用于检测主动磁轴承中的旋转工作装置位置的设备的制作方法

用于检测主动磁轴承中的旋转工作装置位置的设备的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种用于检测主动磁轴承中的旋转工作装置的位置的设备，其包括：旋转工作装置的位置传感器（A、B），传感器（A、B）的输出信号的检测器（D）以及连接到所述主动磁轴承的控制系统的估计电路。所述位置传感器（A、B）由高频变压器组成，每个高频变压器直接连接到其输出信号的检测器（D），并且所述检测器（D）由带有非线性传递特性的电四极组成。
【专利说明】用于检测主动磁轴承中的旋转工作装置位置的设备

【技术领域】
[0001] 本发明涉及用于检测主动磁轴承中的旋转工作装置位置的设备，其包括旋转工作 装置的位置传感器、传感器的输出信号检测器以及连接到主动磁轴承的控制系统的估计电 路。

【背景技术】
[0002] 出于承载非常快旋转工作设备(例如，自由端纺纱机的纺纱转子）的目的，存在借 助受控的磁力来维持旋转工作装置的位置的专门设备。这样的设备一般被称作主动磁轴 承。
[0003] 为了借助主动磁轴承确保旋转工作装置的悬浮(这是轴承的功能)，有必要知道旋 转工作装置在主动磁轴承的磁场中的瞬时位置以及该位置在具有轴X、y、z的三维直角坐 标系中随着时间的可能的改变，这是针对旋转工作装置的旋转轴在空间中的主动稳定化的 基本前提。而且，旋转工作装置必须由调节(控制）设备基于连续地记录和估计的数据来维 持在要求的位置中，以便避免在导致所有负面后果的、由旋转工作装置的高速旋转引起的 旋转工作装置的变化的影响下的旋转工作装置的事故，例如，由旋转工作装置与主动磁轴 承的其它部分的接触导致的事故。
[0004] 为了确定旋转工作装置在磁场中的位置，通常使用基于借助测量电线圈或具有互 感耦合的线圈采用涡电流原理的传感器。转子在主动磁轴承的磁场中的位置的改变引起测 量电线圈上的AC电压中的改变，所述测量电线圈由AC电压通过直接耦合或通过从另一线 圈的电感耦合激励。测量线圈上的AC电压形式的线圈的输出信号随后由检测器处理。那 么，所感应的该AC电压的量(幅值）取决于纺纱转子在磁轴承中的位置，由此借助于上面提 到的检测器来获得感应电压量的值，所述检测器事实上执行对感应AC电压的调节，并且因 此调节后的感应电压的量对应于纺纱转子相对于位置传感器的位置。已知的感应电压系统 通常以数十至数百千赫量级(可能地，单兆赫量级）的频率工作，这要求使用具有多个螺线 的感测线圈，或者视情况，它要求使用通常设置在与工作装置的旋转轴垂直的平面中的、具 有相对大尺寸的扁平线圈。这样线圈的生产关于成批生产要求(诸如小公差、参数稳定性和 低成本）通常在技术上是要求高的。此外，在使用更大的线圈时，在检测直径与这些线圈相 比较小(例如如驱动轴的直径那样）的旋转工作装置的位置期间，问题出现。
[0005] 本领域中可应用的最简单的已知检测器是普通的或任何类型的互补二极管整流 器，然而，其缺点是它们不能以足够的精确性和稳定性检测毫伏量级的小感应电压。这些检 测器的另一缺陷是它们的温度相关性。所以为了达到更大的精确性或温度稳定性，经常有 必要单独地设置这些检测器。在一些情况中，还在感测线圈与检测器之间放置放大器(经常 为选择放大器)。例如见CZ 302 646。
