专利名称：插入体和具有它的电子部件处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在存放被试验部件的状态下，能把所述被试验部件提供给基于电子部件试验装置的试验的电子部件存放体(插入体)、以及利用它的电子部件处理装置。
背景技术：
在本导体器件等的制造过程中，需要用于试验IC器件等电子部件的性能或功能等的电子部件试验装置。作为这样的电子部件试验装置的一例，众所周知的有由电子部件处理装置、电子部件接触装置和试验用主装置构成的电子部件试验装置。
作为电子部件处理装置的一例，众所周知的有在被试验IC器件上外加低温、高温等各种温度应力后安装到插座(socket)上，并且按照试验结果把试验完毕的IC器件分类存放的、被称作处理机(handler)的IC器件处理装置。另外，作为电子部件接触装置的一例，通过插座和测试头使被试验IC器件接触试验用主装置(电连接)的IC器件接触装置。
使用处理机的IC器件的试验例如按如下进行。把被试验IC器件输送到具有IC插座的测试头的上方后，通过推动器按压，安装到IC插座上。据此，IC插座的连接端子与被试验IC器件的外部端子接触，被试验IC器件通过IC插座和测试头电连接在试验用主装置上。而且，把从试验用主装置通过电缆提供给测试头的测试信号外加到被试验IC器件上，并且把从被试验IC器件读出的响应信号通过测试头发送给试验用主装置，从而测定被试验IC器件的电特性。
在使用处理机的IC器件的试验中，被试验IC器件存放在托盘中，输送到处理机内，试验结束后，把各IC器件按照各自的试验结果放到不同类别的托盘中。当试验前和试验后的用于存放IC器件的托盘(以下也称作客户托盘)与在处理机内循环输送的托盘(以下称作测试托盘)的类型不同时，在试验的前后，在客户托盘和测试托盘之间进行IC器件的换乘。
在测试托盘之中安装多个称作插入体的电子部件存放体，被试验IC器件存放在测试托盘上安装的插入体中，输送到测试头，在存放在插入体中的状态下按压测试头。如果使用安装多个插入体的测试托盘，就能同时测定多个IC器件。
在插入体中，与被试验IC器件的封装类型等对应而存在各种构造。例如，如图19所示，在存放BGA型IC器件等区域阵列型电子部件的插入体16的插入体主体17中形成把被试验IC器件2向引导核心18引导(guide)的器件引导部171a，IC器件2由器件引导部171a引导，存放到引导核心18中。在引导核心18的下端形成开口部182，从而使IC器件2的外部端子22在插座的连接端子方向露出，由开口部182的周围部支撑IC器件2的外部端面(IC器件2的封装主体外表面中的外部端子22排列的面)。
另外，在插入体16中设置防止存放在引导核心18中的IC器件2的飞出或位置偏移的闩锁机构(例如特开2001-33518号公报)，该闩锁机构具有闩锁175，在闩锁175的一端形成闩锁部175b，臂部175d、175e连接在其上，在臂部175d上设置力点175a。在臂部75d上形成成为旋转中心的通孔175f，通过在在此插入销，闩锁175由插入体主体17支撑，可以旋转。在该闩锁机构中，伴随着杆板19对插入体主体17的接近，如果从力点175a输入外力，则闩锁部175b如图19(a)所示，移动到覆盖存放在引导核心18中的器件2的上表面，防止IC器件2的飞出或位置偏移(关闭位置)，而伴随着杆板19从插入体主体17背离，解除对力点175a的外力输入，则闩锁部175b如图19(b)所示，从存放在引导核心18中的器件2的上表面退开，移动到IC器件2的出入成为可能的位置(打开位置)。
发明内容
在插入体16中，如图19所示，插入体主体17和引导核心18成为一体，引导核心18是不能更换的。按照引导核心18的构造决定能存放在插入体16中的IC器件的尺寸，所以除了核心18的更换是不可能的，能存放在插入体16中的IC器件的尺寸也受限制，对于每个不同的IC器件尺寸有必要制作不同的插入体16。可是，插入体16的引导核心18以外的构造与IC器件的尺寸无关，几乎可以为相同的，所以对于每个不同的IC器件尺寸制作不同的插入体是低效的。
另外，当在插入体16中能存放多种尺寸的IC器件时，能对应于多种尺寸的IC器件的闩锁机构即闩锁部175b的开关量(打开位置和关闭位置之间的移动量)大的闩锁机构成为必要的。如果增大闩锁175的旋转角度，就能增大闩锁部175b的开关量。可是，在图19所示的闩锁175中，在臂部175d上设置杆板19作用的力点175a，所以接近插入体主体17的杆板19不仅作用于力点175a，也与臂部175d、175e干涉，臂部175d、175e的旋转由杆板19限制。如果臂部175d、175e的旋转被限制，则闩锁部175b的旋转也受限制，所以无法增大闩锁部175b的旋转角度。
因此，本发明的第一目的在于提供可插拔地安装在插入体主体上的引导核心。
另外，本发明的第二目的在于提供可插拔地安装引导核心的插入体主体。
另外，本发明的第三目的在于提供具有能可插拔地安装引导核心，并且闩锁部的开关量大，能对应于多种尺寸的IC器件的闩锁机构的插入体主体。
另外，本发明的第四目的在于提供具有所述引导核心和所述插入体主体的插入体、以及具有该插入体的电子部件处理装置。
为了实现所述目的，由本发明提供的引导核心、插入体主体、插入体和电子部件处理装置具有以下的特征。
(1)本发明的引导核心可插拔地安装在插入体主体上，其特征在于包括为了使区域阵列型电子部件的外部端子向插座的连接端子方向露出，支撑所述区域阵列型电子部件的外部端子面的支撑部；能够可装卸地与所述插入体主体所具有的钩部配合的钩承部。
在本发明中，“插入体”意味着在存放被试验电子部件的状态下，能把该被试验电子部件提供给基于电子部件试验装置的试验的电子部件存放体，“插入体主体”意味着能安装引导核心，并且能把被试验电子部件引导(guide)到安装的引导核心的插入体构成构件，“引导核心”意味着支撑该被试验电子部件，从而能把被试验电子部件提供给基于电子部件试验装置的试验的插入体构成构件。须指出的是，关于“插入体”、“插入体主体”以及“引导核心”的定义并不限定插入体、插入体主体以及引导核心具有的功能。
本发明的引导核心安装在插入体主体上，通过插入体主体把被试验电子部件引导(guide)到安装在插入体主体上的引导核心中。而且，被试验电子部件由引导核心的支撑部支撑被试验电子部件，使其外部端子向插座的连接端子方向露出。据此，在由引导核心支撑被试验电子部件的状态下，把该被试验电子部件的外部端子连接在插座的连接端子上，能进行该被试验电子部件的试验。
成为本发明的引导核心的对象的电子部件是区域阵列型电子部件。在此“区域阵列型电子部件”意味着在电子部件的封装主体的外表面配置外部端子(例如矩阵状)的电子部件，并未特别限定其种类，但是作为代表的具体例，能列举出BGA(ball grid array)、LGA(landgrid array)、PGA(pin grid array)、CSP(chip size package)等IC器件。另外，区域阵列型电子部件的外部端子的形状并未特别限定，例如能列举出球、凸台、针等形状的外部端子。另外，“区域阵列型电子部件的外部端子面”意味着区域阵列型电子部件的封装主体的外表面中外部端子排列的面。
本发明的引导核心的支撑部的构造只要能支撑区域阵列型电子部件的外部端子面，使区域阵列型电子部件的外部端子向插座的连接端子方向露出，就未特别限定。作为这样的构造的具体例，列举出以下构造具有使区域阵列型电子部件的外部端子向插座的连接端子方向露出的开口部，由开口部周围支撑区域阵列型电子部件的外部端子面。
本发明的引导核心具有的钩承部只要能与插入体主体具有的钩部可脱开配合地配合，从而使引导核心可插拔地安装在插入体主体上，就未特别限定。另外，只要能通过钩部和钩承部的配合，把引导核心安装到插入体主体上，就未特别限定钩承部的位置和个数。例如，通过在支撑部的周围相对的位置分别设置1以上的钩承部，能以稳定的状态把本发明的引导核心安装到插入体主体上。
通过插入体主体的钩部和引导核心的钩承部配合，本发明的引导核心安装到插入体主体上，并且通过解除插入体主体的钩部和引导核心的钩承部的配合，从插入体主体脱开。因此，如果利用本发明的引导核心，就能制作可更换引导核心的插入体。而且，在利用本发明的引导核心的插入体中，通过只更换引导核心，就能存放多种尺寸的电子部件。
