一种移动替换型在线氮气吹扫装置的制作方法

本实用新型涉及一种惰性气体吹扫装置，尤其是在离线又需求高纯惰性气体吹扫的状况下，提出一种移动替换型在线氮气吹扫装置。

背景技术：

电子工业中由于产业产品的需要，生产设备需要使用有害气体，腐蚀性气体以及化学用品。这些设备经常在更换产品时或者设备移位或废弃处置时需要对该种设备用惰性气体对设备进行吹扫，以排除残存的有害物质和化学物质。常规的做法是工厂都装备有固定的惰性气体端口，只要连接上该装置就可以实现吹扫之目的，但是在有些情况下无法用上固有装置又必须进行上述的吹扫。此时就需要有一种可以移动、可靠、且输出惰性气体的装置，以达到吹扫的目的。

技术实现要素：

本实用新型提出一种移动替换型在线氮气吹扫装置，是一种可以移动、可靠、且输出惰性气体的装置，达到氮气吹扫的目的。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种移动替换型在线氮气吹扫装置，包括：

供气容器，其连接有过滤器和第一手动阀；

氮气纯化管路，其包括连接于所述第一手动阀的第二手动阀，以及后续依次连接的调压阀、第三手动阀、线上纯化器、第四手动阀、第五手动阀，最后通过止回阀连接于氮气吹扫出口；

排气管路，其包括连接于所述第一手动阀的第六手动阀和排气出口。

进一步的，所述调压阀和第三手动阀之间连接有安全泄放阀。

进一步的，所述调压阀设置有两个压力表。

进一步的，该装置包括移动式小车，所述供气容器、氮气纯化管路和排气管路设置于所述移动式小车上。

进一步的，所述线上纯化器配备双纯化器可交替使用。

进一步的，所述线上纯化器根据待吹扫的内容定制配备。

进一步的，所述线上纯化器为可再生纯化器。

进一步的，所述线上纯化器输出口氮气的纯化规格为：氮气纯度为99.999％，含水量≤10ppb，含氧量≤10ppb，CO≤10ppb，CO₂≤10ppb，0.1μm颗粒≤1个/立方英尺，出气量≤300升/分。

进一步的，所述线上纯化器的寿命为1年/每天8小时作业。

本实用新型提出的移动替换型在线氮气吹扫装置，是一种可以移动、可靠、且输出惰性气体的装置，达到氮气吹扫的目的。本实用新型提供一个移动式小车，配备双纯化器可交替使用，使用周期长。纯化器可根据待吹扫的内容定制配备，纯化器可再生，是一种移动替换型离线氮气吹扫装置。

本实用新型具有以下优点：

1.小推车型，移动方便；

2.体积小，易于操作，方便进入各种复杂环境，并可设置多台同时进行作业；

3.吹扫系统中阀组调压范围大，可适用于各种压力环境并可同时满足特气和化学品压力之需求；

4.易于维护，阀组各部件均能方便拆换；

5.纯化器可方便拆下进行再生，由于是替换式，一个纯化器再生时另一个可替换使用，因此可连续作业。

附图说明

图1所示为本实用新型较佳实施例的移动替换型在线氮气吹扫装置结构示意图。

图2和图3所示为本实用新型较佳实施例的移动替换型在线氮气吹扫装置外形图。

图4所示为本实用新型较佳实施例的移动替换型在线氮气吹扫装置气体管路结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图给出本实用新型的具体实施方式，但本实用新型不限于以下的实施方式。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图1和图4，图1所示为本实用新型较佳实施例的移动替换型在线氮气吹扫装置结构示意图。图4所示为本实用新型较佳实施例的移动替换型在线氮气吹扫装置气体管路结构示意图。本实用新型提出一种移动替换型在线氮气吹扫装置，包括：供气容器GN2，其连接有过滤器GF1和第一手动阀MV1；氮气纯化管路，其包括连接于所述第一手动阀MV1的第二手动阀MV2，以及后续依次连接的调压阀REG、第三手动阀MV3、线上纯化器Purifier、第四手动阀MV4、第五手动阀MV5，最后通过止回阀CV1连接于氮气吹扫出口Purge PN2OUT；排气管路，其包括连接于所述第一手动阀MV1的第六手动阀MV6和排气出口VENT。

所述调压阀REG和第三手动阀MV3之间连接有安全泄放阀SRV(SafetyRelief Valve)。所述调压阀REG设置有两个压力表。所述供气容器GN2采用杜瓦罐。杜瓦罐，是采用超级真空绝热的不锈钢压力容器，是为储存、运输和使用液氧、液氮、液氩或二氧化碳而设计的。杜瓦罐有两个主要的优点：第一个是，同压缩气体钢瓶相比它能够在相对低的压力下容纳大量的气体。第二个是它提供了容易操作的低温液体源。

图2和图3所示为本实用新型较佳实施例的移动替换型在线氮气吹扫装置外形图。该装置包括移动式小车，所述供气容器、氮气纯化管路和排气管路设置于所述移动式小车上。所述小车的尺寸为1415*600*562mm，所述气体管路部分的尺寸为750*550mm。

所述线上纯化器配备双纯化器可交替使用。所述线上纯化器根据待吹扫的内容定制配备。进一步的，所述线上纯化器为可再生纯化器。

所述线上纯化器输出口氮气的纯化规格为：氮气纯度为99.999％，含水量≤10ppb，含氧量≤10ppb，CO≤10ppb，CO2≤10ppb，0.1μm颗粒≤1个/立方英尺，出气量≤300升/分。

进一步的，所述线上纯化器的寿命为1年/每天8小时作业。

综上所述，本实用新型提出的移动替换型在线氮气吹扫装置，是一种可以移动、可靠、且输出惰性气体的装置，达到氮气吹扫的目的。本实用新型提供一个移动式小车，配备双纯化器可交替使用，使用周期长。纯化器可根据待吹扫的内容定制配备，纯化器可再生，是一种移动替换型离线氮气吹扫装置。

本实用新型具有以下优点：

1.小推车型，移动方便；

2.体积小，易于操作，方便进入各种复杂环境，并可设置多台同时进行作业；

3.吹扫系统中阀组调压范围大，可适用于各种压力环境并可同时满足特气和化学品压力之需求；

4.易于维护，阀组各部件均能方便拆换；

5.纯化器可方便拆下进行再生，由于是替换式，一个纯化器再生时另一个可替换使用，因此可连续作业。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。