[0006] -般来说，使用具有半导体开关的各种类型的同步的或一般地受控的整流器的检 测小信号的方法被认为是非常精确的。然而，缺点是单MHz量级的工作频率的特定限制以 及而且主要地更大的复杂性和因此基于该原理的检测器的价格。尽管如此，在其中达到高 速度(高达大于100, OOOmirT1)的主动磁轴承中，甚至在这些检测器的情况中，随着对来自 根据上面提到的涡电流原理工作的纺纱转子的位置传感器的非常低的AC电压的检测和估 计，问题显现，该问题尤其由在主动磁轴承(特别是其激励器线圈）的操作期间出现的电磁 干扰效应引起。而且，主动磁轴承的激励器线圈的工作频率趋向于低，经常接近检测器工作 所处的频率，这意味着通常难以消除该干扰。
[0007] 一般来说，使用交变信号检测器的方法是已知的，其中检测器基于四极非线性传 递特性原理，优选地为所谓的场效应晶体管。然而，来自这样检测器的输出信号与位置传感 器的测量电线圈上的AC电压的改变不成正比例，并且因此通常有必要通过DC校正信号来 校正它们。
[0008] 序号302 646的CZ专利公开了借助连接到传感器的输出信号估计电路(检测器） 的高频感应位置传感器的悬浮旋转元件（LRE)稳定化的方法。事实上，整个系统由具有磁 轴承的扁平高速电马达构成，该电马达的转子由悬浮和旋转元件组成（即由自由端纺纱机 的纺纱转子组成)。感应位置传感器LRE布置为紧密接近外部电路LRE，并且沿着LRE的圆 周设置成三对，由此所有这三对位置传感器都被设置在与旋转轴LRE垂直的一个共同的平 面中。高频感应位置传感器工作在数百kHz的频率。LRE由铁磁材料制成，由此每个高频感 应位置传感器基本上由具有布置在印刷电路板的相对侧面上且处于与纺纱转子的旋转轴 垂直的平面中的扁平绕组的扁平变压器构成。每对传感器中的两个传感器的初级绕组(激 励器绕组）都连接到特定信号高频(激励器）生成器的功率输出的分支，每对传感器中的一 个传感器的次级绕组与窄带阻滤波器的入口相连接，并且每对传感器中的另一个传感器的 次级绕组连接到另一个窄带阻滤波器的入口。首先在AC电平上处理(放大）每对传感器的 输出信号，并且然后才将其供应给高频整流器，所述高频整流器的出口连接到平滑滤波器 的入口，所述平滑滤波器通过其出口连接到数字信号处理器的入口。虽然该布置由于在AC 信号的路径中使用窄带滤波器而在一定程度上减小了由磁轴承的功能的原理自身创建的 干扰背景的负面影响，但是其缺点是复杂性以及不充足的热稳定性。此外，该布置要求借助 设定元件对LRE的旋转轴(转子)的中心位置单独设定，这使得设备甚至更加要求高，并且找 到针对该解决方案的实际应用是困难的。此外，该解决方案不能够检测LRE旋转轴相对于 LRE的最佳旋转轴的可能的倾斜（即转子的倾角），由此该可能的倾斜可能导致快速旋转的 LRE与主动磁轴承的其它部分接触，这可能导致整个系统的事故，包括对设备的破坏和威胁 操作人员的健康。由于位置传感器的相对低的工作频率，系统也对邻近于传感器的区域中 的制成纺纱转子的材料敏感，因为电磁场到转子材料中的穿透深度是相当大的。此处仅在 较小程度上施加表面现象(所谓的趋肤效应)。
[0009] 本发明的目标是消除或至少减小【背景技术】的缺陷，尤其是改善检测主动磁轴承中 的旋转工作装置位置的参数。


【发明内容】

[0010] 发明原理 本发明的目标由用于检测主动磁轴承中的旋转工作装置位置的设备来达到，其原理存 在于：位置传感器由高频变压器组成，每个高频变压器直接连接到其输出信号的检测器，并 且检测器由具有非线性传递特性的电四极组成。有利的情况是：传感器在双侧或多层印刷 电路上创建，定位成平行于旋转工作装置的感测表面，并且由具有高于20MHz频率的高频 信号馈送(激励)。以这种方式构想的、在高于20MHz的频率工作的、由印刷电路技术创建 的位置传感器在尺寸上可以非常小，并且在成批生产中易于达到参数的高再现性和小变化 性。这些位置传感器优选地可以在多层印刷电路上实施，其中，两个绕组中的任一个可以被 布置在该印刷电路的内部层上，这提供了更大的参数一致性，并且允许针对这些位置传感 器的拓扑和出口的最佳解决方案。此外，多层印刷电路的边缘层则可以优选地用作对扁平 线圈的保护以免受不利的外部影响。
