进行调整，因而本发明的流量控制阀，通过接触而确定开启状态下的活塞的停止位置，从而调整流量，可以遥控且精度良好地进行流量调整。
而且在本发明的流量控制阀中，由供给到控制室内压缩空气的压力和弹簧弹力而向开启状态·关闭状态过渡，由于电动机驱动控制机构不干预向开启状态·关闭状态的过渡，因而向开启状态·关闭状态过渡的响应性优良。
而且在本发明的流量控制阀中，由于电动机驱动控制机构不干预向关闭状态的过渡，在设置在活塞前端上的阀体与阀座密接时，不会传递电动机驱动控制机构的直进动作的推进力，电动机驱动控制机构的直进动作的推进力不会对设置在活塞前端上的阀体与阀座造成损害。
而且在本发明的流量控制阀中，由于在包含电动气动调节器部时，由电控制可以自由改变压缩空气相对控制室内的供给·排出速度，能够遥控且精度良好地对向阀开启状态·关闭状态过渡的速度进行控制，以减轻阀开闭时所产生的过冲和水锤现象，而且，向阀开启状态·关闭状态过渡的响应性优良。
而且在本发明的流量控制阀中，即使包含电动气动调节器部，如果上述电动气动调节器部的非通电状态是上述排出回路的连通状态，由于在非通电时，维持控制室内的压缩空气被排出的状态，向关闭状态过渡或者维持关闭状态，因而能够防止非通电时控制流体的流出。
而且在本发明的流量控制阀中，即使包含非通电状态是供给回路和排出回路的遮断状态的电动气动调节器部，如果具有使控制室内和外部稍微成连通状态的排泄机构，由于在非通电时，维持控制室内的压缩空气由该排泄机构缓慢地排出到外部的状态，向关闭状态过渡或者维持关闭状态，因而能够防止非通电时控制流体的流出。
而且在本发明的流量控制阀应用在半导体制造装置时，由于遥控且精度良好地进行流量调整，要求严格的流量控制，因而能够极大地发挥上述效果。
而且在半导体制造装置中，虽然控制流体和周围温度等的温度管理非常重要，但是，由于在将本发明的流量控制阀使用在半导体制造装置中时，相比进行电动机驱动控制机构的流量调整，压缩空气和弹簧等引起的开·闭动作频繁进行，伴随着发热的电动机驱动控制机构等操作少，因而无需考虑电动机驱动控制机构的发热等所带来的影响。
而且，由于电动机驱动控制机构操作少，电动机寿命不因发热而缩短，因而电动机驱动控制机构不对本发明的流量控制阀本身的寿命造成恶劣影响用于实现第2目的的本发明其它方式的流量控制阀，阀体由弹簧施加力而与阀座密接而变成关闭状态，另一方面，通过供给到控制室内压缩空气的压力而使上述阀体移动，从而使上述阀体从上述阀座离开而变成开启状态，其特征在于具有电动气动调节器部，该电动气动调节器部设置有用于向上述控制室内供给压缩空气的供给回路和用于从上述控制室内将压缩空气排出的排出回路，上述电动气动调节器部的非通电状态是上述排出回路的连通状态。
而且，本发明其它方式的流量控制阀，阀体由弹簧施加力而与阀座密接而变成关闭状态，另一方面，通过供给到控制室内压缩空气的压力而使上述阀体移动，从而使上述阀体从上述阀座离开而变成开启状态，其特征在于具有电动气动调节器部，其设置有用于向上述控制室内供给压缩空气的供给回路和用于从上述控制室内将压缩空气排出的排出回路；排泄机构，使上述控制室内和外部稍微成连通状态，即使上述电动气动调节器部的非通电状态是上述供给回路和排出回路的遮断状态，上述控制室内的压缩空气也由上述排泄机构缓慢地排出到外部。
而且，上述其它方式的流量控制阀优选在半导体制造装置中使用。
也就是本发明的流量控制阀，在关闭状态下，由弹簧的施加力而使阀体与阀座密接，如果向控制室内供给压缩空气，由于压缩空气的压力与弹簧的施加力对抗，阀体从阀座离开，变成开启状态。但是，如果电动气动调节器部的非通电状态是排出回路的连通状态，由于在非通电时，维持控制室内的压缩空气被排出的状态，向关闭状态过渡或者维持关闭状态，因而能够防止非通电时控制流体的流出。
而且，本发明的流量控制阀在处于关闭状态时，由弹簧的施加力，阀体与阀座密接，如果向控制室内供给压缩空气，由于压缩空气的压力与弹簧的施加力对抗，阀体离开阀座，变成开启状态。但是此时如果具有使控制室内和外部稍微成连通状态的排泄机构，由于在非通电时，维持控制室内的压缩空气由该排泄机构缓慢地排出到外部的状态，向阀座与阀体密接的状态过渡或者维持关闭状态，因而能够防止非通电时控制流体的流出。
