真空阀的制作方法

本发明涉及真空阀，本发明正是为了解决所述问题而研发的，本发明的目的是提供一种真空阀，其特征在于，在驱动块两侧面形成凸出槽区间及包括第一、第二倾斜槽区间的开闭驱动引导槽在l形运动块(l-motionblock)上形成能够引入于所述开闭驱动引导槽并移动的的l形运动辊(l-motionroller)，l形运动辊(l-motionroller)如果位于第一倾斜槽区间的末端部，则阀片的一侧面封闭所述流入口，l形运动辊(l-motionroller)如果位于第二倾斜槽区间的末端部，则阀片的一侧面贴紧所述壳内部面，从根本上杜绝阀片封闭面配备的密封圈接触空气及流体，从而增进密封圈的制品性能，延长密封圈的更换周期。

背景技术：

一般而言，用于制造半导体元件的半导体制造工序要求高精密度，因而要求高洁净度和特殊的制造技术。

由于这种理由，半导体元件在完美切断接触空气中包含的异物质的状态下，即，在真空状态下制造，从而能够生产制品的可靠性及完成度高的制品。

另一方面，为了保持制造半导体元件的工艺腔内部的真空状态，在工艺腔的外部安装有吸入工艺腔内的空气及其它气体的真空泵。

另外，在所述工艺腔与真空泵之间安装有真空阀，在将工艺腔内部的空气及其它气体排出到外部的情况下，开放真空阀，在保持工艺腔内部的真空状态的情况下，封闭真空阀，从而使得能够将工艺腔内部保持于始终清净的真空状态。

下述专利文献1的″闸门阀(大韩民国注册专利公报第10-0338164号)″的特征在于，包括：阀箱；阀盘，其以与所述阀箱内安装的阀座相向相接的方式配置于所述阀箱内；阀杆，其从连接于所述阀盘的所述阀箱内向所述阀箱外气密地凸出，以便插入于波纹管中，并能够上下运动及倾斜运动；移动手段，其安装于阀箱外部，在其中插入所述阀杆，使所述阀盘能够移动到与所述阀座相向的位置和不相向的位置，所述阀盘从所述阀座离间而位于相向的位置后，使所述阀杆倾斜运动，使得所述阀盘按压于所述阀座；所述移动手段包括：活塞缸装置；滚柱及长孔，其为了使所述活塞缸装置的活塞杆与所述阀杆相互连接，所述滚柱将其分别安装于一侧及另一侧，所述长孔结合于所述滚柱并倾斜；弹簧，其抑制所述活塞杆及阀杆沿轴向相互离间；引导件，其为了引导所述阀杆能够上下运动及倾斜运动而在所述活塞缸装置的缸中形成；当借助于所述活塞缸装置进行按压而使所述活塞杆相对于所述阀杆接近时，所述阀杆将所述滚柱及倾斜的长孔置于中间而倾斜，所述阀盘按压所述阀座；在所述阀箱内，完全不包含用于相对于所述阀座而按压所述阀盘的机械部件，因而具有的优点是没有因所述阀箱内磨损等导致的发生不纯物的忧虑。

但是，就所述专利文献1的″闸门阀″而言，当从所述阀盘按压阀座而封闭阀门的状态，竖直移动阀杆，阀盘从阀座离开而开放阀门时，所述阀盘的前面部保持露出于阀座的内侧空间的状态，因而在空气和其它气体向所述阀座内侧移动的过程中，所述空气和其它气体与所述阀盘的前面部具备的弹性材质的o形环接触，从而导致所述o形环被腐蚀或变形迅速进行，存在所述o形环的更换周期缩短的问题。

技术实现要素：

(要解决的技术问题)

本发明正是为了解决所述问题而研发的，本发明的目的是提供一种真空阀，在驱动块两侧面形成凸出槽区间及包括第一、第二倾斜槽区间的开闭驱动引导槽，在l形运动块(l-motionblock)上形成能够引入于所述开闭驱动引导槽并移动的的l形运动辊(l-motionroller)，l形运动辊(l-motionroller)如果位于第一倾斜槽区间的末端部，则阀片的一侧面封闭所述流入口，l形运动辊(l-motionroller)如果位于第二倾斜槽区间的末端部，则阀片的一侧面贴紧所述壳内部面，从根本上杜绝阀片封闭面配备的密封圈接触空气及流体，从而能够增进密封圈的制品性能，延长密封圈的更换周期。