[0011] 与【背景技术】相比，该解决方案的优点存在于在监控主动磁轴承中的旋转工作装置 的位置改变的功能中的改善。由于位置传感器的更高的工作频率，它被实现为具有足够的 速度和所要求的精确度以及测量结果的可靠性，这也由工作装置的高速旋转实现，消除了 用于工作装置的构造的材料的影响。

【专利附图】

【附图说明】
[0012] 本发明在附图中示意性地表示，其中，图1示出了具有无转轴纺纱转子和纺纱转 子的位置传感器系统的主动磁轴承的布置的示例，图2是具有转轴上的纺纱转子和纺纱转 子或转轴的位置传感器系统的主动磁轴承的布置的示例，图3a以俯视图示出了位置传感 器和检测器以及它们相对于纺纱转子的布置的实施例的示例，图3b表示在从图3a的箭头 S的方向上的视图，图4示出了具有非线性传递特性的四极的一般布置，图5示出了具有晶 体管J-Fet的、用于基于非线性传递特性原理检测和估计转子位置的电路的连接的实施例 的示例，图6图示了具有对输入以及输出中的变化的校正的纺纱转子位置传感器对的实施 例的示例，图7示出了具有独立地设置产生的偏移和差分信号传递的可能性的、用于对来 自纺纱转子的两个位置传感器的信号估计的差分电路的连接的实施例的示例，图8示出了 具有晶体管J-Fet的纺纱转子的位置传感器对的连接的实施例的示例，借助可变电阻P1、 P2和P3具有对变化的校正模拟设定并且具有对偏移的模拟设定以及增强差分放大器，图9 表示具有晶体管J-Fet的纺纱转子的位置传感器对的连接的实施例的示例，借助数字控制 电压或电流源PI、P2和数字控制反馈网络P3而具有对变化的校正的数字设定并且具有对 差分放大器的偏移和传递特性的数字设定。

【具体实施方式】
[0013] 将关于用于检测主动磁轴承中的纺纱转子位置的设备的实施例的示例来描述本 发明，其中旋转工作装置由自由端纺纱机的纺纱转子组成。
[0014] 自由端纺纱机包括至少一行彼此相邻设置的操作单元。除了许多其它纺纱组件之 夕卜，每个操作单元还包括纺纱单元，主动磁轴承被布置在所述纺纱单元中，纺纱转子1可旋 转地装配在所述主动磁轴承中。主动磁轴承借助图示的电磁稳定化系统垃来确保维持纺 纱单元中的纺纱转子1相对于纺纱单元的其它部分的位置。图la示出了所谓的无转轴纺 纱转子1，图lb表示转轴li上的纺纱转子1。纺纱转子的驱动由驱动系统立来确保。
[0015] 通过纺纱转子1的位置，我们理解在三维坐标系中纺纱转子1的放置，包括相对于 纺纱转子1的真实旋转轴迟的纺纱转子1的当前旋转轴0A (即，纺纱转子1的实际旋转 轴）的位置，所述真实旋转轴由主动磁轴承、纺纱单元和纺纱转子1的几何形状来确定。
[0016] 由检测主动磁轴承中的旋转工作装置（即纺纱转子1)的位置的系统来检测当前旋 转轴通的位置。检测该位置的系统包括纺纱转子1的位置传感器Δ、Β，传感器Δ、Β与传感 器Δ、Β的输出信号检测器2耦合，与估计电路和控制设备耦合。