而且，在本发明的流量控制阀应用于半导体制造装置时，由于要求严格的流量控制等，因而能够极大地发挥上述效果。
图1是显示第1实施方式的流量控制阀的剖视图；图2是显示第1实施方式的流量控制阀的剖视图；图3是显示第2实施方式的流量控制阀的剖视图；图4是显示现有技术流量控制阀的一个示例的剖视图；图5是显示现有技术流量控制阀的一个示例的剖视图具体实施方式
下文参考附图对本发明实施方式进行介绍。图1显示第1实施方式的流量控制阀1A的剖视图，如图1所示，第1实施方式的流量控制阀1A具有下述整体外形，即具有左右形成有输入口51和输出口52的下体27，将形成有操作口53的缸体23固设在下体27的上方，而且，将安装有盖12的壳体14固设在缸体23的上方。
在下体27上除了图中左方的输入口51和图中右方的输出口52之外，在中央还形成有圆环形的阀座54。阀座54的内部AA与输入口51连通，阀座54的外部BB与输出口52连通。因而，隔膜(相当于阀体)24和阀座54紧贴，从而输入口51和输出口52被遮断，隔膜24从阀座54离开，从而输入口51和输出口52连通。
而且在输入口51和输出口52上分别设置了螺母25和套筒26，便于配管的连接。而且，在下体27的下部上设置了安装板28。
而且，缸体23是固设在下体27中央部上方的大致圆筒形状的部件。在缸体23上除了形成操作口53之外，大致圆柱形的活塞22沿上下方向可滑动且气密地嵌装在缸体23的内部。因而，由活塞22的下面和缸体23的内面划分出控制室55。由于形成在缸体23上的操作口53与控制室55连通，因而通过操作口53可以将压缩空气供给到控制室55内或从控制室55内排出。如果向控制室55供给压缩空气，则向上方推压活塞22。
而且，隔膜24安装在活塞22的下小径部分的下端上。隔膜24的周缘由下体27和缸体23夹持。因而，隔膜24伴随着活塞22的上下运动而移动，与下体27的阀座54分开或紧贴。也就是如果隔膜紧贴在阀座54上，则输入口51和输出52被遮断，如果隔膜24从阀座54离开，则输入口51和输出口52连通。
而且壳体14是固设在缸体23上方的大致圆筒形状的部件。在壳体14的内部安装有向下方对活塞22施力的复位弹簧20(相当于“弹簧”)。
而且，螺合安装有螺母19(相当于接触部件)的轴16通过推力轴承17、18轴支承在壳体14的内部。被轴支承的轴16通过销15安装在联轴节13上，由此，与设置在壳体14上部的伺服电动机11的转动的轴56相连。因而，由于能够将伺服电动机11的转动动作传递到轴16上，因而可以由伺服电动机11使螺合安装在轴16上的螺母19以上升·下降的直进动作移动到任意位置。而且，螺母19和活塞22之间安装有复位弹簧21，防止螺母19相对于轴16在推力方向的松动。
也就是在第1实施方式的流量控制阀1A中，由伺服电动机11、轴56、联轴节13、销15、推力轴承17、18和轴16等组成“电动机驱动控制机构”。
而且在第1实施方式的流量控制阀1A中，相对于形成在缸体23上的操作口53，安装有电动气动调节器部31。电动气动调节器部31通过控制基板35对常闭的吸气比例阀32和常闭的排气比例阀33进行控制，并具有手动操作的针阀34(相当于“排泄机构”)。具体地说，如图2所示，相对于形成有供给通路和排气通路的通路块38而安装有吸气比例阀32、排气比例阀33、针阀34。
而且针阀34是不通过排气比例阀33而使操作53与外部连通的阀。然而，由于操作口53与外部连通的程度，不能通过操作口53将压缩空气供给到控制室55，因而通过利用提钮36使排气通路中的针37上下动，可以将操作口53和外部的连通程度调节成很小。
下文对具有上述结构的第1实施方式的流量控制阀1A的作用进行介绍。第1实施方式的流量控制阀1A，通过操作口53由电动气动调节器部31向控制室55供给压缩空气而进行操作。