(2)在所述(1)所述的引导核心的首选形态中，所述引导核心具有所述钩部能进入的钩进入孔，所述钩承部设置为能与进入所述钩进入孔中的所述钩部配合。
本形态的引导核心具有的钩进入孔只要插入体主体具有的钩部能进入，就未特别限定其形状、构造、大小、位置等，能按照插入体主体具有的钩部的形状、构造、大小、位置等，适当决定。作为钩进入孔，能列举出凹部或贯通孔。钩进入孔例如在设置在支撑部的周围的凸缘的相对的位置上分别设置一个以上。
在本形态的引导核心中，只要钩承部能与进入钩进入孔的钩部配合，就未特别限定设置钩承部的位置。钩承部能设置在钩进入孔的出口附近，从而与钩进入孔的内侧面连续。
在本形态的引导核心中，设置为钩承部能与进入钩进入孔的钩部配合，所以能把引导核心接近安装到插入体主体上。据此，能可靠地从插入体主体向引导核心引导电子部件。
(3)在所述(1)或(2)记载的引导核心的首选形态中，所述引导核心具有用于嵌插对所述插座进行所述引导核心的定位的导轴的导轴嵌插孔。
在本形态的引导核心中，通过把设置在插座一侧的(例如设置在插座引导部的)导轴嵌插到导轴嵌插孔中，能进行引导核心对插座的正确定位。据此，进行由引导核心支撑的被试验电子部件对插座的正确定位，能可靠连接被试验电子部件的外部端子和插座的连接端子。
(4)本发明的插入体主体可插拔地安装所述(1)～(3)中的任意一项所述的引导核心，其特征在于包括具有安装所述引导核心的引导核心安装口、为了把电子部件向安装在所述引导核心安装口上的所述引导核心引导而与所述引导核心安装口连通的电子部件进入口的电子部件引导部；可装卸地与所述引导核心具有的钩承部配合的钩部。
在本发明的插入体主体中，电子部件引导部具有引导核心安装口和电子部件进入口，引导核心安装口和电子部件进入口连通，从而把从电子部件进入口进入的电子部件向安装在引导核心安装口上的引导核心进行引导(guide)。
在本发明的插入体主体的引导核心安装口中安装引导核心，把由插入体主体的电子部件引导部引导的被试验电子部件搬入安装在引导核心安装口中的引导核心中。而且，被试验电子部件在由引导核心支撑的状态下，提供给基于电子部件试验装置的试验。试验完毕的电子部件由电子部件引导部引导，从电子部件进入口搬出到插入体主体外。
本发明的插入体主体的钩部的构造只要能把引导核心可插拔地安装在插入体主体上，可装卸地与引导核心具有的钩承部配合，就未特别限定。另外，能按照引导核心具有的钩承部的位置和个数，适当决定钩部的位置和个数在本发明的插入体主体中，通过插入体主体的钩部和引导核心的钩承部配合，把引导核心安装在插入体主体上，并且通过解除插入体主体的钩部和引导核心的钩承部的配合，引导核心从插入体主体脱开因此，如果利用本发明的插入体主体，就能制作能更换引导核心的插入体。在利用本发明插入体主体的插入体中，只通过更换引导核心，能存放多种尺寸的被试验电子部件。
(5)在所述(4)记载的插入体主体的首选形态中，所述钩部设置为能进入所述引导核心具有的钩进入孔，并且在进入所述钩进入孔的状态下能与所述钩承部配合。
本形态的插入体主体具有的钩部只要能进入引导核心具有的钩进入孔，在进入该钩进入孔的状态下能与所述钩承部配合，就未特别限制其形状、构造、大小、位置等，能按照引导核心具有的钩进入孔和钩承部的形状、构造、大小、位置等，适当决定。
在本形态的插入体主体中，钩部在进入该钩进入孔的状态下能与所述钩承部配合，所以能使引导核心接近安装在插入体主体上。据此，能从插入体主体向引导核心可靠地引导电子部件。
须指出的是，当在钩进入孔的输出附近设置有钩承部时，有时钩部在从钩进入孔的出口飞出的状态下与钩承部配合，但是即使是这样的状态，只要钩部在从钩进入孔的入口进入的状态下与钩承部配合，就包含在“在进入钩进入孔的状态下与钩承部配合”中。
(6)在所述(4)或(5)记载的插入体主体的首选形态中，所述钩部设置为能向与所述钩进入孔配合的方向移动。
在本形态的插入体主体中，通过使钩部向与所述钩进入孔配合的方向移动，能把引导核心安装在插入体主体上，并且通过使钩部向与此相反的方向(解除与钩承部的配合的方向)移动，能从插入体主体把引导核心脱开，所以能容易地进行引导核心对插入体主体的安装和取下(更换)。
(7)在所述(6)记载的插入体主体的首选形态中，设置所述钩部使其能以旋转轴为中心旋转。
在本形态的插入体主体中，钩部以旋转轴为中心在一定轨道上移动，所以能容易并且可靠地使钩部向与钩承部配合的方向移动，并且能容易并且可靠地使钩部向与此相反的方向(解除与钩承部的配合的方向)移动。据此，能容易并且可靠地进行引导核心对插入体主体的安装和取下(更换)。
(8)在所述(6)或(7)记载的插入体主体的首选形态中，所述钩部通过弹性构件，靠向与所述钩承部配合的方向。
在本形态的插入体主体中，只要能使钩部靠向与钩承部配合的方向，就未特别限定弹性构件的种类、设置弹性构件的位置。作为弹性构件，例如能使用扭簧等弹簧。
在本形态的插入体主体中，通过弹性构件的靠向力，钩部和钩承部的配合变得牢固，能以稳定的状态对插入体主体安装引导核心。
(9)在所述(8)记载的插入体主体的首选形态中，所述插入体主体具有限制所述钩部向与所述钩承部配合的方向的移动或转动的阻挡部。
在本形态的插入体主体中，在未安装引导核心的状态下，也能把钩部保持在阻挡部。
在本形态的插入体主体中，当使钩部和钩承部配合时，对保持在阻挡部的钩部作用外例，使该钩部向解除与钩承部的配合的方向移动或转动后，使引导核心移动到插入体主体的引导核心安装口，解除外力。解除外力的钩部通过弹性构件的靠向力向与钩承部配合的方向移动或转动，与钩承部配合。这时，在钩部向与钩承部配合的方向的移动或转动由阻挡部限制之前的阶段中，与钩承部配合，或在向与钩承部配合的方向的移动或转动由阻挡部限制的状态下，与钩承部配合。
在本形态的插入体主体中，阻挡部的构造只要能限制钩部的移动或转动，就未特别限定。另外，阻挡部的位置只要不妨碍钩部和钩承部的配合，就未特别限定。
(10)在所述(9)记载的插入体主体的首选形态中，所述插入体主体具有设置在所述钩部上的夹具支撑部，即受到基于夹具的按压，使所述钩部向解除与所述钩承部的配合的方向移动或转动的所述夹具支撑部。
在本形态的插入体主体中，夹具支撑部的形状、构造等只要受到基于夹具的按压，能使钩部向解除与钩承部的配合的方向移动或转动，就未特别限定。另外，夹具的形状、构造只要能按压夹具支撑部，就未特别限定。作为夹具，例如使用具有能按压夹具支撑部的轴的夹具。
在本形态的插入体主体中，夹具支撑部设置在钩部上，能与钩部一起移动或转动，如果夹具支撑部受到基于夹具的按压，钩部就向解除与钩承部的配合的方向移动或转动。然后，如果解除基于夹具的按压力，钩部通过弹性构件的靠向力，向与钩承部配合的方向移动或转动。因此，在本形态的插入体主体中，能容易地进行引导核心对插入体主体的安装和取下(更换)。
(11)在所述(10)记载的插入体主体的首选形态中，所述插入体主体具有所述夹具能进入的夹具进入孔，把所述夹具支撑部设置为进入夹具进入孔的所述夹具能按压所述夹具支撑部。
在本形态的插入体主体中，通过使夹具进入夹具进入孔，能按压夹具支撑部，并且通过使夹具从夹具进入孔退出，能解除对夹具支撑部的按压。因此，在本形态的插入体主体中，通过夹具对夹具进入孔的进出，能容易地进行引导核心对插入体主体的安装和取下(更换)。
(12)在所述(11)记载的插入体主体的首选形态中，设置所述夹具支撑部，从而使进入到所述夹具进入孔内的所述夹具与所述夹具支撑部接触，通过在所述夹具支撑部上滑动，能按压所述夹具支撑部。
在本形态的插入体主体中，例如在钩部保持在阻挡部上的状态下，把夹具支撑部设置为遮挡夹具从夹具进入孔进入。具体而言，把具有夹具接触的面的夹具支撑部设置为向钩部和钩承部配合的方向倾斜，横穿夹具进入孔。进入夹具进入孔的夹具与夹具支撑部接触，一边在夹具支撑部上滑动，一边把夹具支撑部向夹具的行进方向按压。据此，在夹具支撑部上作用向解除钩部和钩承部的配合的方向的力，钩部与夹具支撑部一起向解除钩部和钩承部的配合的方向移动或转动。如果夹具从夹具进入孔退出，作用在夹具支撑部上的基于夹具的按压力就解除，钩部通过弹性构件的靠向力，向与钩承部配合的方向移动或转动。因此，在本形态的插入体主体中，使用夹具，能容易并且可靠地执行引导核心对插入体主体的安装和取下(更换)。
