专利名称：可拆卸式高温超高真空隔离密封技术的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空技术，具体地说是一种可拆卸的超高真空隔离密封方式。
高温超高真空隔离密封是高温气相氢渗透技术中的关键技术，它要求在高温状态下两个腔室之间，以及两个腔室与大气之间都达到超高其空(10-6pa以上)密封，而且样品要便于更换。文献中已公开的密封方式有1.焊接密封，这种密封方式，其缺点力样品焊缝附近总有一定热影响区，会使这一区域样品组织发生变化，影响氢渗透；样品表面不易进行抛光与电镀等处理；有效氢渗透面积不易测量；焊接过程麻烦，费时，实验周期长等。2.垫圈密封，它是把平面试样或带刀口平面试样与一个或2个铜垫圈一起夹于两个不锈钢刀口法兰之间，这种密封方式一般只适用于硬度较低的试样，且真空度只能达到10-3-10-4pa，达不到超高真空密封；由于带刀口样品加工较困难，厚度受到限制，样品加工后也不易进行抛光之类的处理，因此使用也受到限制。
本发明的目的是针对上述存在的缺点，提供一种易于样品表面处理，卸装方便，真空密封效果好的技术。
本发明的目的是采用如下方案实现的置放于两不锈钢直角法兰凹凸台间的是，每面附加一金丝圈的周边整齐平面圆片试样。圆片试样的边沿附近不得有缺口、裂纹或重划痕，表面光洁度8以上；金丝圈为焊接而成，焊接接头应无明显突出；直角法兰密封口光洁度为8。
本发明给出的密封方式具有如下优点密封操作简单方便，缩短了实验周期，提高了工作效率，更换一次样品一般只需一个小时，实验人员可独立完成。密封性能可靠，经检查此种密封方式漏事小于5×10-9pa·l/s，可抽至10-8pa极限真空度，可长时间反复加热到450℃，短时间加热到600℃而不漏气。便于样品表面加工与表面处理，平面试样可以很容易地通过冷轧、研磨、线切割等工艺制得。这种密封方式对样品表面毫无损伤，便于精确测量样品的有效暴露面积，克服了焊接密封焊缝热影响区的影响。应用范围广，适用于密封各种金属及合金样品。
附图
为本发明的密封方式示意图。
图中的1为法兰，2为试样，3为金丝圈。
在实施过程中，首先根据实验要求和样品材料类型，确定圆片试样的直径，再根据样品尺寸设计不锈钢超高真空直角法兰，密封口光洁度为8。金丝圈外径同法兰密封口直径，由φ1纯金丝焊接而成；也可采用银丝焊成。密封法兰按常规超高真空部件加工，除油清洗后用氩弧焊焊于系统中。试样可根据密封要求或试验要求，选用不锈钢或合金钢、铁等金属片。试样通常采用冷轧或磨床加工成0.1～1.0mm厚薄板，然后用线切割加工成所需尺寸的圆片。注意，试样周边要整齐，边沿附近不得有缺口、裂纹或重划痕。金丝圈焊接头处不得有明显突出，焊接直径稍小于设计直径。
安装前需进行的准备是试样抛光先用水砂纸将试样两面磨光到8左右，再用金相砂纸抛光至5#纸或电解抛光。试样电镀(氢渗透所需要)试样抛光后用无水乙醇彻底清洗，立即置于镀杯内双面镀钯，厚度0.1μm。金丝圈退火与整形用酒精灯给金丝圈退火，然后在专用模具上整形，使其外径达设计值。清洗用脱脂棉和无水乙醇擦洗密封法兰密封口及金丝圈，注意不得残留棉纤维。
安装时，用清洁的不锈钢摄予，先将一只金丝圈置于法兰密封口内，然后放入圆片试样，再置放一只金丝圈，紧固两个法兰，使金丝圈压扁至0.4～0.6mm厚。
权利要求
1.可拆卸式高温超高真空隔离密封技术，其特征是置放于两不锈钢直角法兰(1)凹凸台间的是，每面附加一金丝圈(3)的周边整齐平面圆片试样(2)。
2.按照权利要求1所述的密封技术，其特征是金丝圈(3)外径同法兰(1)密封口直径，由φ1纯金丝焊接而成；
3.按照权利要求1所述的密封技术，其特征是试样(2)通常采用冷轧或磨床加工成0.1～1.0mm厚薄板，然后用线切割加工成所需尺寸的圆片。
全文摘要
本发明涉及真空技术，具体地说是一种可拆卸的超高真空隔离密封方式。其特征是置放于两不锈钢直角法兰凹凸台间的是，每面附加一金丝圈的周边整齐平面圆片试样。它具有如下优点密封操作简单方便，密封性能可靠，便于样品表面加工与表面处理，样品表面毫无损伤，应用范围广。
文档编号F16J15/00GK1118419SQ93111200
公开日1996年3月13日 申请日期1993年6月9日 优先权日1993年6月9日
发明者孙秀魁, 徐坚 申请人:中国科学院金属研究所