首先对不向操作口53内供给压缩空气的状态进行考察。在此状态下，在电动气动调节器部31中，吸气比例阀32和排气比例阀33都关闭，但是通过针阀34，操作口53与外部稍微连通。因而，控制室55内部的压力与外部压力变得相同，活塞22仅承受复位弹簧20、21的施加力。从而，活塞22处于向下方移动直至使安装在其下端的隔膜24与阀座54紧贴为止的状态。在该状态下，由于隔膜24与阀座54紧贴，输入口51和输出口52的连通被遮断，第1实施方式的流量控制阀1A处于关闭状态。
另一方面，在电动气动调节器部31中，如果使吸气比例阀32开启，则通过操作口53将压缩空气供给到控制室55的内部，控制室55的内部变成高压。因而，活塞22对抗被推压向上方的复位弹簧20、21的施加力而移动，直至活塞22的上端与螺母19的下端接触才停止。由于隔膜24也和活塞22一起向上方移动并停止，因而在隔膜24和阀座54之间形成间隙，输入口51和输出口52连通，第1实施方式的流量控制阀1A处于开启状态。
因而例如在此状态下，如果由伺服电动机11改变螺母19的位置，则活塞22的停止位置改变，对第1实施方式的流量控制阀1A的开启状态下的隔膜24和阀座25之间的间隙进行调整，从而能够对流量进行调整。
而且在第1实施方式的流量控制阀1A的开启状态下，如果因停电等使电动气动调节器部31处于非通电状态，则吸气比例阀32和排气比例阀33关闭，通过针阀34，将控制室55内部的压缩空气缓缓地排出到外部，因而安装在活塞22下端的隔膜24也向下方缓缓移动直至与阀座54紧贴为止，最终，第1实施方式的流量控制阀1A变成关闭状态。
如上详述，当第1实施方式的流量控制阀1A如图1和2所示那样处于关闭状态时，由于复位弹簧20、21的施加力作用在活塞22上，因而设置在活塞22下端的隔膜24与阀座54紧贴。此时如果向控制室55内部供给压缩空气，则压缩空气的压力作用在活塞22上，由于活塞22一边对抗着复位弹簧20、21的施加力一边移动，因而设置在活塞22前端的隔膜24与阀座54分离。然后，由于活塞22与螺母19抵接，设置在活塞22前端的隔膜24停止移动，设置在活塞22前端的隔膜24与阀座54之间的间隙固定，处于开启状态。
然而，由于在第1实施方式的流量控制阀1A中可以使利用伺服电动机11等使螺母19以上升·下降的直进动作移动到任意位置，因而能够使活塞22与螺母19抵接的位置变更。由此能够对设置在活塞22前端的隔膜24与阀座54之间的间隙正确地进行调整。
也就是在第1实施方式的流量控制阀1A中，如果活塞22与螺母19抵接而停止，则设置在活塞22前端的隔膜24也停止，处于开启状态，设置在活塞22前端的隔膜24与阀座54之间的间隙固定，但是此时，由于通过可以使螺母19以上升·下降的直进动作移动到任意位置的伺服电动机11，能够对设置在活塞22前端的隔膜24与阀座54之间的间隙正确地进行调整，从而对流量进行控制，因而第1实施方式的流量控制阀1A利用抵接来决定开启状态下的活塞22的停止位置，从而进行流量调整，能够遥控且精度良好地进行流量控制。
而且在第1实施方式的流量控制阀1A中，由供给到控制室55内部的压缩空气的压力和复位弹簧20、21的施加力，而向开启状态·关闭状态过渡，伺服电动机11等不干预向开启状态·关闭状态的过渡，因而向开启状态·关闭状态过渡的响应性优良。
而且在第1实施方式的流量控制阀1A中，伺服电动机11等不干预向关闭状态的过渡，在设置在活塞22前端的隔膜24与阀座54紧贴时，由于不传递基于伺服电动机11等的轴16和螺母19直进动作的推进力，因而基于伺服电动机11等的轴16和螺母19直进动作的推进力不会对设置在活塞22前端的隔膜24和阀座54造成损伤。
而且由于在第1实施方式的流量控制阀1A中，具有电动气动调节器部31，由电控制可以自由改变压缩空气相对控制室55内部的供给·排出速度，因而能够遥控且精度良好地对向开启状态·关闭状态过渡的速度进行控制，该速度控制是为了减轻阀开闭时所产生的过冲和水锤现象，而且，向阀开启状态·关闭状态过渡的速度的响应性变得更为优良。