(解决问题的手段)

为了解决如上所述的问题，本发明的真空阀1的特征在于，包括：阀壳100，其在内侧形成有流体移动孔101，且形成有供流体流入的流入部110和供流体流出的流出部120；阀片200，其位于所述阀壳100的内侧，对所述流入部110进行开闭；阀杆300，其与所述阀片200连接，且形成有在上部凸出形成的连接凸起310；l形运动块(l-motionblock)400，其与所述连接凸起310连接，且在下部两侧面分别形成有行程辊410，在上部两侧面分别形成有l形运动辊(l-motionroller)420；驱动块500，其与所述l形运动块(l-motionblock)400连接，且在两侧面分别形成有开闭驱动引导槽510，以便所述l形运动辊(l-motionroller)420分别引入并能够上下移动；弹簧销600，其配备于所述驱动块500一面；弹性构件700，其配备于所述弹簧销600与所述l形运动辊(l-motionroller)420之间；引导壳800，其结合于所述阀壳100的上部，且在两侧的内面构成有凹陷形成的行程辊轨道槽810，以便所述行程辊410分别引入；缸900，其能拆卸地结合于所述引导壳800的上部；活塞910，其从所述缸900的内部向外部保持气密地凸出，与驱动块500连接，且借助于液压而竖直运动。

另外，其特征在于，所述行程辊410比所述l形运动辊(l-motionroller)420向封闭方向(c)侧偏心地安装。

另外，其特征在于，所述开闭驱动引导槽510构成向封闭方向(c)侧凸出形成的凸出槽区间511，所述l形运动辊(l-motionroller)420如果位于所述凸出槽区间511，则以所述行程辊410为中心，保持所述阀片200向开放方向(o)侧倾斜的状态。

另外，其特征在于，构成有第一倾斜槽区间512，所述第一倾斜槽区间512从所述凸出槽区间511朝向上方，向开放方向(o)侧倾斜地形成，所述l形运动辊(l-motionroller)420如果位于所述第一倾斜槽区间512的末端部512a，则以所述行程辊410为中心，所述阀片200向封闭方向(c)侧移动，所述阀片200封闭所述流入口110。

另外，其特征在于，构成有第二倾斜槽区间513，所述第二倾斜槽区间513从所述凸出槽区间511朝向上方，向开放方向(o)侧倾斜地形成，所述l形运动辊(l-motionroller)420如果位于所述第二倾斜槽区间513的末端部513a，则以所述行程辊410为中心，所述阀片200向封闭方向(c)侧移动，所述阀片200贴紧所述壳100的内部面102。

(发明的效果)

根据本发明，本发明正是为了解决所述问题而研发的，本发明的目的是提供一种真空阀，在驱动块两侧面形成凸出槽区间及包括第一、第二倾斜槽区间的开闭驱动引导槽，在l形运动块(l-motionblock)上形成能够引入于所述开闭驱动引导槽并移动的的l形运动辊(l-motionroller)，l形运动辊(l-motionroller)如果位于第一倾斜槽区间的末端部，则阀片的一侧面封闭所述流入口，l形运动辊(l-motionroller)如果位于第二倾斜槽区间的末端部，则阀片的一侧面贴紧所述壳内部面，从根本上杜绝阀片封闭面配备的密封圈接触空气及流体，从而具有增进密封圈的制品性能，延长密封圈的更换周期的优点。

附图说明

图1是显示本发明的优选实施例的真空阀的整体形态的立体图；

图2是显示本发明的优选实施例的真空阀的构成中在引导壳内部形成的构成要素间结合状态的结合状态图；

图3是显示本发明的优选实施例的真空阀的分解形态的分解立体图

图4是显示本发明的优选实施例的真空阀的构成中在引导壳内部形成的构成要素间结合状态的主视图；

图5是显示本发明的优选实施例的真空阀的构成中流入部封闭形态的运转状态图；

图6及图7是显示本发明的优选实施例的真空阀的构成中流入部封闭形态的运转状态图；

图8及图9是显示本发明的优选实施例的真空阀的构成中流入部开放形态的运转状态图；

图10是显示本发明的优选实施例的真空阀的构成中阀壳与阀片清洁引导部结合的形态的分解立体图；

图11是显示本发明的优选实施例的真空阀的构成中阀壳与阀片清洁引导部的剖面形态的局部剖面图。

最佳实施方式

下面参照附图，详细说明本发明一个实施例的真空阀1。首先需要注意的是，附图中相同的构成要素或部件，尽可能以相同的附图标记代表。在说明本发明方面，为了不使本发明的要旨模糊，省略有关相关公知功能或构成的具体说明。