(13)在所述(4)～(12)中的任意一项记载的插入体主体的首选形态中，所述插入体主体包含闩锁机构，所述闩锁机构具有从对于所述插入体主体向接近和背离的方向移动的驱动体受到向所述驱动体的接近方向的作用，旋转移动的驱动体作用部；在所述电子部件引导部为打开状态的打开位置和为关闭状态的关闭位置之间旋转移动的闩锁部；使所述驱动体作用部的旋转移动和所述闩锁部的旋转移动联动的臂部；在所述驱动体的最背离时，所述驱动体作用部位于比包含所述驱动体作用部的旋转中心线，并且垂直于所述驱动体的靠近背离方向的平面更靠近所述驱动体的位置，并且位于平行于所述驱动体的靠近背离方向的平面的附近，所述驱动体与所述臂部不干涉地移动。
在本形态的插入体主体中，把驱动体设置为对于插入体主体的电子部件进入面，向接近和背离的方向移动。在此，“电子部件进入面”意味着插入体主体的外表面中的设置电子部件引导部的电子部件进入口的外表面。当把驱动体设置为对于插入体主体的电子部件进入面，向接近和背离的方向移动时，把驱动体的构造、位置调节为不妨碍通过电子部件进入口的电子部件的搬入和搬出。例如通过在驱动体上设置与电子部件进入口连通的开口部，通过电子部件进入口的电子部件的搬入和搬出成为可能。当向插入体内搬入被试验电子部件时，驱动体从把被试验电子部件搬入插入体内的装置受到按压例，对插入体主体向靠近的方向移动。希望通过弹簧等弹性构件使驱动体靠向从插入体主体向背离的方向，从而当被解除来自所述装置的按压力时，从插入体主体向背离的方向移动。须指出的是，把驱动体位于离插入体主体最远的位置的状态称作“驱动体的最背离时”。
在本形态的插入体主体中，作为驱动体的具体例，能列举出杆板。杆板可以直接作用于驱动体作用部，也可以通过其他构件间接作用。例如在杆板上设置突起部，该突起部作用于驱动体作用部。
在本形态的插入体主体中，从驱动体受到向驱动体的接近方向的作用(即向接近插入体主体的方向的力)的驱动体作用部以旋转轴为中心，旋转移动。驱动体作用部从驱动体受到向驱动体的背离方向的作用(即向背离插入体主体的方向的力)，能旋转移动。
在本形态的插入体主体中，驱动体作用部和闩锁部的旋转移动联动，如果从驱动体受到向驱动体的接近方向的作用，旋转移动，则闩锁部从打开位置向关闭位置，或从关闭位置向打开位置旋转移动。在此，“打开位置”是电子部件引导部位打开状态的位置，“打开状态”意味着通过电子部件引导部引导电子部件，能向引导核心搬入的状态和从引导核心能搬出的状态。另外，“关闭位置”意味着电子部件引导部为关闭状态的位置，“关闭状态”也为这无法通过电子部件引导部引导电子部件，向引导核心搬入的状态和从引导核心搬出的状态。当闩锁部位于打开位置时，用电子部件引导部引导电子部件，能向引导核心搬入，并且用电子部件引导部引导，能从引导核心搬出。另外，当闩锁部位于关闭位置时，不能用电子部件引导部引导电子部件(即电子部件无法通过电子部件引导部)，能防止由安装在插入体主体的引导核心安装口上的引导核心支撑的电子部件的飞出。闩锁部的顶端部在引导核心安装口的中央部附近和电子部件引导部的内侧面附近之间旋转移动时，当闩锁部的顶端部位于引导核心安装口的中央部附近时，闩锁部位于“关闭位置”，当闩锁部的顶端部位于电子部件引导部的内侧面附近时，闩锁部位于“打开位置”。
在本形态的插入体主体中，当闩锁部位于关闭位置时，闩锁部的顶端部能把由安装在插入体主体的引导核心安装口上的引导核心支撑的电子部件向引导核心的支撑部的方向按压，据此，把电子部件保持在引导核心的给定位置，能防止电子部件的位置偏移。例如，闩锁部的顶端部通过按压由安装在插入体主体的引导核心安装口上的引导核心支撑的电子部件的向着电子部件进入口方向的外表面，能防止电子部件的位置便宜。须指出的是，当闩锁部的顶端部按压由引导核心支撑的电子部件时，闩锁部的顶端部通过与电子部件接触，限制闩锁部的旋转移动，虽然有时电子部件未由引导核心支撑时的闩锁部的关闭位置和电子部件由引导核心支撑时的闩锁部的关闭位置不同，但是只要电子部件引导部为关闭状态，就包含在“关闭位置”中。另外，闩锁部的关闭位置有时根据由引导核心支撑的电子部件的尺寸而不同，但是只要电子部件引导部为关闭状态，就包含在“关闭位置”中。
在本形态的插入体主体中，驱动体作用部的旋转轴和闩锁部的旋转轴在电子部件引导部的内侧面，垂直或大致垂直于驱动体的靠近背离方向。另外，驱动体作用部的旋转中心线和闩锁部的旋转中心线可以不同，但是希望一致(即希望驱动体作用部的旋转轴和闩锁部的旋转轴相同)。通过使两者的旋转中心线一致，能通过简易的机构使两者的旋转移动联动。当两者的旋转中心线一致时，通过用臂部连接驱动体作用部和闩锁部，就能使两者的旋转移动联动。
在本形态的插入体主体中，把臂部的构造、配置调节为不妨碍通过电子部件进入口的电子部件的搬入和搬出。把臂部设置为在驱动体的最背离时，沿着电子部件的内侧面。
在本形态的插入体主体中，在驱动体的最背离时，驱动体作用部位于比包含驱动体作用部的旋转中心线，并且垂直于驱动体的靠近背离方向的平面更靠近驱动体的位置，所以受到向驱动体的接近方向的作用的驱动体作用部向包含驱动体作用部的旋转中心线，垂直于驱动体的靠近背离方向的平面旋转移动。当驱动体作用部这样旋转移动时，驱动体的最背离时的驱动体作用部越接近平行于驱动体的靠近背离方向的平面，驱动体作用部的旋转角度就越大。在本形态的插入体主体中，驱动体位于包含驱动体作用部的旋转中心线，并且平行于驱动体的靠近背离方向的平面的附近，所以驱动体作用部的旋转角度增大。闩锁部的旋转移动与驱动体作用部的旋转移动联动，如果驱动体作用部的旋转角度增大，则闩锁部的旋转角度也增大，所以在本形态的插入体主体中，闩锁部的旋转角度也增大。因此，在本形态的插入体主体中，闩锁部的开关量(打开位置和关闭位置的移动量)大，能防止多种尺寸的电子部件的飞出和位置偏移。
另外，驱动体与臂部不干涉地移动，所以驱动体不妨碍臂部的动作，通过臂部能可靠地使驱动体作用部的旋转移动和闩锁部的旋转移动联动，据此，能确保闩锁部的大开关量。
(14)在所述(13)记载的插入体主体的首选形态中，所述驱动体作用部通过弹性构件，靠向所述驱动体的背离方向。
在本形态的插入体主体中，如果驱动体向背离插入体主体的方向移动，则驱动体作用部从弹性体受到向驱动体的背离方向的作用，向与伴随着驱动体的接近的驱动体作用部的旋转移动相反的方向旋转移动。这时，闩锁部也与驱动体作用部的旋转移动联动，向与伴随着驱动体的接近的闩锁部的旋转移动相反的方向旋转移动。即伴随着驱动体的接近，闩锁部从打开位置向关闭位置旋转移动时，伴随着驱动体的背离，闩锁部从关闭位置向打开位置旋转移动，当伴随着驱动体的接近，闩锁部从关闭位置向打开位置旋转移动时，伴随着驱动体的背离，闩锁部从打开位置向关闭位置旋转移动。因此，在本形态的插入体主体中，通过使驱动体向接近和背离插入体主体的方向移动，能使从打开位置旋转移动到关闭位置的闩锁部再旋转移动到打开位置，或使从关闭位置旋转移动到打开位置的闩锁部再旋转移动到关闭位置。
(15)在所述(13)或(14)记载的插入体主体的首选形态中，在所述驱动体的最背离时，所述驱动体作用部位于所述驱动体的附近。
在本形态的插入体主体中，驱动体一边向驱动体作用部施加作用，一边移动的距离变长，所以受到驱动体的作用，驱动体作用部旋转移动的旋转角度也变大，与驱动体作用部的旋转移动联动而旋转移动的闩锁部的旋转角度也变大。因此，在本形态的插入体主体中，闩锁部的开关量(打开位置和关闭位置的移动量)增大，能防止多种尺寸的电子部件的飞出和位置便宜。
(16)在所述(13)～(15)中的任意一项记载的插入体主体的首选形态中，当从所述驱动体受到向所述驱动体的接近方向的作用，所述驱动体作用部旋转移动时，所述驱动体作用部的旋转移动和所述闩锁部的旋转移动联动，从而所述闩锁部从所述关闭位置向所述打开位置旋转移动。
在本形态的插入体主体中，当把被试验电子部件搬入插入体内时，如果使把该被试验电子部件搬入插入体内的装置向接近电子部件进入面的方向移动，通过该装置按压驱动体，使驱动体向接近电子部件进入面的方向移动，就能使闩锁部从关闭位置旋转移动到打开位置。因此，在本形态的插入体主体中，使把被试验电子部件向插入体内搬入的装置的动作与闩锁部的旋转移动联动，通过该装置把被试验电子部件搬入插入体时，能使闩锁部旋转移动到打开位置，所以能利用该装置可靠地把电子部件搬入插入体内。
(17)在所述(13)～(16)中的任意一项记载的插入体主体的首选形态中，所述驱动体作用部的旋转中心线和所述闩锁部的旋转中心线一致。
在本形态的插入体主体中，驱动体作用部的旋转中心线和闩锁部的旋转中心线一致，所以能使闩锁机构的结构单纯化。