而且由于在第1实施方式的流量控制阀1A中，具有通过控制基板35对常闭的吸气比例阀32和常闭的排气比例阀33进行控制的电动气动调节器部31，虽然电动气动调节器部31的非通电状态是供给回路和排出回路的遮断状态，但是具有通过操作口53而使控制室55的内部和外部稍微成为连通状态的针阀34，在非通电时，维持控制室55内部的压缩空气由针阀34缓慢地排出到外部的状态，向关闭状态过渡或者维持关闭状态，因而能够防止非通电时控制流体的流出。
而且在将第1实施方式的流量控制阀1A使用在半导体制造装置中时，由于要求能够遥控且精度良好地进行流路调整、严格的流量控制等，因而，能够极大地发挥上述效果。
而且在半导体制造装置中，虽然控制流体、周围温度的温度管理也非常重要，但是，由于在将第1实施方式的流量控制阀1A使用在半导体制造装置中时，相比基于伺服电动机11等的流量调整，频繁地进行基于压缩空气和复位弹簧20、21等的开·闭动作，伴随发热的伺服电动机11等较少动作，因而无需考虑伺服电动机11的发热等所带来的影响。
而且，由于伺服电动机11等操作少，伺服电动机的寿命不因发热而缩短，因而伺服电动机11不对第1实施方式的流量控制阀1A本身的寿命造成恶劣影响。
第1实施方式的流量控制阀1A在处于关闭状态时，由于复位弹簧20的施加力，隔膜24与阀座54密接，如果此时向控制室55内部供给压缩空气，由于压缩空气的压力与复位弹簧20的施加力对抗，隔膜24从阀座54上离开，处于开启状态。由于此时具有通过控制基板35对常闭的吸气比例阀32和常闭的排气比例阀33进行控制的电动气动调节器部31，虽然电动气动调节器部31的非通电状态是供给回路和排出回路的遮断状态，但是由于具有通过操作口53而使控制室55的内部和外部稍微成为连通状态的针阀34，在非通电时，维持控制室55内部的压缩空气由针阀34缓慢地排出到外部的状态，向关闭状态过渡或者维持关闭状态，因而能够防止非通电时控制流体的流出。
而且在将第1实施方式的流量控制阀1A使用在半导体制造装置中时，由于要求严格的流量控制等，因而，能够极大地发挥上述效果。
而且，本发明并不局限于上述实施方式，可以在不脱离上述要旨范围内进行各种变更。
例如在第1实施方式的流量控制阀1A中，虽然将针阀34设置在电动气动调节器部31，但是也可以通过直接设置在缸体23上，而维持将控制室55内部的压缩空气缓慢地排出到外部的状态。
而且，在第1实施方式的流量控制阀1A中，作为“排泄机构”，虽然使用针阀34，但是也可以使用节流孔等。
而且，在第1实施方式的流量控制阀1A中，通过在电动气动调节器部31内设置使控制室55的内部和外部稍微成为连通状态的针阀34，来防止在非通电时控制流体的流出，但是如果如图3的第2实施方式的流量控制阀1B那样，具有通过控制基板45对常闭的吸气比例阀42、常闭的排气比例阀43和常开的排气比例阀44进行控制的电动气动调节器部41，由于在非通电时，维持控制室55内部的压缩空气被排出的状态，向关闭状态过渡或者维持关闭状态，因而能够防止非通电时控制流体的流出。
因而第二实施方式的流量控制阀1B在关闭状态下，由于复位弹簧20的施加力，隔膜24和阀座54密接，如果向控制室55内部供给压缩空气，则由于压缩空气的压力与复位弹簧20的施加力对抗，隔膜24从阀座54离开，处于开启状态。由于此时具有通过控制基板45对常闭的吸气比例阀42、常闭的排气比例阀43和常开的排气比例阀44进行控制的电动气动调节器部41，在非通电时，维持控制室55内部的压缩空气被排出的状态，向关闭状态过渡或者维持关闭状态，因而能够防止非通电时控制流体的流出。
产业上的利用可能性如上所述，在本发明的流量控制阀中，如果活塞与接触部件抵接而停止，则设置在活塞前端上的阀体也停止而处于开启状态，设置在活塞上的阀体和阀座的间隙固定，但是此时通过可以使接触部件以前进·后退的直进动作移动到任意位置的电动机驱动控制机构，能够对设置在活塞上的阀体和阀座的间隙进行正确调整，而进行流量控制，因而本发明的流量控制阀通过接触而决定开启状态下的活塞的停止位置，从而进行流量调整，并能够遥控且精度良好地进行流量调整的阀。