本发明如图2或图3所示，大致由阀壳100和阀片200、阀杆300、l形运动块(l-motionblock)400、驱动块500、引导壳800及缸900构成。

在说明之前需要注意的是，如图2、4、6、7、8、9所示，为了能够明确掌握作为内部构成要素的波纹管320、l形运动块(l-motionblock)400、驱动块500的构成，省略了引导壳800的正面部或侧面部的表现，如图5、6、7、8、9所示，为了明确表现本发明的运转状态，阀壳100、波纹管320、驱动块500、缸900以虚线表现其形状。

另外需要注意的是，如图4、6、7、8、9所示，将附图的左侧设置为封闭方向(c)，将右侧设置为开放方向(o)。

首先，对阀壳100进行说明。如图1或图3所示，所述阀壳100作为安装于工序腔(图中未示出)与真空泵(图中未示出)之间的构成要素，形成有供流体流入的流入部110和供流体流出的流出部120。

然后，对阀片200进行说明。如图3或图4所示，所述阀片200作为位于流体移动孔101内部并对所述流入部110进行开闭的构成要素，随着后述活塞910沿上下方向移动，所述阀片200的封闭面210贴紧在所述流入部110末端侧周围形成的阀座111，能够封闭或开放所述流入部110。

在本发明中，所述阀片200构成得在开放所述流入部110的状态下，所述阀片200的封闭面201贴紧所述阀壳100的内部面102，从而为了增加密闭的气密性，使所述封闭面201具备的密封圈210不露出于所述流体移动孔101上，能够从根本上杜绝接触空气及流体。

然后，对阀杆300进行说明。如图3所示，所述阀杆300作为在上部形成有连接凸起310，与后述l形运动块(l-motionblock)400连接且下部与所述阀片200结合的构成要素，所述阀杆300根据安放于后述驱动块500的开闭驱动引导槽510的后述l形运动块(l-motionblock)400的l形运动辊(l-motionroller)420的位置，能够竖直及水平移动。

另一方面，在所述阀壳100与l形运动块(l-motionblock)400之间，如图2或图3所示，具备保持气密并环绕所述阀杆300的波纹管320，从而能够引导所述l形运动块(l-motionblock)400的竖直运动。

另外，所述波纹管320发挥使所述阀杆300与后述引导壳800隔离的作用，从而当所述流入部110开放时，切断可能通过所述流入部110进入所述引导壳800内部的空气及流体。

然后，对l形运动块(l-motionblock)400进行说明。如图2或图3所示，所述l形运动块(l-motionblock)400作为以例″t″形形状构成、下部与所述阀杆300结合、上部与驱动块500连接的构成要素，包括行程辊410和l形运动辊(l-motionroller)420。

所述行程辊410能旋转地安装于所述l形运动块(l-motionblock)400的下部两侧面，在本发明的运转过程中，引导所述l形运动块(l-motionblock)400沿竖直方向移动。

另一方面，本发明的特征在于，所述行程辊410比所述l形运动辊(l-motionroller)420向封闭方向(c)侧偏心地安装，从而所述行程辊410如图6～图9所示，在所述l形运动辊(l-motionroller)420位于向封闭方向(c)凸出形成的后述凸出槽区间511时，所述阀杆300成为倾斜状态，所述l形运动辊(l-motionroller)420位于向开放方向(o)倾斜地形成的后述第一、第二倾斜槽区间512，513的各个末端部512a，513a时，所述阀杆300成为直立状态，从而能够顺利实现所述流入部110的开闭运转及所述阀壳100的内部面102贴紧运转。

另外，所述行程辊410根据安放于所述开闭驱动引导槽510并移动的l形运动辊(l-motionroller)420的位置，当所述l形运动块(l-motionblock)400要沿水平方向移动时，借助于供所述行程辊410插入的后述引导壳800的行程辊轨道槽810，发挥中心轴作用，以便所述l形运动块(l-motionblock)400的下部不沿水平方向移动，能够使得只有所述l形运动块(l-motionblock)400的上部可以沿水平方向移动。

