专利名称：吸盘的制作方法
技术领域：
吸盘技术领域[0001]本实用新型涉及机械手领域，更具 体地，涉及一种吸盘。
背景技术：
[0002]现有技术中的机械手的吸盘包括设置在吸盘中部的圆形垫片、间隔设置在圆形垫片的外圈的环形垫片和设置在圆形垫片与圆形垫片间隔处的气孔。吸盘工作时，吸盘放置在待吸物(例如，硅片等)的表面，通过外部的吸气系统从气孔中抽气，于是，待吸物在吸气的作用下，吸附贴合在圆形垫片和环形垫片上，从而随着机械手的移动而移动。[0003]由于待吸物(例如，硅片)镀膜后，其表面易存有小颗粒(例如，氮化硅颗粒)，因而导致在吸取待吸物的过程中，小颗粒处于待吸物与吸盘之间，从而造成待吸物出现裂纹或破损的问题，提高了待吸物的使用成本。另外，由于吸气的作用，在吸附的过程中小颗粒会朝向吸盘的中间位置移动，从而导致待吸物的裂纹和破损主要集中在与吸盘的中部相对应的位置处。实用新型内容[0004]本实用新型旨在提供一种吸盘，以解决现有技术中因待吸物与吸盘之间存在小颗粒而导致待吸物裂纹、破损的问题。[0005]为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种吸盘，包括盘体，盘体包括第一表面、第二表面和气孔；凸起部，凸起部突出地设置在第一表面上并围成凹部，且凸起部围绕凹部的周向连续地设置，气孔设置在与凹部相对应的位置处，气孔由第一表面向第二表面的方向延伸并贯穿盘体。[0006]进一步地，凸起部包括至少两个依次套设的环状的第一凸起部，第一凸起部与第一表面连接，至少两个第一凸起部及盘体的第一表面之间形成凹部。[0007]进一步地，凸起部还包括多个第二凸起部，第二凸起部与第一凸起部相交，第一凸起部、第二凸起部及盘体的第一表面之间形成多个凹部。[0008]进一步地，盘体的相对于每个凹部处分别设置有多个气孔。[0009]进一步地，第二凸起部沿盘体的径向设置，多个第二凸起部呈放射状分布。[0010]进一步地，吸盘还包括吸气辅助件，吸气辅助件可拆卸地安装在盘体的第二表面上。[0011]进一步地，吸气辅助件包括集气壳，集气壳与盘体连接，集气壳包括与盘体的气孔连通的腔体。[0012]进一步地,集气壳包括壳体和机械手连接件,机械手连接件与壳体相连接。[0013]进一步地，壳体包括第一吸气孔，机械手连接件包括与第一吸气孔对应设置的第二吸气孔，第二吸气孔通过第一吸气孔与腔体连通。[0014]进一步地，吸气辅助件还包括凸块，凸块设置在腔体内并与盘体连接，凸块的外表面与壳体的内壁之间形成气体通道，盘体上的气孔通过气体通道与第一吸气孔连通。[0015]本实用新型的第一表面上设置周向连续的凸起部，形成用于与待吸物接触的吸附面，并在盘体上与凹部相对应的位置处设置有贯穿于盘体的气孔。使用时，通过对气孔抽气可在凹部与待吸物之间形成真空气腔，从而将待吸物吸起。由于吸附面是由凸起部形成的， 所以减小了吸盘与待吸物之间的接触面积、降低了待吸物出现裂纹和破损的危险。
[0016]构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中I示意性示出了本实用新型中的盘体的仰视图；2示意性示出了图I中A-A方向的剖视图；3示意性示出了本实用新型中的盘体的俯视图；4示意性示出了本实用新型中的集气壳的俯视图；5示意性示出了图4中B-B方向的剖视图；6示意性示出了本实用新型中的凸块的结构示意图；以及 7示意性示出了图6的俯视图。[0017]图[0018]图[0019]图[0020]图[0021]图[0022]图[0023]图具体实施方式
[0024]