(18)在所述(17)记载的插入体主体的首选形态中，在所述驱动体的最背离时，所述驱动体作用部和所述闩锁部对于包含所述旋转中心线，并且垂直于所述驱动体的接近背离方向的平面，位于相反一侧。
在本形态的插入体主体中，驱动体的最背离时的闩锁部位置为关闭位置。因此，当从驱动体受到向驱动体的接近方向的作用，驱动体作用部旋转移动时，能使驱动体作用部和闩锁部的旋转移动联动，从而闩锁部从关闭位置旋转移动到打开位置。
(19)在所述(17)或(18)记载的插入体主体的首选形态中，所述旋转中心线位于所述电子部件进入口的附近，在所述驱动体的最背离时，所述闩锁部的顶端部位于接近包含所述旋转中心线，并且平行于驱动体的接近背离方向的平面的位置，并且位于所述引导核心安装口的附近。
在本形态的插入体主体中，位于关闭位置的闩锁部的顶端部位于接近包含旋转中心线，并且平行于驱动体的接近背离方向的平面的位置，并且引导核心安装口的附近，从而伴随着闩锁部的旋转移动的闩锁部的顶端部的移动距离增加，据此，闩锁部的开关量增大。
(20)在所述(17)～(19)中的任意一项记载的插入体主体的首选形态中，在所述驱动体的最背离时，所述驱动体作用部和所述臂部对于垂直于所述旋转中心线，并且平行于所述驱动体的接近背离方向的平面，位于相反一侧。
在本形态的插入体主体中，伴随着驱动体的移动而描画的驱动体的轨道和臂部的轨道对于垂直于旋转中心线，并且平行于驱动体的接近背离方向的平面，位于相反一侧，所以能使驱动体移动为对驱动体作用部作用，但是对臂部不作用，据此，通过臂部能可靠地使驱动体作用部的旋转移动和闩锁部的旋转移动联动，据此，能确保闩锁部的大开关量。
须指出的是，在本形态的插入体主体中，驱动体作用部和臂部对于满足“垂直于旋转中心线，并且平行于驱动体的接近背离方向”的条件的某平面，位于相反一侧。
在本形态的插入体主体中，如果在臂部设置具有在驱动体的最背离时，在驱动体和电子部件进入面之间存在的顶端部的突起部，则设置在臂部上的突起部的顶端部成为驱动体作用部，驱动体作用部和臂部对于垂直于旋转中心线，并且平行于驱动体的接近背离方向的平面，位于相反一侧。
(21)在所述(14)～(20)中的任意一项记载的插入体主体的首选形态中，在所述插入体主体中设置能存放所述驱动体作用部的存放部，从而所述驱动体作用部能与所述插入体主体不干涉地旋转移动。
在本形态的插入体主体中，存放部能在电子部件进入口的周围部设置为能存放驱动体作用部的凹部。
在本形态的插入体主体中，通过把驱动体作用部存放在插入体主体的存放部中，能使驱动体作用部能与插入体主体不干涉地旋转移动，所以能确保驱动体作用部的大的旋转移动，据此，能确保与驱动体作用部联动的闩锁部的大的旋转移动。
(22)本发明的插入体的特征在于具有所述(1)～(3)中的任意一项记载的引导核心和所述(4)～(21)中的任意一项记载的插入体主体。
在本发明的插入体中，发挥所述(1)～(3)中的任意一项记载的引导核心具有的作用效果和所述(4)～(21)中的任意一项记载的插入体主体具有的作用效果。
(23)在所述(22)所述的插入体的首选形态中，所述插入体把被试验电子部件向电子部件试验装置的测试头的接触部输送，安装到把它搬出的托盘上。
在电子部件试验装置的测试头的接触部上设置有安装被试验电子部件的插座，在那里进行被试验电子部件的试验。
在本形态的插入体中，能高效进行被试验电子部件向接触部的输送、被试验电子部件在接触部的试验、试验完毕的电子部件从接触部的搬出。另外，通过在托盘中安装多个插入体，能同时试验多个电子部件。
(24)本发明的电子部件处理装置在插入体中存放区域阵列型电子部件的状态下，使所述区域阵列型电子部件的外部端子和插座的连接端子连接，进行所述区域阵列型电子部件的试验，其特征在于作为所述插入体，具有所述(22)或(23)记载的插入体。
在本发明的电子部件处理装置中，发挥所述(22)或(23)记载的插入体的作用效果。
下面简要说明附图。
图1是表示本发明电子部件处理装置的一个实施例的IC试验装置的全体侧视图。
图2是表示该IC试验装置的处理机的立体图。
图3是表示被试验IC的处理方法的托盘的程序流程图。
图4是表示该IC试验装置的IC储存部的构造的立体图。
图5是表示该IC试验装置中使用的客户托盘的立体图。
图6是表示该IC试验装置中使用的测试托盘的局部分解立体图。
图7是该IC试验装置中使用的本发明的插入体的分解立体图。
图8(a)是表示构成该插入体的插入体主体的主体部的俯视图，图8(b)是图8(a)的A-A剖视图。
图9(a)是构成该插入体的引导核心的俯视图，图9(b)是图9(a)的A-A剖视图。
图10是说明通过设置在该插入体主体上的钩机构，把该引导核心安装到插入体主体上的步骤的局部剖视图。
图11(a)是该插入体主体的俯视图，图11(b)是图11(a)的A-A剖视图。
图12(a)是在设置在插入体主体的闩锁机构中，表示闩锁部位于关闭位置时的剖视图(相当于图11(b))，图12(b)是该闩锁部位于打开位置时的剖视图。
图13是表示IC试验装置的测试头的插座附近的构造的分解立体图。
图14是表示IC试验装置的测试头的插座附近的构造的局部剖视图。
图15是表示通过设置在插入体主体上的钩机构，把引导核心安装到插入体主体上时，和通过设置在插入体主体上的钩机构，从插入体主体取下引导核心时使用的夹具的侧视图。
图16是表示钩机构的按照不同弹簧的实施例的立体图。
图17是表示闩锁结构的按照不同弹簧的实施例的立体图。
图18(a)是成为IC器件试验装置的试验对象的IC器件的侧视图，图18(b)是IC器件的仰视图。
图19(a)是表示以往的插入体的闩锁机构处于打开状态时的局部剖视图，图19(b)是表示闩锁机构处于关闭状态时的局部剖视图。
具体实施例方式
下面，参照
本发明实施例。
图1是表示本发明电子部件处理装置的一个实施例的IC试验装置的全体侧视图，图2是表示该IC试验装置的处理机的立体图，图3是表示被试验IC的处理方法的托盘的程序流程图，图4是表示该IC试验装置的IC储存部的构造的立体图，图5是表示该IC试验装置中使用的客户托盘的立体图，图6是表示该IC试验装置中使用的测试托盘的局部分解立体图，图7是该IC试验装置中使用的本发明的插入体的分解立体图，图8(a)是表示构成该插入体的插入体主体的主体部的俯视图，图8(b)是图8(a)的A-A剖视图，图9(a)是构成该插入体的引导核心的俯视图，图9(b)是图9(a)的A-A剖视图，图10是说明通过设置在该插入体主体上的钩(hook)机构，把该引导核心安装到插入体主体上的步骤的局部剖视图，图11(a)是该插入体主体的俯视图，图11(b)是图11(a)的A-A剖视图，图12(a)是在设置在插入体主体的闩锁机构中，表示闩锁部位于关闭位置时的剖视图(相当于图11(b))，图12(b)是该闩锁部位于打开位置时的剖视图，图13是表示IC试验装置的测试头的插座附近的构造的分解立体图，图14是表示IC试验装置的测试头的插座附近的构造的局部剖视图，图15是表示通过设置在插入体主体上的钩机构，把引导核心安装到插入体主体上时，和通过设置在插入体主体上的钩机构，从插入体主体取下引导核心时使用的夹具的侧视图。
须指出的是，图3是用于理解本实施例的IC器件试验装置的被试验IC器件的处理方法的图，实际上也存在平面表示并列配置在上下方向的构件的部分。因此，参照图2说明该机械的(三维)构造。
首先，说明本实施例的IC器件试验装置的全体结构。
如图1所示，本实施例的IC器件试验装置10具有处理机1和测试头5和试验用主装置6。处理机1执行把应该试验的电子部件即IC器件依次输送到设置在测试头5的上方的接触部9的插座中，根据测试结果把试验完毕的IC器件分类，存放到给定托盘中的动作。成为IC器件试验装置10的试验对象的IC器件是BGA、LGA、PGA、CSP等区域阵列型IC器件。
接触部9的插座通过测试头5和电缆7电连接在试验用主装置6上，可插拔地安装在插座上的IC器件通过测试头5和电缆7电连接在试验用主装置6上。对安装在插座上的IC器件外加来自试验用主装置6的试验用电信号，从IC器件读出的响应信号通过电缆7发送给试验用主装置6，据此，能试验IC器件的性能或功能。
在处理机1的下部主要内置有控制处理机1的控制装置，但是在一部分中设置空间部分8。在该空间部分8配置可自由更换的测试头5，通过形成在处理机1中的通孔，能对设置在测试头5的上方的接触部9的插座插拔IC器件。
