技术特征：
1.一种真空阀，介于真空腔室与真空泵之间，对所述真空腔室的压力进行调整，所述真空阀的特征在于包括：阀本体，具有阀体及驱动电动机，所述驱动电动机驱动所述阀体而使所述阀体的开度发生变化；以及控制器，包括：输入操作部，被输入基于用户操作的指令；驱动部，对所述驱动电动机进行驱动；及控制部，至少控制所述驱动部；且所述控制器与所述阀本体一体构成，所述输入操作部将所述指令输出到所述控制部，所述控制部执行与从所述输入操作部输入的所述指令相应的作业。2.根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于：所述输入操作部具有能够切换的多个输入操作形态，将与所述多个输入操作形态相应的指令输出到所述控制部。3.根据权利要求2所述的真空阀，其特征在于：所述控制部中输入有所述真空腔室的压力值，所述输入操作部根据第一所述输入操作形态，将第一所述指令输出到所述控制部，第一所述指令执行使所述阀体驱动而获取所述开度与所述真空腔室的压力值的关系的校正作业，所述控制部根据第一所述指令执行所述校正作业。4.根据权利要求3所述的真空阀，其特征在于：所述控制器具有显示所述校正作业的作业状况的显示部。5.根据权利要求2至4中任一项所述的真空阀，其特征在于：根据第二所述输入操作形态，所述输入操作部将第二所述指令输出到所述控制部，第二所述指令以所述真空腔室的压力值为目标压力值的方式执行使所述阀体驱动的调压作业，所述控制部根据第二所述指令执行所述调压作业。6.根据权利要求5所述的真空阀，其特征在于：所述控制器具有显示所述调压作业的作业状况的显示部。7.根据权利要求2至4中任一项所述的真空阀，其特征在于：所述输入操作部中，根据第三所述输入操作形态来设定目标开度，所述输入操作部将第三所述指令输出到所述控制部，第三所述指令执行使所述阀体向所述目标开度驱动的开度变更作业，所述控制部根据第三所述指令来执行所述开度变更作业。