所述l形运动辊(l-motionroller)420能旋转地安装于所述l形运动块(l-motionblock)400的上部两侧面，安放于所述开闭驱动引导槽510，能够根据沿竖直方向移动的位置，使所述阀杆300向封闭方向(c)或开放方向(o)移动。

然后，对驱动块500进行说明。如图2或图3所示，所述驱动块500作为供所述l形运动块(l-motionblock)400的上部引入内侧，上部与活塞910连接的构成要素，包括开闭驱动引导槽510和引导辊520。

所述开闭驱动引导槽510如图5所示，在所述驱动块500的两侧形成，供所述l形运动辊(l-motionroller)420安放，由凸出槽区间511、第一倾斜槽区间512、第二倾斜槽区间513构成。

所述凸出槽区间511如图5所示，作为向封闭方向(c)侧凸出形成的区间，所述l形运动辊(l-motionroller)420如果位于所述凸出槽区间511，则能够以所述行程辊410为中心使所述阀片200保持向开放方向(o)侧倾斜的状态。

所述第一倾斜槽区间512如图5所示，作为从所述凸出槽区间511朝向上方，向开放方向(o)侧倾斜地形成的区间，所述l形运动辊(l-motionroller)420如果位于所述第一倾斜槽区间512的末端部512a，则能够以所述行程辊410为中心，使所述阀片200向封闭方向(c)侧移动，所述阀片200封闭所述流入口110。

所述第二倾斜槽区间513如图5所示，作为从所述凸出槽区间511朝向下方，向开放方向(o)侧倾斜地形成的区间，所述l形运动辊(l-motionroller)420如果位于所述第二倾斜槽区间513的末端部513a，则能够以所述行程辊410为中心，使所述阀片200向封闭方向(c)侧移动，所述阀片200贴紧所述壳100的内部面102。

另一方面，在本发明中，所述引导辊520能旋转地分别安装于所述驱动块500的上部两侧面，为了顺畅的运转，优选具备2个以上，以便所述驱动块500只沿竖直方向运转，不沿水平方向移动。

另外，所述引导辊520在不干涉所述开闭驱动引导槽510的位置形成，在本发明的运转过程中能够引导所述驱动块500沿竖直方向移动。

另一方面，如图3或图4所示，优选在安放于所述开闭驱动引导槽510的所述行程辊410与安装于所述驱动块500一面的弹簧销600之间，具备提供弹力的弹性构件700。

在本发明中，在所述真空阀1运转过程中，当所述阀杆200为了开闭所述流入口110而升降运转时，借助于所述活塞910的升降，所述行程辊410沿着所述行程辊轨道槽810移动，到达后述行程辊轨道槽的末端部810a或上端部810b所述弹性构件700发挥的作用是使所述l形运动辊(l-motionroller)420保持引入所述凸出槽区间511的状态，直到所述阀杆300、l形运动块(l-motionblock)400升降完成时为止。

另外，如图7的(d)所示，所述弹性构件700在所述行程辊410碰到所述行程辊轨道槽810的末端部810a或上端部810b后，因继续升降的活塞910的压力而引起弹性变形，使所述驱动块500升降，使得所述l形运动辊(l-motionroller)420能够位于所述第一倾斜槽区间512的末端部512a或所述第二倾斜槽区间513的末端部513a，从而能够符合本发明意图地实现顺畅的运转。

然后，对引导壳800进行说明。如图3所示，所述引导壳800作为结合于所述阀壳100上部，具有保护并内置所述l形运动块(l-motionblock)400及驱动块500等构成要素的功能的构成要素，在所述引导壳800的两侧内面，分别构成有凹陷形成而以便供所述行程辊410插入移动的行程辊轨道槽810和凹陷形成而以便供所述引导辊52插入移动的引导辊轨道槽820。

然后，对缸900进行说明。如图3所示，所述缸900作为结合于所述引导壳800的上部的构成要素，从所述缸900的内部向外部保持气密地凸出并与驱动块500连接，且具备借助于液压而竖直运动的活塞910。

构成所述缸900并运转的原理属于本发明所属领域公知水平的技术水平，因而省略详细说明。

下面参照图6～图9，对本发明优选实施例的真空阀1的运转状态进行说明。

图6和图7是显示本发明的优选实施例的真空阀1的构成中流入部110封闭形态的运转状态图，图8和图9是显示本发明的优选实施例的真空阀1的构成中流入部110开放形态的运转状态图。