IC器件试验装置10是用于在比常温还高的温度下(高温)或低的温度状态下(低温)，对应该试验的电子部件即IC器件进行试验的装置，处理机1如图2和图3所示，具有由恒温槽101、测试室102、除热槽103构成的室100。设置在图1所示的测试头5的上方的接触部9插入测试室102的内部，在那里进行IC器件的试验。
如图2和图3所示，IC器件试验装置10的处理机1由以下部分构成存放从此要进行试验的IC器件，另外把试验完毕的IC器件分类存放的IC存放部200；把从IC存放部200送来的被试验IC器件送入室100中的装载部300；包含测试头5的室100；把在室100中进行试验的试验完毕的IC器件分类取出的卸载部400。须指出的是，在处理机1的内部，IC器件存放在测试托盘中输送。
多个存放到处理机1中之前的IC器件存放在图5所示的客户托盘KST内，在该状态下，提供给图2和图3所示的处理机1的IC存放部200，在那里，IC器件从客户托盘KST换乘到在处理机1内输送的测试托盘TST(参照图6)上。在处理机1的内部，如图3所示，IC器件在安放在测试托盘TST上的状态下移动，对其提供高温或低温的温度应力，试验(检查)是否恰当地工作，按照该试验结果分类。下面，详细说明处理机1的内部。
第一，说明与IC存放部200关联的部分。
如图2所示，在IC存放部200中设置有存放试验前的IC器件的试验前IC储存部201；按照试验结果把试验后的IC器件分类存放的试验完毕IC储存部202。
试验前IC储存部201和试验完毕IC储存部202如图4所示，具有框状的托盘支撑框203；从该托盘支撑框203的下部侵入，能向上部升降的升降部204。在托盘支撑框203上支撑多个重叠的客户托盘KST，只有重叠的客户托盘KST能通过升降部204上下移动。
在图2所示的试验前IC储存部201中，层叠保持着存放试验前的IC器件的客户托盘KST，在试验完毕IC储存部202中层叠保持着把结束试验的IC器件分类存放的客户托盘KST。
须指出的是，试验前IC储存部201和试验完毕IC储存部202是同一或大致相同的构造，所以能把试验前IC储存部201作为试验完毕IC储存部202使用，反之亦然。因此，按照必要，能容易变更试验前IC储存部201和试验完毕IC储存部202的数。
如图2和图3所示，在本实施例中，作为试验前IC储存部201，设置2个储存部STK-B。在储存部STK-B的旁边，作为试验完毕IC储存部202，设置2个向卸载部400输送的空储存部STK-E。另外，在其旁边，作为试验完毕IC储存部202，设置8个储存部STK-1、STK-2、…STK-8，按照试验结果，最多能划分为8个分类存放。即除了合格品和不合格品以外，在合格品中还能划分为工作速度为高速的、中速的、低速的，或在不合格品中，也能划分为需要再次试验的等。
第二，说明与装载部300关联的部分。
图4所示的试验前IC储存部201的托盘支撑框203中存放的客户托盘KST如图2所示，由设置在IC存放部200和装置衬底105之间的托盘输送臂205从装置衬底105运送到装载部300的窗部306。然后，在装载部300中，通过X-Y输送装置304把安放到客户托盘KST中的被试验IC器件输送到精密调整部(preciser)305，在此修正被试验IC器件的相互位置后，再使用X-Y输送装置304把输送到精密调整部305的被试验IC器件换乘到停止在装载部300中的测试脱盘TST上。
作为把被试验IC器件从客户托盘KST换乘到测试脱盘TST上的X-Y输送装置304，如图2所示，具有架设在装置衬底105的上部的2条轨道301；通过这2条轨道301，能在客户托盘KST和测试脱盘TST之间往返(方向为Y方向)的可动臂302；由可动臂302支撑，能沿着可动臂302向X方向移动的可动头303。
在X-Y输送装置304的可动头303上向下安装吸附头，该吸附头一边吸引空气，一边移动，从而从客户托盘KST吸附被试验IC器件，把该被试验IC器件换乘到测试脱盘TST上。对可动头303例如安装8个这样的吸附头，一次能把8个被试验IC器件换乘到测试脱盘TST上。
第三，说明与室100关联的部分。
上述的测试脱盘TST由装载部300装入被试验IC器件后，被送入室100中，在搭载在测试脱盘TST上的状态下，测试各被试验IC器件。
如图2和图3所示，室100由以下部分构成对装入测试脱盘TST中的被试验IC器件提供作为目的的高温或低温的热应力的恒温槽101；把处于由该恒温槽101提供热应力的状态的被试验IC器件安装到测试头5上的插座中，进行试验的测试室102；从由测试室102试验的被试验IC器件除去提供的热应力的除热槽103。
在除热槽103中，当用恒温槽101作用高温时，通过送风把被试验IC器件冷却，恢复到室温，另外，当用恒温槽101作用低温时，用暖风或加热器等对被试验IC器件加热，回到不结露的程度的温度。然后，把除热的被试验IC器件搬出到卸载部400。
如图2所示，室100的恒温槽101和除热槽103配置为比测试室102更向上方突出。另外，如图3所示，在恒温槽101中设置有垂直输送装置，在测试室102空出之前，多个测试脱盘TST一边由该垂直输送装置支撑，一边待机。在待机中，主要对被试验IC器件作用高温或低温的热应力。
在测试室102中，在其中央下部配置测试头5，把测试脱盘TST输送到测试头5上。在那里，把由图6所示的测试脱盘TST保持的全部IC器件依次与测试头5电接触，关于测试脱盘TST内的全部IC器件进行试验。而试验结束的测试脱盘TST由除热槽103除热，把IC器件的温度恢复到室温后，排出到图2和图3所示的卸载部400中。
另外，如图2所示，在恒温槽101和除热槽103的上部分别形成用于从装置衬底105送入测试脱盘TST的入口用开口、用于把测试脱盘TST向装置衬底105送出的出口用开口。在装置衬底105上安装用于从这些开口部取出放入测试脱盘TST的测试脱盘输送装置108。这些输送装置108例如由旋转辊等构成。通过设置在装置衬底105上的测试脱盘输送装置108，由除热槽103排出的测试脱盘TST通过卸载部400和装载部300输送回恒温槽101。
测试脱盘TST如图6所示，具有矩形框架12，在框架12上，平行并且以等间隔设置多个栈条13。在这些栈条13的两侧、与这些栈条13平行的框架12的边12a的内侧，在长度方向以等间隔突出形成多个安装片14。通过设置在这些栈条13之间以及栈条13和边12a之间的多个安装片14的相对的两个安装片14，构成插入体存放部15。
在插入体存放部15中分别收藏一个插入体16。在插入体16的两端部分别形成对安装片14的安装用孔21，使用扣件以浮动状态(能在三维上微动的状态)把插入体16安装在两个安装片14上。例如在一个测试脱盘TST上安装4×16个这样的插入体16，通过把被试验IC器件存放到插入体16中，把被试验IC器件装入测试脱盘TST中。
被试验IC器件如图6所示，排列为4行×16列时，例如在各行中，每隔4列配置的被试验IC器件同时试验。即在第一次试验中，在各行中，配置在第1、5、9、12列中的16个被试验IC器件同时试验，在第二次是试验中，使测试脱盘TST移动1列，配置在第2、6、10、15列中的被试验IC器件同时试验，通过重复该过程，试验(所谓的同时测定16个)被试验IC器件。试验的结果存储到由为测试脱盘TST付与的识别编号、在测试脱盘TST的内部分配的被试验IC器件的编号决定的地址中。
图18表示存放在插入体16中的被试验IC器件的一例。图18(a)是被试验IC器件的侧视图，图18(b)是被试验IC器件的仰视图。如图18所示，被试验IC器件2是在封装主体21的下表面23上把外部端子22即焊锡球排列为矩阵状的BGA型IC器件。排列有外部端子22的封装主体21的下表面23相当于IC器件2的外部端子面。
本实施例的插入体16如图7所示，具有插入体主体17、引导核心18、杆板19。
插入体主体17如图7所示，具有主体部171、钩机构F和闩锁机构L。在插入体主体17的主体部171的大致中央，如图7和图8所示，设置有在上下方向开口的器件引导部171a。器件引导部171a如图8所示，在上端部具有器件进入口171b，在下端部具有引导核心安装口171c。器件进入口171b和引导核心安装口171c连通，能把从器件进入口171b进入的IC器件引导到安装在引导核心安装口171c上的引导核心18。据此，由X-Y输送装置304从客户托盘KST输送到测试脱盘TST中的被试验IC器件由器件引导部171a引导，搬入安装在引导核心安装口171c上的引导核心18中。另外，被试验IC器件的试验后，试验完毕的IC器件由器件引导部171a引导，从器件进入口171b搬出。
