一种旋转密封装置的制作方法

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种旋转密封装置。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。

晶圆在二流体清洗中，要用真空吸住晶圆并使其旋转，通常使用磁流体旋转装置来完成，虽然磁流体有较好的密封性与旋转速度，但一但水进入磁流体，寿命将大大缩短，为此，提出一种旋转密封装置来解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型提供了一种旋转密封装置，具备良好密封性的优点，以解决传统的晶圆加工用旋转密封装置存在密封性一般，容易进水的问题。

为实现良好密封性的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种旋转密封装置，包括座体与旋转轴，所述旋转轴贯穿设置于座体内，所述旋转轴位于座体左端内部的一段从左至右依次套装有第一油封、轴环、第二油封及第一轴承，所述旋转轴位于座体右端内部的一段从右至左依次套装有第三油封、轴承隔圈及第二轴承；

所述座体的左端部通过螺钉紧固连接有安装支架，所述安装支架上固定安装有电感式传感器，所述旋转轴的左端插接有传感器感应块，且传感器感应块与电感式传感器的位置相对应，所述旋转轴的右端部套装有真空吸盘。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述座体的左侧开口处通过螺钉固定安装有第一密封端盖，所述座体的右侧开口处通过螺钉固定安装有第二密封端盖，且第二密封端盖延伸至座体内的一端上套装有第一密封圈。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述座体的左端开设有真空吸出口，所述旋转轴位于座体右端内部的一段上依次设有径向真空通道与纵向真空通道，且径向真空通道与纵向真空通道相互贯通，所述径向真空通道与真空吸出口的位置相对应。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述座体的右端开设有润滑液供应口，所述轴环上开设有径向贯穿孔，且径向贯穿孔与径向真空通道的位置相对应。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述旋转轴套装第一轴承的一段上套装有第一轴用挡圈，且第一轴用挡圈位于第一轴承的左右两侧，所述旋转轴套装第二轴承的一段上套装有第二轴用挡圈，且第二轴用挡圈位于第二轴承的左右两侧

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述旋转轴套装在真空吸盘内的一段上套装有第二密封圈，所述真空吸盘内开设有真空吸入口，所述真空吸入口与纵向真空通道相互贯通。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种旋转密封装置，具备以下有益效果：

1、该旋转密封装置，在使用时，通过真空吸盘吸住晶圆，利用外部电机带动旋转轴转动，使真空吸住的晶圆随之一起旋转，在旋转轴转动的过程中，第一油封、第二油封用于真空密封，第三油封用于隔离外界水及水汽，起到保护第一轴承和第二轴承的目的，能够大大提高密封性，达到良好密封性能的效果，避免了晶圆清洗时，旋转轴与座体的连接部容易进水，从而导致旋转轴与座体配合不佳、影响旋转速度进而导致使用寿命短的问题。

2、该旋转密封装置，在旋转轴转动的过程中，电感式传感器和传感器感应块用于旋转轴的角度定位测量，若电感式传感器的探测端触碰到传感器感应块会采集旋转轴的位移量并获取信息，利用电感式传感器，能够获取旋转轴的位移参数。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖视图；

图3为本实用新型的分解图。

图中：1、座体；2、旋转轴；3、第一油封；4、轴环；5、第二油封；6、第一轴承；7、第三油封；8、轴承隔圈；9、第二轴承；10、安装支架；11、电感式传感器；12、传感器感应块；13、真空吸盘；14、第一密封端盖；15、第二密封端盖；16、第一密封圈；17、真空吸出口；18、径向真空通道；19、纵向真空通道；20、润滑液供应口；21、径向贯穿孔；22、第一轴用挡圈；23、第二轴用挡圈；24、第二密封圈；25、真空吸入口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图3，本实用新型公开了一种旋转密封装置，包括座体1与旋转轴2，所述旋转轴2贯穿设置于座体1内，所述旋转轴2位于座体1左端内部的一段从左至右依次套装有第一油封3、轴环4、第二油封5及第一轴承6，所述旋转轴2位于座体1右端内部的一段从右至左依次套装有第三油封7、轴承隔圈8及第二轴承9，在使用时，通过真空吸盘13吸住晶圆，利用外部电机带动旋转轴2转动，使真空吸住的晶圆随之一起旋转，在旋转轴2转动的过程中，第一油封3、第二油封5用于真空密封，第三油封7用于隔离外界水及水汽，起到保护第一轴承6和第二轴承9的目的，能够大大提高密封性，达到良好密封性能的效果，避免了晶圆清洗时，旋转轴2与座体1的连接部容易进水，从而导致旋转轴2与座体1配合不佳、影响旋转速度进而导致使用寿命短的问题；