而且，本发明的流量控制阀在处于关闭状态时，由于弹簧的施加力，阀体与阀座密接，如果此时向控制室内供给压缩空气，由于压缩空气的压力与弹簧的施加力对抗，因而阀体离开阀座，变成开启状态。但是，如果此时电动气动调节器部的非通电状态是排出回路的连通状态，由于在非通电时，维持控制室内的压缩空气被排出的状态，向关闭状态过渡或者维持关闭状态，因而能够防止非通电时控制流体的流出。
而且，本发明的流量控制阀在处于关闭状态时，由于弹簧的施加力，阀体与阀座密接，如果此时向控制室内供给压缩空气，由于压缩空气的压力与弹簧的施加力对抗，因而阀体离开阀座，变成开启状态。但是此时如果具有使控制室内和外部稍微成连通状态的排泄机构，由于在非通电时，维持控制室内的压缩空气由该排泄机构缓慢地排出到外部的状态，向阀座与阀体密接的状态过渡或者维持关闭状态，因而能够防止非通电时控制流体的流出。
权利要求
1.一种流量控制阀，设置在活塞前端的阀体由弹簧的施加力而与阀座密接，变成关闭状态，另一方面，利用供给到控制室内的压缩空气的压力而使活塞移动，从而使所述阀体从所述阀座离开，而且，通过使所述活塞与接触部件接触，变成开启状态，并决定所述开启状态下的所述阀体的停止位置，其特征在于设置使所述接触部件以前进·后退的直进动作移动到任意位置的电动机驱动控制机构。
2.如权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于具有电动气动调节器部，该电动气动调节器部设置有用于向所述控制室内供给压缩空气的供给回路和用于从所述控制室内将压缩空气排出的排出回路。
3.如权利要求2所述的流量控制阀，其特征在于所述电动气动调节器部的非通电状态是所述排出回路的连通状态。
4.如权利要求2所述的流量控制阀，其特征在于还具有使所述控制室内和外部稍微成连通状态的排泄机构，即使所述电动气动调节器部的非通电状态是所述供给回路和所述排出回路的遮断状态，所述控制室内的压缩空气也可以由所述排泄机构缓慢地排出到外部。
5.如权利要求1～4中任一项所述的流量控制阀，其特征在于在半导体制造装置中使用。
6.一种流量控制阀，阀体由弹簧施加力而与阀座密接，成为关闭状态，另一方面，利用供给到控制室内的压缩空气的压力使所述阀体移动，从而使所述阀体从所述阀座离开，变成开启状态，其特征在于具有电动气动调节器部，该电动气动调节器部设置有用于向所述控制室内供给压缩空气的供给回路和用于从所述控制室内将压缩空气排出的排出回路，所述电动气动调节器部的非通电状态是所述排出回路的连通状态。
7.一种流量控制阀，阀体由弹簧施加力而与阀座密接，成为关闭状态，另一方面，利用供给到控制室内的压缩空气的压力使所述阀体移动，从而使所述阀体从所述阀座离开，变成开启状态，其特征在于具有电动气动调节器部，设置有用于向所述控制室内供给压缩空气的供给回路和用于从所述控制室内将压缩空气排出的排出回路；和排泄机构，使所述控制室内和外部稍微成连通状态，即使所述电动气动调节器部的非通电状态是所述供给回路和所述排出回路的遮断状态，所述控制室内的压缩空气也可以由所述排泄机构缓慢地排出到外部。
8.如权利要求6或7所述的流量控制阀，其特征在于在半导体制造装置中使用。
全文摘要
本发明涉及一种流量控制阀，通过接触而决定开启状态下的活塞的停止位置，从而进行流量调整，能够遥控且高精度地进行流量控制的。在关闭状态下，由于复位弹簧(20、21)的施加力作用在活塞(22)上，隔膜(24)和阀座(54)密接。此时如果向控制室(55)内部供给压缩空气，则活塞(22)移动，因而隔膜(24)从阀座(54)离开，其后，由于活塞(22)与螺母(19)抵接，因而隔膜(24)停止，隔膜(24)和阀座(54)的间隙固定，成为开启状态。但由于可以利用伺服电动机(11)等使螺母(19)移动到任意位置，因而可以使活塞(22)与螺母(19)抵接的位置改变。
文档编号F16K31/124GK1751200SQ0382611
公开日2006年3月22日 申请日期2003年3月7日 优先权日2003年3月7日
发明者安江博人, 平子保, 笼桥宏, 菅田和广 申请人:喜开理株式会社