参照图8及图9，说明作为本发明特征的所述流入部110开放、所述阀片200贴紧所述阀壳100的内部面102的过程。

首先，如图8的a所示，所述流入部110在所述活塞910下降完成后，使得所述阀片200的封闭面201贴紧在所述流入部110末端侧周围形成的阀座111而保持封闭状态。

此时，所述行程辊410位于所述行程辊轨道槽810的末端部810a，所述l形运动辊(l-motionroller)420成为位于所述第一倾斜槽区间512的末端部512a的状态，连接于所述l形运动辊(l-motionroller)420与所述弹簧销600之间的所述弹性构件700保持向下方拉伸的状态。

另外，所述波纹管320因所述活塞910下降完成而保持被压缩的状态。

在如上所述的状态下，如果使所述活塞910上升，则所述弹性构件700的拉伸力解除，因而所述驱动块500上升，所述l形运动辊(l-motionroller)420从所述第一倾斜槽区间512的末端部512a向所述凸出槽区间511移动。

在所述l形运动辊(l-motionroller)420从所述凸出槽区间511向所述凸出槽区间511移动的过程中，如图8的(b)所示，所述阀杆300以所述行程辊410为中心，向开放方向(o)水平移动，从直立状态移动到倾斜的状态，与此同时，曾与所述阀座111贴紧的所述阀片200与所述阀杆300一同水平移动，所述流入部110因而开放。

在如上所述的状态下，所述活塞910如果继续上升，则如图9的(c)所示，所述l形运动辊(l-motionroller)420在保持安放于所述凸出槽区间511的状态的同时，所述波纹管320从压缩状态恢复为原状态，所述阀杆300和所述l形运动块(l-motionblock)400及驱动块500上升。

随着所述阀杆300的上升，所述阀片200位于从所述流入部110与流出部120的水平路径摆脱的所述流体移动孔101的上部，从而所述流入部110成为完全开放的状态。

另一方面，所述活塞910继续上升，所述行程辊410成为位于所述行程轨道槽810的上端部810a的状态，在所述行程辊410位于所述行程轨道槽810的上端部810a的状态下，所述活塞910如果继续上升，则所述驱动块500上升，所述l形运动辊(l-motionroller)420从所述凸出槽区间511向所述第二倾斜槽区间513移动，所述l形运动辊(l-motionroller)420与所述弹簧销600之间连接的所述弹性构件700因所述驱动块500的上升而保持向上方拉伸的状态。

在所述l形运动辊(l-motionroller)420从所述凸出槽区间511向所述第二倾斜槽区间513移动的过程中，如图9的(d)所示，所述阀杆300以所述行程辊410为中心，向封闭方向(c)水平移动，在从倾斜状态变更为直立状态的同时，所述阀杆300在摆脱所述流入部110与流出部120水平路径的位置，与所述阀杆300一同水平移动，从而所述阀片200的封闭面201与所述阀壳100的内部面102保持贴紧的状态。

由于如上所述的状态，保持所述阀片200的封闭面201配备的密封圈210的气密，从而从根本上杜绝接触空气及流体，能够增进所述密封圈210的制品性能，延长所述密封圈210的更换周期。

另一方面，所述流入口110的封闭过程如图6或图7所示，按前述所述流入口110的开放过程的相反顺序进行。

另一方面，如图10或图11所示，在形成有所述流入部110的所述阀壳100侧面，构成有钻孔形成的结合孔130，构成有结合于所述结合孔130的阀片清洁引导部1000。

因此，在所述阀片200的封闭面201贴紧所述阀壳100的内部面102的状态下，如果注入经净化的气体，则经净化的气体在经过气体移动孔1100的同时，去除了存在于所述阀片200的封闭面201的工序副产物，从而能够延长所述阀片200及密封圈210的制品寿命。

在附图和说明书中公开了最佳实施例。其中使用了特定的术语，但这只是出于说明本发明的目的而使用的，并非用于意义限定或限制专利要求书中记载的本发明的范围。因此，只要是本技术领域的技术人员便会理解，可以由此导出多样的变形及均等的其它实施例。因此，本发明的真正的技术保护范围应根据附带的权利要求书的技术思想确定。