在插入体主体17的主体部171的上方，如图7所示，通过压簧194安装杆板19。通过压簧194，杆板19靠向上方(背离插入体主体17的主体部171的方向)，如果受到向下放(接近插入体主体17的主体部171的方向)的按压力，就向下方移动，如果解除按压力，通过压簧194的靠向力，向上方移动。当杆板19向上方移动时，形成在杆板19上的凸部191和形成在插入体主体17的主体部171上的凹部171d配合，从而限制向杆板19的上方的移动量。
在杆板19的大致中央，如图7所示，设置有开口部192，露出插入体主体17的主体部171的器件进入口171b。杆板19的开口部192形成得比器件进入口171b大一些，从而不妨碍IC器件通过器件进入口171b的搬入和搬出，另外，不妨碍后面描述的闩锁175的旋转。另外，在杆板19上，如图7所示，设置与插入体主体17的主体部171上设置的核心夹持器171e连通的通孔193，图15所示的夹具的轴GF能通过杆板19的通孔193进入夹持器171e内。
在插入体主体17的主体部171的下方，如图7所示，安装有引导核心18。引导核心18如图7和图9所示，具有由底板部和从底板部直立设置的侧板部构成的器件支撑部181、设置在器件支撑部181的侧板部的上端周围部上的凸缘部183。在器件支撑部181的底板部的大致中央，如图7和图9所示，设置有开口部182，器件支撑部181的底板部通过开口部182的周围部188，能支撑IC器件的外部端子面。而且，支撑在器件支撑部181上的IC器件的外部端子通过开口部182在插座的连接端子方向露出。
在引导核心18的上端部，如图7和图9所示，设置与开口部182连通的器件引导部连通口184，如果把引导核心18安装到插入体主体17的引导核心安装口171c上，则引导核心18的开口部182通过器件引导部连通口184与插入体主体17的器件引导部171a连通。据此，能把IC器件从插入体主体17的器件引导部171a向引导核心18的器件支撑部181引导。凸缘部183的内侧面如图7和图9所示，成为锥形，能可靠地把IC器件向器件支撑部181引导。
在凸缘部183中，如图7和图9所示，在相对的位置(在图9中左右)分别设置两个钩进入孔186。在钩进入孔186中，如图9所示，设置钩承部185，从而与钩进入孔186的内侧面连续，插入体主体17的钩部172a在进入钩进入孔186的状态下，与钩承部185配合，并且解除了与钩承部185的配合的钩部172a能从钩进入孔186退出。另外，在凸缘部183中，如图7和图9所示，设置用于插嵌插座引导部41的导轴413(图13和图14)的导轴嵌插孔187，通过在导轴嵌插孔187中插入导轴413，能进行引导核心18对插座40的正确的定位。
在插入体主体17的主体部171中，如图17所示，设置具有核心夹持器172、扭簧173、轴174的钩机构F。核心夹持器172如图7所示，具有向着同一方向的两个钩部172a、连接两个钩部172a之间的平板状的夹具支撑部172b。在核心夹持器172中，如图7所示，在两个钩部172a的各自上方设置有通孔172c，轴174插入插入体主体17的主体部171的通孔171m(参照图8)和核心夹持器172的通孔172c中，从而核心夹持器172可旋转地支撑在插入体主体17的主体部171上。
轴174设置在插入体主体17的主体部171上，大致垂直于钩部172a和钩承部185配合的方向，所以钩部172a能向与钩承部185配合的方向和解除与钩承部185的配合的方向转动。另外，调节设置轴174的位置，使钩部172a位于比引导核心安装口171c更下方(参照图10)，钩部172a能进入安装在引导核心安装口171c上的引导核心18的钩进入孔186中。
插入体主体17的主体部171如图7和图8所示，在器件引导部171a的两侧设置在上下方向开口的核心夹持器存放部171e，核心夹持器172存放在核心夹持器存放部171e中。核心夹持器存放部171e如图8所示，具有设置为大致垂直于钩部172a和钩承部185配合的方向的阻挡面171f、与阻挡面171f相对的扭簧安装面171g。在存放在核心夹持器存放部171e中的核心夹持器172的通孔172d中，如图7和图10(a)所示，扭簧173的一端部173a插入，另外，如图10(a)所示，扭簧173的另一端部173b安装在扭簧安装面171g上。这时，扭簧173为扭转状态，所以通过扭簧173，钩部172a靠向与钩承部185配合的方向，但是如图10(a)所示，钩部172a向与钩承部185配合的方向的转动由阻挡面171f限制。
当把引导核心18安装到插入体主体17上时，由阻挡面171f保持的钩部172a按以下步骤与引导核心18的钩承部185配合。首先，图15所示的夹具G的轴GF从核心夹持器存放部171e的上端开口部进入核心夹持器存放部171e内。须指出的是，在杆板19上设置有与核心夹持器存放部171e连通的通孔193，所以即使是把杆板19安装在插入体主体17的主体部171的上方的状态，也能使夹具G的轴GF进入核心夹持器存放部171e内。当钩部172a由阻挡面171f保持时，平板装的夹具支撑部172b如图10所示，向着钩部172a和钩承部185配合的方向(即从扭簧安装面171g向着阻挡面171f)，向下倾斜，位于遮挡夹具G的轴GF进入的位置，所以从核心夹持器存放部171e的上部端口进入的夹具G的轴GF与夹具支撑部172b接触，在夹具支撑部172b上滑动，从而向下按压夹具支撑部172b。据此，夹具支撑部172b如图10(b)所示，向扭簧安装面171g转动。伴随着扭簧安装面172b的转动，钩部172a向解除与钩承部185的配合的方向转动，变为能与钩承部185配合(脱开)的状态。在该状态下，使钩部172a进入引导核心18的钩进入孔186后，使夹具G的轴GF从核心夹持器存放部171e退出，作用于夹具支撑部172b上的按压力就解除，如图10(c)所示，通过扭簧173的靠向力，钩部172a向与钩承部185的配合的方向转动。据此，钩部172a与钩承部185配合，把引导核心18安装到插入体主体17上。
当从插入体主体17取下安装在插入体主体17上的引导核心18时，也按照与所述相同的步骤。即如果从核心夹持器存放部171e的上端开口部使夹具G的轴GF进入核心夹持器存放部171e内，则伴随着夹具支撑部172b的转动，钩部172a向解除与钩承部185的配合的方向转动，成为能与钩承部185脱开的状态。在该状态下，通过使钩部172a从引导核心18的钩进入孔186退出，解除钩部172a和钩承部185的配合，引导核心18从插入体主体17脱出。
在插入体主体17的主体部171上，如图7和图11所示，设置具有闩锁175、扭簧176和轴177的闩锁机构L。
闩锁175如图7和图11所示，具有杆板作用部175a、闩锁部175b、连接杆板作用部175a和闩锁部175b的臂部175c。
臂部175c如图7和图11所示，由第二臂175e、与第二臂部175e的两端相对设置的两个第一臂175d构成，如图11所示，第二臂175e如果沿着器件引导部171a的长度方向的内侧面，存放在器件引导部171a内，则第一臂部175d沿着器件引导部171a的宽度方向的内侧面，存放在器件引导部171a内。
在相对的2个第一臂175d的边缘部分别如图7和图11所示，设置杆板作用部175a，向与第二臂175e的延伸方向相反的方向延伸。另外，在相对的两个第一臂175d中，分别如图7和图11所示，与第二臂175e相比，更接近杆板作用部175a设置嵌插轴177的通孔175f。另外，在第二臂175e的大致中央，如图7和图11所示，设置闩锁部175b，在与第一臂175d的延伸方向成锐角的方向延伸。
在相对的2个第一臂175d的通孔175f上，如图7所示，轴177的一端部插入，轴177的另一端部由插入体主体17的主体部171的轴支撑部171i支撑，闩锁部175可旋转地支撑在插入体主体17的主体部171上。在插入体主体17的主体部171上，如图7和图11所示，相对设置这样支撑的两个闩锁175。