所述座体1的左端部通过螺钉紧固连接有安装支架10，所述安装支架10上固定安装有电感式传感器11，所述旋转轴2的左端插接有传感器感应块12，且传感器感应块12与电感式传感器11的位置相对应，所述旋转轴2的右端部套装有真空吸盘13，在旋转轴2转动的过程中，电感式传感器11和传感器感应块12用于旋转轴2的角度定位测量，若电感式传感器11的探测端触碰到传感器感应块12会采集旋转轴2的位移量并获取信息，利用电感式传感器11，能够获取旋转轴2的位移参数，电感式传感器11的工作原理是电磁感应，它是把被测量如位移等，转换为电感量变化的一种装置，电感式传感器11的型号为倍加福nbb2-8gm25-e2-v3。

具体的，所述座体1的左侧开口处通过螺钉固定安装有第一密封端盖14，所述座体1的右侧开口处通过螺钉固定安装有第二密封端盖15，且第二密封端盖15延伸至座体1内的一端上套装有第一密封圈16，第一密封端盖14和第二密封端盖15起到封装座体1的作用，第一密封圈16起到初步防水的作用。

具体的，所述座体1的左端开设有真空吸出口17，所述旋转轴2位于座体1右端内部的一段上依次设有径向真空通道18与纵向真空通道19，且径向真空通道18与纵向真空通道19相互贯通，所述径向真空通道18与真空吸出口17的位置相对应，通过真空吸出口17接入负压机从而引入负压，径向真空通道18与纵向真空通道19用于为真空吸盘13产生吸力的送气通道。

具体的，所述座体1的右端开设有润滑液供应口20，所述轴环4上开设有径向贯穿孔21，且径向贯穿孔21与径向真空通道18的位置相对应，润滑液供应口20起到可根据使用情况，通过外部润滑液设备不定期地向座体1内通入一定量的润滑液从而保障第一轴承6和第二轴承9的顺畅运动。

具体的，所述旋转轴2套装第一轴承6的一段上套装有第一轴用挡圈22，且第一轴用挡圈22位于第一轴承6的左右两侧，所述旋转轴2套装第二轴承9的一段上套装有第二轴用挡圈23，且第二轴用挡圈23位于第二轴承9的左右两侧，第一轴用挡圈22和第二轴用挡圈23主要是起到分别限定第一轴承6和第二轴承9的位置的作用。

具体的，所述旋转轴2套装在真空吸盘13内的一段上套装有第二密封圈24，所述真空吸盘13内开设有真空吸入口25，所述真空吸入口25与纵向真空通道19相互贯通，第二密封圈24用于保障旋转轴2与真空吸盘13连接处的密封性，当负压依次经真空吸出口17、径向贯穿孔21、径向真空通道18及纵向真空通道19通入至真空吸盘13内后从真空吸入口25引出进而吸取晶圆。

本实用新型的工作原理及使用流程：在使用时，通过真空吸出口17接入负压机从而引入负压，当负压依次经真空吸出口17、径向贯穿孔21、径向真空通道18及纵向真空通道19通入至真空吸盘13内后从真空吸入口25引出进而吸取晶圆，通过真空吸盘13吸住晶圆，利用外部电机带动旋转轴2转动，使真空吸住的晶圆随之一起旋转，在旋转轴2转动的过程中，第一油封3、第二油封5用于真空密封，第三油封7用于隔离外界水及水汽，起到保护第一轴承6和第二轴承9的目的，能够大大提高密封性，而在旋转轴2转动的过程中，电感式传感器11和传感器感应块12用于旋转轴2的角度定位测量，若电感式传感器11的探测端触碰到传感器感应块12会采集旋转轴2的位移量并获取信息，利用电感式传感器11，能够获取旋转轴2的位移参数。

综上所述，该旋转密封装置，在使用时，通过真空吸盘13吸住晶圆，利用外部电机带动旋转轴2转动，使真空吸住的晶圆随之一起旋转，在旋转轴2转动的过程中，第一油封3、第二油封5用于真空密封，第三油封7用于隔离外界水及水汽，起到保护第一轴承6和第二轴承9的目的，能够大大提高密封性，达到良好密封性能的效果，避免了晶圆清洗时，旋转轴2与座体1的连接部容易进水，从而导致旋转轴2与座体1配合不佳、影响旋转速度进而导致使用寿命短的问题；在旋转轴2转动的过程中，电感式传感器11和传感器感应块12用于旋转轴2的角度定位测量，若电感式传感器11的探测端触碰到传感器感应块12会采集旋转轴2的位移量并获取信息，利用电感式传感器11，能够获取旋转轴2的位移参数。

需要说明的是，在本文中，诸如术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。