[0017] 在所谓的无转轴纺纱转子1中，为了检测位置的目的，根据图l、3a、3b的实施例使 用特定的几何形状布置(两对，整体上四个纺纱转子1的位置传感器Δ用于检测纺纱转子1 的径向移位，以及两对，整体上四个纺纱转子1的位置传感器S用于检测纺纱转子1在主动 磁轴承中的倾斜）并且使用对它们的输出信号的随后的特定处理以达到对传感器A、S的输 出信号的大小（幅值）的精确、可靠和快速检测。传感器Δ、S被以如下方式进行布置：它们 允许对每对传感器A、S的输出信号差分处理。
[0018] 在图1和3a、3b中的实施例中，单独的传感器41、瓰、胆、尅、豇、坠、型、坠原则 上检测纺纱转子1的表面距相应的传感器41、Μ、Μ、M、￡1、盤、Μ、Μ的距离肛、12、M、 Μ、η、12、Η、Β，或者检测这些距离肛、12、Μ、Μ、II、12、12、Η中的改变。
[0019] 纺纱转子1的位置传感器Μ、μ、Μ、Μ、￡1、Μ、Μ、Μ对磁场和电场有抵抗力， 由此是足够敏感的，它们确保对应于旋转工作装置（即纺纱转子1或转轴11)在与传感器的 表面垂直的方向上以百分之一 mm (0.01mm)计量的移位的充足的信号，由于高频场到材料 的表面中的非常低的穿透(所谓的趋肤效应）而不考虑用于纺纱转子的构造的材料。
[0020] 优选地，传感器Μ、μ、Μ、M、￡1、Μ、Μ、Μ被制成为由一对线圈组成的高频变 压器，所述一对线圈被布置在印刷电路板的相对表面上，并且被定位成平行于纺纱转子的 表面，所述传感器监控所述纺纱转子的位置。
[0021] 以下情况是有利的：用于检测纺纱转子1的径向移位的传感器Ai、M、M、M定位 成接近印刷电路板中的通孔的边缘，并且纺纱转子1或转轴li穿过印刷电路板中的该孔， 并且因此传感器紅、Μ、Μ、Μ被设置成与纺纱转子1的圆柱壁边相对或与转轴11的圆 柱圆周相对，由此印刷电路板中的通孔的直径仅比根据图1的实施例中的纺纱转子1的外 直径或根据图2的实施例中的转轴11的外直径稍大通常例如2mm。
[0022] 用于检测纺纱转子1的倾斜的传感器丛、Μ、Μ、Μ被设置在分开的印刷电路板 上，所述印刷电路板被设置为在纺纱转子1的下或上受监控壁11 (即壁11)的水平的下方 或上方大约lmm，所述壁11与纺纱转子1的旋转轴0Α垂直。可替换地，在根据图1的实施 例中，传感器M、坠、M、M被放置成接近印刷电路板中的通孔的边缘，由此，该通孔的直径 比纺纱转子1的外直径小，使得传感器丛、盤、Μ、Μ可以直接布置成与垂直于纺纱转子1 的旋转轴0Α的纺纱转子的壁11相对(例如，与纺纱转子1的底部相对)，这在根据图1中的 实施例的无转轴纺纱转子1中尤其有益。
[0023] 当所有基本组件总是布置在印刷电路板上或在共同印刷电路板上时的上面提到 类型的布置连同使用下面提到的传感器4、S的高励磁频率消除或至少基本上减小感应干 扰信号的出现，因此增强了由具有一对线圈的高频变压器构成的传感器Δ、S的灵敏度。同 时，传感器Δ、S的该实施例还实现了直接到自由端纺纱机的纺纱单元中的容易安装，从而 包括高度集成的可能性，因为在具有传感器Δ、S的印刷电路板上事实上集成主动磁轴承的 完整电子系统是可能的，或者将这些板与主动磁轴承的电子系统互连是可能的。
[0024] 由具有共同印刷电路板上的线圈对的高频变压器组成的传感器A、S在它们的入 口处由高频励磁信号励磁，所述高频励磁信号具有在至少数十MHz量级的频率，然而，通常 具有从数十MHz到数百MHz范围中的频率，尤其是从20MHz及以上的频率。这导致达到测 量信号与干扰信号的相对大的频率分开，该频率分开在磁轴承的操作期间出现。同时有利 的是，采用表面现象(所谓的趋肤效应）（即，来自创建为高频变压器s对线圈的传感器A、B 的测量电磁场到转子1的表面中的低程度穿透）的影响。