电子特气充装返料装置的制作方法

本发明涉及高压高纯气体充装设备，特别涉及一种电子特气充装返料装置。

背景技术：

高纯气体是指纯度≥99.999％的气体，包括高纯氮气、氩气、氢气、氦气等，其中以高纯氮气、氩气在工业上用途最为广泛。高纯气体充装时，要求杂质总含量。为了保证灌装气体的质量，传统方法是先检查灌装瓶中杂质，将杂质含量合格的灌装瓶与充装排连接，高纯气体充装需要多个工序才能完成，不仅成本高，运转也费时费力；进一步有采用低压纯化，高压膜压机升压来充装高纯气体，但这种充装工艺只能对少量的高纯气体进行充装，无法满足大规模的生产需求。

技术实现要素：

为克服现有技术中的不足，本发明提供一种结构简单、设计新颖合理的电子特气充装返料装置，使用效果好，可直接进行采样、返料处理，减少充装工序，节省成本。

本发明的技术方案：一种电子特气充装返料装置，包含充装排、灌装瓶和安装在充装排入口的充装阀，所述充装排包含充装管路、取样管路及返料管路，所述返料管路一端与充装管路连通，另一端通过返料阀与充装管路入口连接，取样管路通过取样阀与充装管路连接。

上述的，所述取样管路连接有取样分析仪。

上述的，所述充装管路上还设置有真空泵，所述真空泵设在充装阀与取样管路之间。

本发明的有益效果：

本发明结构简单、设计新颖合理，与现有技术相比，能够直接在一套设备上完成充装、返料、取样工序，有效节约了高纯气体资源，提高工作效率，节省设备成本，满足高纯气体大流量生产的需求，易于推广实施，具有较好的社会和经济效益。

附图说明

图1为本发明结构示意图。

具体实施方式：

图中标号11代表灌装瓶，标号2代表充装管路，标号3代表真空泵，标号4代表取样分析仪，标号5代表取样阀，标号6代表充装阀，标号7代表返料阀，标号8代表返料管道，标号9代表取样管道。

下面结合附图和技术方案对本发明作进一步详细的说明，并通过优选的实施例详细说明本发明的实施方式，但本发明的实施方式并不限于此。

实施例一：参见图1所示，一种电子特气充装返料装置，包含充装排、灌装瓶和安装在充装排入口的充装阀，所述充装排包含充装管路、取样管路及返料管路，所述返料管路一端与充装管路连通，另一端通过返料阀与充装管路入口连接，取样管路通过取样阀与充装管路连接，与现有技术相比，能够直接在一套设备上完成充装、返料、取样工序，有效节约了高纯气体资源，提高工作效率，节省设备成本。

上述的，所述取样管路连接有取样分析仪，通过取样管道取样并检测产品的纯度，提高工作效率。

上述的，所述充装管路上还设置有真空泵，所述真空泵设在充装阀与取样管路之间。灌装瓶进行高纯气体充装前，不需进行空瓶杂质检验；真空泵对充装管路及灌装瓶抽真空；在充装过程中，可通过取样管路对高纯气体进行取样 检测分析，进一步控制杂质含量；通过返料管路，使得多余气体等能够返回，进一步减少高纯气体资源的浪费，节省成本。

本发明并不局限于上述具体实施方式，本领域技术人员还可据此做出多种变化，但任何与本发明等同或者类似的变化都应涵盖在本发明权利要求的范围内。