轴支撑部171i如图7和图8所示，在器件进入口171b的宽度方向的边缘部，设置为能存放轴177的端部的凹部。各轴177由轴支撑部171i支撑，从而位于器件进入口171b的附近。另外，插入相对的第一臂175d的通孔175f中的2个轴177由轴支撑部171i支撑，从而旋转中心线一致，另外，旋转中心线大致垂直于杆板19的接近背离方向(上下方向)。闩锁175能以这样支撑的轴177为旋转轴旋转。即杆板作用部175a和闩锁部175b能以轴177为旋转轴旋转移动，通过臂部175c，杆板作用部175a的旋转移动和闩锁部175b的旋转移动联动。
在器件引导部171a的长度方向的内侧面上，如图7、图8以及图11所示，在其下部设置台部171k，第二臂175e由台部171k支撑，从而限制第二臂175e向下方的旋转移动。因此，当闩锁175不受杆板19的作用时，(例如，当杆板19位于最背离插入体主体17的状态时)，闩锁175保持在图11所示的状态。
当闩锁175保持在图11所示的状态时，杆板作用部175a位于比包含轴177的旋转中心线，并且垂直于杆板19的接近背离方向(上下方向)的平面H1(参照图12)更靠近杆板19的位置(即杆板作用部175a位于比轴177更上方)。因此，从杆板19受到向杆板19的接近方向(下方)的作用的杆板作用部175a向平面H1旋转移动(杆板作用部175a向下方旋转移动)。
另外，当闩锁175保持在图11所示的状态时，杆板作用部175a位于包含轴177的旋转中心线，并且平行于杆板19的接近背离方向(上下方向)的平面H2(参照图12)的附近(即如图12所示，杆板作用部175a和平面H2的距离X缩短)。因此，杆板作用部175a能向平面H1旋转移动的旋转角度增大。
另外，当闩锁175保持在图11所示的状态时，杆板作用部175a位于处于最背离状态(最背离插入体主体17的状态)的杆板19的附近。因此，杆板19在杆板作用部175a上施加作用，向下方移动的距离增加，受到杆板19的作用，杆板作用部175a能旋转移动的旋转角度增大。
另外，当闩锁175保持在图11所示的状态时，闩锁部175b位于使器件引导部171a为关闭状态的位置(关闭位置)。即闩锁部175b位于从器件引导部171a的长度方向的内侧面向着引导核心安装口171c的大致中央部，横穿器件引导部171a，所以IC器件无法通过器件引导部171a，处于通无法过器件引导部171a引导IC器件，搬入引导核心18中的状态和无法从引导核心18搬出的状态。
另外，当闩锁175保持在图11所示的状态时，杆板作用部175a和闩锁部175b对于平面H1，位于相反一侧。因此，当杆板作用部175a向下方旋转移动时，闩锁部175b向上方旋转移动(即闩锁部175b从关闭位置旋转移动到打开位置)。
另外，当闩锁175保持在图11所示的状态时，闩锁部175b的顶端部位于接近平面H2的位置，并且位于引导核心安装口171c的附近。位于关闭位置的闩锁部175b的顶端部位于这样的位置，从而闩锁部175b的顶端部的移动距离增加(即闩锁部175b的开关量增大)。
如果杆板作用部175a受到杆板19的作用，则位于关闭位置的闩锁部175b(参照图12(a))按照以下的顺序，移动到打开位置(参照图12(b))。如果杆板19向下方移动，则杆板19与杆板作用部175a接触，向下方按压杆板作用部175a。从杆板19受到向下方的按压力的杆板作用部175a向下方旋转移动。杆板作用部175a持续旋转移动，直到存放到器件进入口171b的边缘部上设置的凹部171p中。杆板作用部175a存放到凹部171p中，从而能与插入体主体17的主体部171不干涉地旋转移动。通过杆板作用部175a的旋转移动，第一臂175d旋转，通过第一臂175d的旋转，第二臂175e向与杆板作用部175a相反的方向(上方)旋转移动。而且，伴随着第二臂175e的旋转移动，闩锁部175b也向上方旋转移动。这时，闩锁部175b的顶端部从引导核心安装口171c的大致中央部向器件引导部171a的长度方向的内侧面旋转移动，存放在设置在该内侧面的下部的台部171k上形成的闩锁部存放部171r中。这样，如图12(b)所示，闩锁部175b移动到使器件引导部171a为打开状态的位置(打开位置)。即IC器件能通过器件引导部171a，成为IC器件由器件引导部171a引导，能搬入引导核心18中的状态和能从引导核心18搬出的状态。在图12所示的例子中，杆板19向下方的移动量1.5mm能变换为闩锁部175b的开关量4.7mm。
闩锁175保持在图11所示的状态时，杆板作用部175a和第一臂175d以及第二臂175e对于垂直于轴177的旋转中心线，并且平行于杆板19的接近背离方向的平面H3(参照图11)，位于相反一侧，所以伴随着杆板19的移动而描绘的杆板作用部175a的轨道和第一臂175d以及第二臂175e的轨道对于平面H3，位于相反一侧。因此，杆板19通过比器件进入口171b还大一些的开口部192的周围部，对臂部175c不作用，只作用于杆板作用部175a。因此，伴随着杆板19向插入体主体17的接近，臂部175c从器件引导部171a内通过器件进入口171b向器件引导部171a外(器件进入口171b的上方)移动，但是杆板19与臂部175c不干涉。即通过臂部175c，能使杆板作用部175a的旋转移动和闩锁部175b的旋转移动可靠地联动。
在器件引导部171a的宽度方向的内侧面上，如图7、图8和图11所示，在其下部设置有弹簧固定部171j，通过固定在弹簧固定部171j上的扭簧176，杆板作用部175a靠向上方。因此，杆板19向上方移动，如果通过杆板19而使杆板作用部175a受到的向下方的力解除，则通过扭簧176，杆板作用部175a靠向上方，向上方旋转移动。据此，闩锁部从打开位置旋转移动到关闭位置。
当通过X-Y输送装置304的吸附头，被试验IC器件从客户托盘KST换乘到测试脱盘TST上时，该吸附头向下方按压杆板19(接近插入体主体17的方向)。据此，杆板19向下方移动，向下方按压杆板作用部175a。受到基于杆板19的作用的杆板作用部175a向下方旋转移动，与此同时，闩锁部175b从关闭位置旋转移动到打开位置。据此，被试验IC器件由器件引导部171a引导，变为能搬入引导核心18中的状态，把吸附在X-Y输送装置304的吸附头上的被试验IC器件搬入引导核心18中。被试验IC器件搬入引导核心18后，X-Y输送装置304的吸附头从插入体主体17背离。据此，解除杆板19从该吸附头受到的按压力，杆板19向背离插入体主体17的方向移动。据此，杆板作用部175a从杆板19受到的按压力解除。杆板作用部175a从扭簧176受到向上方的靠向力，向上方旋转移动，与此同时，闩锁部175b从打开位置移动到关闭位置。据此，防止支撑在引导核心18上的被试验IC器件向插入体外的飞出。另外，位于关闭位置的闩锁部175b按压由引导核心18支撑的被试验IC器件的上表面，据此，防止被试验IC器件的位置偏移。
如图13和图14所示，在插入体16的两侧形成推动器30的导销32和插座引导部41的引导衬套411分别从上下插入的导孔20，在插入体16的两侧的角部形成测试脱盘TST对安装片14的安装用孔21。须指出的是，图13和图14所示的插入体16简化表示了其结构。
如图13和图14所示，插入体16的导孔20是用于定位的孔。例如图中左侧的导孔20为用于定位的孔，当比右侧的导孔20的内径还小时，在左侧的导孔20中，在其上半部分插入推动器30的导销32，进行定位，在其下半部分插入插座引导部41的引导衬套411，进行定位。而图中右侧的导孔20和插入推动器30的导销32以及插座引导部41的引导衬套411为松配合状态。
如图13所示，在测试头5上配置有插座板50。能以在图6所示的测试脱盘TST中，在行方向上每隔3个，与合计4列的被试验IC器件2对应的数(4行×4列)配置插座板50，但是，如果减小一个一个插座板50的大小，就能配置4行×16列的插座板50，从而能同时测试图6所示的测试脱盘TST上保持的全部IC器件2。
如图13所示，在插座板50之上设置插座40，如图13和图14所示，在插座40上固定插座引导部41，从而插座40的连接端子44露出。插座40的连接端子44是浮动针，设置为与IC器件2的外部端子22对应的数和位置，通过图外的弹簧，靠向上方。在插座引导部41的两侧插入推动器30上形成的2个导销32，在这2个导销32之间设置用于进行定位的引导衬套411。
