专利名称：一种镜面反射型真空度测量装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种镜面反射型真空度测量装置，属于精密测量技术领域。
背景技术：
在工业测量中，经常遇到进行真空度测量的场合，但是目前真空度测量装置体积 较大，且价值昂贵，使用步骤繁琐，限制了普通工业场合的应用。
发明内容
针对上述不足，本发明提供了一种镜面反射型真空度测量装置，这种装置内部有 固定气压，随空间真空度变化柔性镜面变形从而使反射光线在同一平面指向不同的方向， 用处理好的刻度标尺接收光线，可以直接读出空间真空度值。本发明通过以下技术实现它包括一块圆形镜面向外的柔性镜面及一块圆形刚性密封板固定在刚性密封圈 上构成一个密闭空间，刻度标尺固定在刚性密封圈上，激光束、反射光线和刻度标尺在同一 平面上。本发明的镜面反射型真空度测量装置，主要由刚性密封圈，刚性密封板，柔性镜 面，刻度标尺及其固定装置组成，其特征为该装置由一块圆形镜面向外的柔性镜面及一块 圆形刚性密封板固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间，刻度标尺固定在刚性密封圈上， 激光束、反射光线和刻度标尺在同一平面上，在内外气压相同时激光束垂直指向镜面非圆 心处，当测量某一密闭空间内的真空度时，将装置放置其中，在气压差的作用下，该装置的 柔性镜面变形改变反射光线的方向，指向不同的刻度，即可读出被测密闭空间的真空度。本发明的优点是，装置体积小，价格便宜，使用方便，操作安全，特别适合在普通工 业场合使用。
图1是是该装置的纵剖面构造图；图2是该装置的工作原理图；图3是是该装置的纵剖面平面图。图中，1、刚性密封圈，2、刚性密封板，3、柔性镜面，4、激光束，5、刻度标尺，6、反射 光线。
具体实施例方式图1、图2、图3中，为该装置的剖切图。该装置由一块圆形刚性密封板2和一块圆 形镜面向外的柔性镜面3固定在一只刚性密封圈1构成一个密闭空间，刻度标尺5固定在 刚性密封圈1上，且激光束4、反射光线6和刻度标尺5在同一平面上，在内外气压相同时激 光束4垂直指向镜面3非圆心处，当测量某一密闭空间的真空度时，该将装置放置其中，在气压的差作用下，该装置的柔性镜面3变形改变反射光线6的方向，指向不同的刻度，即可 读出被测密闭空间的真空度。
权利要求
1. 一种镜面反射型真空度测量装置，其特征是，它包括一块圆形镜面向外的柔性镜面 及一块圆形刚性密封板固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间，刻度标尺固定在刚性密封 圈上，激光束、反射光线和刻度标尺在同一平面上。
全文摘要
本发明涉及一种镜面反射型真空度测量装置，它包括一块圆形镜面向外的柔性镜面及一块圆形刚性密封板固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间，刻度标尺固定在刚性密封圈上，激光束、反射光线和刻度标尺在同一平面上。当测量某一密闭空间内的真空度时，将装置放置其中，在气压差的作用下，该装置的柔性镜面变形改变反射光线的方向，指向不同的刻度，即可读出被测密闭空间的真空度。
文档编号G01L21/00GK102062665SQ200910222459
公开日2011年5月18日 申请日期2009年11月17日 优先权日2009年11月17日
发明者刘 东, 刘保龙, 孙树萌, 张西鑫, 王立岗, 莫才勇, 马新全 申请人:刘保龙