以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。[0025]本实用新型提供了一种吸盘。如图I至图7所示，吸盘包括盘体10和凸起部14。 其中，盘体10包括第一表面11、第二表面12和气孔13。凸起部14突出地设置在第一表面 11上并围成凹部15，且凸起部14围绕凹部15的周向连续地设置，由于凸起部14是周向连续地设置，从而使得在吸附的过程中凸起部14、第一表面11和待吸物所围成的凹部15可以形成真空气腔，因而可以将待吸物牢牢地吸住、且不会由于机械手的移动而发生待吸物掉落的情况。气孔13设置在与凹部15相对应的位置处，气孔13由第一表面11向第二表面 12的方向延伸并贯穿盘体10。[0026]机械手的吸盘工作时，首先将吸盘移动到待吸物的表面上，而后通过外部的吸气系统抽气，将盘体10的第一表面11上的凸起部14形成的吸附面与待吸物之间的气体通过气孔13排出到吸盘的外部。此时，凹部15与待吸物之间形成真空气腔，从而将待吸物吸起。由于本实用新型中的吸盘的吸附平面是由凸起部14形成的，而非现有技术中的圆盘和圆环组成的平面式吸附面，因而减少了吸盘与待吸物之间的接触面积，从而降低了由于吸盘与待吸物之间存在颗粒而将待吸物硌裂、硌碎的危险，也降低了使用成本。同时，本实用新型还具有结构简单、制造成本低等特点。[0027]优选地，凸起部14包括至少两个依次套设的环状的第一凸起部14a，第一凸起部 14a与第一表面11连接，至少两个第一凸起部14a及盘体10的第一表面11之间形成凹部 15 (请参考图I和图2)。这样设置形成的凹部15与待吸物配合后可以形成环状的真空气腔，从而保证吸盘可以稳定、牢固地吸住待吸物。此外，由于吸附面是由至少两个依次套设的环状的第一凸起部14a形成的，因而盘体10与待吸物之间的接触面积小，从而减小了待4吸物被颗粒硌裂、硌碎的危险。由于设置在盘体中心处的第一凸起部14a是环状的，而非现有技术中的圆形垫片，因而在吸附过程中盘体10的中部不会与待吸物接触，也就避免了由于颗粒均向盘体10的中部移动，而造成待吸物被硌裂、硌碎的问题。[0028]特别地，当凹部15的体积较大时，要想保证吸盘瞬间能将待吸物吸附起来，就需要增大抽气量，否则就会导致待吸物吸附延时，从而造成工作效率降低的问题。为此，优选地，如图I至图3所示的实施例中，凸起部14还包括多个第二凸起部14b，第二凸起部14b 与第一凸起部14a相交，第一凸起部14a、第二凸起部14b及盘体10的第一表面11之间形成多个凹部15。进一步地，第二凸起部14b沿盘体10的径向设置，多个第二凸起部14b呈放射状分布。由于设置了与第一凸起部14a相交的第二凸起部14b，因而将上述的凹部15 分隔为多个凹部15 (分隔后的每个凹部15的体积小于分隔前的每个凹部15的体积)，从而增加了凸起部14与待吸物之间的径向接触点，可防止出现由于吸附力过大造成待吸物变形或损坏的问题。由于减小了凹部15的体积，因而在不改变抽气量的前提下吸盘可将待吸物瞬时吸气，从而提高了工作效率。但需要注意的是，如果凹部15的面积过小，则凸起部 14与待吸物的接触面积必然过大，这样就不能很好地起到防止硌伤待吸物的作用，因此，凹部15的面积不应设置的过小。另一方面，还可以通过对凹部的深度的控制来控制凹部的体积，优选地，凹部15的深度为2mm。进一步地，由于凹部15均为分散设置的，因而盘体10的吸附面上不容易沾染污尘、颗粒，也就进一步减少了待吸物被硌裂、硌碎的危险。[0029]优选地，盘体10的相对于每个凹部15处分别设置有多个气孔13，以稳定且牢靠地将待吸物吸起。[0030]如图4和图5所示，本实用新型的吸盘还包括吸气辅助件，吸气辅助件可拆卸地安装在盘体10的第二表面12上。优选地，吸气辅助件包括集气壳20，集气壳20与盘体10连接，集气壳20包括与盘体10的气孔13连通的腔体21。通过集气壳20可将机械手与吸盘连接起来，从而将盘体10上的气孔13与吸气系统连通。当吸气系统开始抽气后，待吸物与盘体10之间的气体通过气孔13进入集气壳20的腔体21中，并通过集气壳20进入吸气系统中。[0031]本实用新型的集气壳20包括壳体22和机械手连接件23，机械手连接件23与壳体 22相连接(请参考图4和图5)，以通过机械手连接件23将吸盘与机械手相连。优选地，壳体22包括第一吸气孔22a，机械手连接件23包括与第一吸气孔22a对应设置的第二吸气孔 23a，第二吸气孔23a通过第一吸气孔22a与腔体21连通。优选地，壳体22通过螺钉固定在盘体10的第二表面12上，机械手连接件23通过螺钉与壳体22固定。吸气系统工作时， 待吸物与盘体10之间的气体通过气孔13进入腔体21中，并从第一吸气孔22a流经第二吸气孔23a后进入吸气系统中。