图13和图14所示的推动器30与插座40的数对应，设置在测试头5的上方，通过未图示的Z轴驱动装置(例如流体压泵体)，在Z轴方向上下移动。如图8和图9所示，在推动器30的大致中央形成用于按压被试验IC器件2的按压部31，在其两侧设置插入插入体16的导孔20以及插座引导部40的引导衬套411中的导销32。另外，如图13和图14，在按压部31和导销32之间，设置当推动器30通过Z轴驱动装置下降时，限制下限的阻挡引导部33，阻挡引导部33与插座引导部40的阻挡面412接触，从而决定以不破坏存放在插入体16中的被试验IC器件2的适当压力按压的推动器30的下限位置。
第四，说明与卸载部400关联的部分。
在图2和图3所示的卸载部400中设置与设置在装载部300上的X-Y输送装置304同一构造的X-Y输送装置404，通过该X-Y输送装置404，试验完毕的IC器件从运出到卸载部400的测试脱盘TST换乘到客户托盘KST中。
如图2所示，在卸载部400的安装衬底105上，开设二对为了使运往卸载部400的客户托盘KST面对安装衬底105的上表面而配置的一对窗部406、406。
另外，虽然省略图示，但是在各窗部406的下方设置用于使客户托盘KST升降的升降台，在此，装载装满了重新排放的试验完毕的被试验IC器件的客户托盘KST下降，把该满托盘移交给托盘输送臂205。
以上说明的实施例是为了便于理解而描述的，并不是用来限定本发明的。因此，所述实施例所示的各要素也包含属于本发明的技术范围的全部设计变更或相等物。
在所述实施例中，能进行以下变更。
例如，如图16所示，能使图7所示的钩机构F的扭簧173为连接设置在核心夹持器172上的板簧173’。另外，能使图7所示的闩锁机构L的扭簧176为图17所示板簧176’。另外，能把钩机构F的钩部172a和钩承部185的配合方向变更为任意方向。另外，IC器件试验装置10并不局限于所述实施例中说明的室类型，例如可以是无室类型、加热板类型。
产业上应用的可能性第一，根据本发明可以提供可插拔地安装在插入体主体上的引导核心。第二，根据本发明可以提供可插拔地安装引导核心的插入体主体。第三，根据本发明可以提供具有可插拔地安装引导核心，并且闩锁部的开关量大，能与多种尺寸的IC器件对应的闩锁机构的插入体主体。第四，根据本发明可以提供具有上述引导核心和上述插入体主体的插入体以及具有该插入体的电子部件处理装置。
权利要求
1.一种引导核心，可插拔地安装在插入体主体上，其特征在于包括能支撑所述区域阵列型电子部件的外部端子面，以使区域阵列型电子部件的外部端子向插座的连接端子方向露出的支撑部；和能够可装卸地与所述插入体主体所具有的钩部配合的钩承部。
2.根据权利要求1所述的引导核心，其特征在于所述引导核心具有所述钩部能进入的钩进入孔，所述钩承部被设置为使其能与进入所述钩进入孔中的所述钩部配合。
3.根据权利要求1或2所述的引导核心，其特征在于所述引导核心具有用于嵌插对所述插座进行所述引导核心的定位的导轴的导轴嵌插孔。
4.一种插入体主体，能够可插拔地安装权利要求1～3中任意一项所述的引导核心，其特征在于包括具有安装所述引导核心的引导核心安装口、以及为了能把电子部件引导至安装在所述引导核心安装口上的所述引导核心而与所述引导核心安装口连通的电子部件进入口的电子部件引导部；能够可装卸地与所述引导核心具有的钩承部配合的钩部。
5.根据权利要求4所述的插入体主体，其特征在于所述钩部被设置为能进入所述引导核心具有的所述钩进入孔，并且能在进入到所述钩进入孔内的状态下与所述钩承部配合。
6.根据权利要求4或5所述的插入体主体，其特征在于所述钩部被设置为能向与所述钩承部配合的方向移动。
7.根据权利要求6所述的插入体主体，其特征在于把所述钩部设置为使其能以旋转轴为中心进行转动。
8.根据权利要求6或7所述的插入体主体，其特征在于所述钩部通过弹性构件而靠向与所述钩承部配合的方向。
9.根据权利要求8所述的插入体主体，其特征在于所述插入体主体具有限制所述钩部向与所述钩承部配合的方向移动或转动的阻挡部。
10.根据权利要求9所述的插入体主体，其特征在于所述插入体主体具有设置在所述钩部上的夹具支撑部，即受到基于夹具的按压而使所述钩部向解除与所述钩承部的配合的方向移动或转动的所述夹具支撑部。
11.根据权利要求10所述的插入体主体，其特征在于所述插入体主体具有所述夹具能进入的夹具进入孔，所述夹具支撑部被设置为使进入到所述夹具进入孔内的所述夹具能按压所述夹具支撑部。
12.根据权利要求11所述的插入体主体，其特征在于设置所述夹具支撑部，以使进入到所述夹具进入孔内的所述夹具与所述夹具支撑部接触，能通过在所述夹具支撑部上滑动来按压所述夹具支撑部。
13.根据权利要求4～12中任意一项所述的插入体主体，其特征在于所述插入体主体包含具有驱动体作用部、闩锁部和臂部的闩锁机构；其中，所述驱动体作用部，从相对于所述插入体主体而向接近和背离的方向移动的驱动体处接受向所述驱动体的接近方向的作用来进行旋转移动；所述闩锁部，在使所述电子部件引导部成为打开状态的打开位置和成为关闭状态的关闭位置之间旋转移动；所述臂部，使所述驱动体作用部的旋转移动和所述闩锁部的旋转移动联动；在所述驱动体的最背离时，所述驱动体作用部位于比包含所述驱动体作用部的旋转中心线并垂直于所述驱动体的靠近背离方向的平面更靠近所述驱动体的位置上，并且位于包含所述驱动体作用部的旋转中心线并平行于所述驱动体的靠近背离方向的平面的附近；所述驱动体与所述臂部不干涉地移动。
14.根据权利要求13所述的插入体主体，其特征在于所述驱动体作用部通过弹性构件靠向所述驱动体的背离方向。
15.根据权利要求13或14所述的插入体主体，其特征在于在所述驱动体的最背离时，所述驱动体作用部位于所述驱动体的附近。
16.根据权利要求13～15中任意一项所述的插入体主体，其特征在于当从所述驱动体接受向所述驱动体的接近方向的作用，所述驱动体作用部进行旋转移动时，所述驱动体作用部的旋转移动和所述闩锁部的旋转移动联动，以使所述闩锁部从所述关闭位置向所述打开位置进行旋转移动。
17.根据权利要求13～16中任意一项所述的插入体主体，其特征在于所述驱动体作用部的旋转中心线与所述闩锁部的旋转中心线一致。
18.根据权利要求17所述的插入体主体，其特征在于在所述驱动体的最背离时，所述驱动体作用部和所述闩锁部相对于包含所述旋转中心线并垂直于所述驱动体的接近背离方向的平面，位于相反一侧。
19.根据权利要求17或18所述的插入体主体，其特征在于所述旋转中心线位于所述电子部件进入口的附近，在所述驱动体的最背离时，所述闩锁部的顶端部位于接近包含所述旋转中心线并平行于所述驱动体的接近背离方向的平面的位置上，并且位于所述引导核心安装口的附近。
20.根据权利要求7～19中任意一项所述的插入体主体，其特征在于在所述驱动体的最背离时，所述驱动体作用部和所述臂部相对于垂直于所述旋转中心线并平行于所述驱动体的接近背离方向的平面，位于相反一侧。
21.根据权利要求4～20中任意一项所述的插入体主体，其特征在于在所述插入体主体中设置能存放所述驱动体作用部的存放部，以使所述驱动体作用部能与所述插入体主体不干涉地进行旋转移动。
22.一种插入体，其特征在于具有权利要求1～3中任意一项所述的引导核心和权利要求4～21中任意一项所述的插入体主体。
23.根据权利要求22所述的插入体，其特征在于所述插入体把被试验电子部件输送到电子部件试验装置的测试头的接触部，安装到用于将其搬出的托盘上。
24.一种电子部件处理装置，在把区域阵列型电子部件存放到插入体中的状态下，使所述区域阵列型电子部件的外部端子与插座的连接端子连接来进行所述区域阵列型电子部件的试验，其特征在于作为上述插入体，具有权利要求22或23所述的插入体。
全文摘要
本发明的目的在于提供一种可插拔地安装在插入体主体上的引导核心和可插拔地安装引导核心的插入体主体。所述引导核心其特征在于包括为了使区域阵列型电子部件的外部端子向插座的连接端子方向露出，支撑所述区域阵列型电子部件的外部端子面的支撑部；能够可装卸地与所述插入体主体所具有的钩部配合的钩承部。所述插入体主体其特征在于包括具有安装所述引导核心的引导核心安装口、以及为了把电子部件向安装在所述引导核心安装口上的所述引导核心引导而与所述引导核心安装口连通的电子部件进入口的电子部件引导部；和能可装卸地与所述引导核心具有的钩承部配合的钩部。
文档编号G01R31/26GK1610832SQ0282658
公开日2005年4月27日 申请日期2002年3月6日 优先权日2002年3月6日
发明者齐藤登 申请人:株式会社爱德万测试