[0032]优选地，如图6和图7所示，吸气辅助件还包括凸块30，凸块30设置在腔体21内并与盘体10连接，凸块30的外表面与壳体22的内壁之间形成气体通道24，盘体10上的气孔13通过气体通道24与第一吸气孔22a连通。由于设置了凸块30，因而占用了集气壳20 的腔体21的气体空间，从而使得腔体21中的气体空间明显减小，也就减小了从盘体10到吸气系统之间的真空气腔的气体容量，因而当吸气系统工作时，可更容易地将待吸物吸起。[0033]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种吸盘，其特征在于，包括盘体(10)，所述盘体(10)包括第一表面(11)、第二表面(12)和气孔(13)；凸起部(14)，所述凸起部(14)突出地设置在所述第一表面(11)上并围成凹部(15)， 且所述凸起部(14)围绕所述凹部(15)的周向连续地设置，所述气孔(13)设置在与所述凹部(15)相对应的位置处，所述气孔(13)由所述第一表面(11)向所述第二表面(12)的方向延伸并贯穿所述盘体(10)。
2.根据权利要求I所述的吸盘，其特征在于，所述凸起部(14)包括至少两个依次套设的环状的第一凸起部(14a)，所述第一凸起部(14a)与所述第一表面(11)连接，所述至少两个第一凸起部(14a)及所述盘体(10)的所述第一表面(11)之间形成所述凹部(15)。
3.根据权利要求2所述的吸盘，其特征在于，所述凸起部(14)还包括多个第二凸起部 (14b)，所述第二凸起部(14b)与所述第一凸起部(14a)相交，所述第一凸起部(14a)、所述第二凸起部(14b)及所述盘体(10)的所述第一表面(11)之间形成多个所述凹部(15)。
4.根据权利要求3所述的吸盘，其特征在于，所述盘体(10)的相对于每个所述凹部(15)处分别设置有多个所述气孔(13)。
5.根据权利要求3所述的吸盘，其特征在于，所述第二凸起部(14b)沿所述盘体(10) 的径向设置，所述多个第二凸起部(14b)呈放射状分布。
6.根据权利要求I至5中任一项所述的吸盘，其特征在于，所述吸盘还包括吸气辅助件，所述吸气辅助件可拆卸地安装在所述盘体(10)的所述第二表面(12)上。
7.根据权利要求6所述的吸盘，其特征在于，所述吸气辅助件包括集气壳(20)，所述集气壳(20)与所述盘体(10)连接，所述集气壳(20)包括与所述盘体(10)的所述气孔(13) 连通的腔体(21)。
8.根据权利要求7所述的吸盘，其特征在于，所述集气壳(20)包括壳体(22)和机械手连接件(23)，所述机械手连接件(23)与所述壳体(22)相连接。
9.根据权利要求8所述的吸盘，其特征在于，所述壳体(22)包括第一吸气孔(22a)，所述机械手连接件(23)包括与所述第一吸气孔(22a)对应设置的第二吸气孔(23a)，所述第二吸气孔(23a)通过所述第一吸气孔(22a)与所述腔体(21)连通。
10.根据权利要求9所述的吸盘，其特征在于，所述吸气辅助件还包括凸块(30)，所述凸块(30)设置在所述腔体(21)内并与所述盘体(10)连接，所述凸块(30)的外表面与所述壳体(22)的内壁之间形成气体通道(24)，所述盘体(10)上的气孔(13)通过所述气体通道(24)与所述第一吸气孔(22a)连通。
专利摘要本实用新型提供了一种吸盘，包括盘体，盘体包括第一表面、第二表面和气孔；凸起部，凸起部突出地设置在第一表面上并围成凹部，且凸起部围绕凹部的周向连续地设置，气孔设置在与凹部相对应的位置处，气孔由第一表面向第二表面的方向延伸并贯穿盘体。本实用新型的第一表面上设置周向连续的凸起部，形成用于与待吸物接触的吸附面，并在盘体上与凹部相对应的位置处设置有贯穿于盘体的气孔。使用时，通过对气孔抽气可在凹部与待吸物之间形成真空气腔，从而将待吸物吸起。由于吸附面是由凸起部形成的，所以减小了吸盘与待吸物之间的接触面积、降低了待吸物出现裂纹和破损的危险。
文档编号F16B47/00GK202746387SQ201220426290
公开日2013年2月20日 申请日期2012年8月24日 优先权日2012年8月24日
发明者张晓朋, 李翠双, 张自成 申请人:英利能源(中国)有限公司