该解决方案使得能够确保检测转 子1的位置的功能关于转子1使用的材料的独立性，并且因此，系统能够与铝、钢或金属化 永久磁体一起工作，差不多具有相同的效率。这些传感器Δ、S的输出信号因此仅由纺纱转 子1或转轴?相对于传感器A、S的位置改变"影响"，并且因此，它不受其它负面影响影响。 如图3中图示的，这些传感器A、S中每个的输出信号随后由连接的检测器2使用四极的非 线性特性原理处理，如将进一步更详细地描述的那样。由检测器2处理的纺纱转子1的位 置传感器A、S的输出信号进一步用于主动磁轴承的估计电路和控制系统。与创建为具有共 同印刷电路板上的线圈对的高频变压器的传感器A、S有关的上面提到的事实是所使用的 位置传感器A、S的最优化构造的结果。使用的高励磁频率（20MHz及以上)导致测量变压器 的线圈具有小电感(数十到数百nH量级)的事实，由此有利地使用线圈的阻抗随所使用的励 磁信号的增加的频率增长的事实。为了借助测量变压器可靠地测量，有必要以线圈阻抗的 特定值工作。另一方面，测量变压器的线圈的小电感也意味着这些线圈或这些扁平线圈的 相对小数量的螺线。测量变压器的线圈的小数量的必要螺线连同印刷电路(在所述印刷电 路上存在创建为具有使用印刷电路生产的新技术制成的线圈对的高频变压器的位置传感 器A、S)上所使用的高密度线路(导线）使得能够创建非常小的测量变压器(例如，通常具有 10-20_ 2的面积)，这因此使得能够将位置传感器A、S安装在平行于旋转工作装置的测量表 面的它们的线圈的平面中，而不像从【背景技术】已知的那样安装在与该轴垂直的平面中。此 夕卜，非常小的测量变压器还容许针对旋转工作装置的转轴的小直径使用该解决方案，其中 根据【背景技术】的"大"测量变压器不能够平行于具有小直径的转轴的弯曲感测表面放置。
[0025] 图4到9图示了用于检测并估计在主动磁轴承中纺纱转子1相对于纺纱转子丄的 真实旋转轴迎的位置的传感器Δ、2的输出信号的、使用四极非线性传递特性原理的检测器 D的电连接的布置的原理性变化。
[0026] 图4 (在左手侧）示出了具有非线性传递特性的四极的一般布置，当使用制成为 具有共同印刷电路板上的线圈对的高频变压器的传感器Δ、S时，该布置的原理受益于本发 明。
[0027] 四极非线性传递特性ie=f(ug)用于例如借助场效应晶体管(则优选地借助工作 在具有总反馈的合适设置工作点中的耗尽模式中的场效应晶体管J-Fet (即飞利浦BFR 31))的检测。
[0028] 在这种情况中，适用的是，如果晶体管J-Fet的入口电极￡由高频AC信号(例如，μ =Um. sin2 π ft)激励，则输出电流乜的AC成分的非零平均值乜取决于输入AC信号的幅值 迦，该非零平均值包在这样激励的晶体管J-Fet的出口处存在具有时间常数S￡=T?l/2 π f 的积分器的条件下加到空闲输出电流1^。那么在四极的输出端处M = R(Ie〇+Is)。有利 的是，然后该电路作为甚至非常小的高频信号（即连续地实际上从零及以上的值）的整流器 进行工作，除非高频信号的幅值将必须比例如普通半导体二极管的阈值电压更高。使用四 极非线性传递特性的方法的唯一限制是技术噪声。
[0029] 图5示出了可用作纺纱转子1的位置传感器A、S的高频输出信号的检测器2的晶 体管连接的实施例的示例。
[0030] 图6图示了传感器对Μ、μ或Μ、Μ或肛、Μ或Μ、Μ与用于估计每个传感器 对Μ、Μ或Μ、Μ或μ、μ或Μ、Μ的高频输出信号的晶体管J-Fet的连接的实施例的 示例。该连接的实施例的示例基于通过馈送校正信号Inni和Inp2、0utl和0ut2对所使用 组件的机械和/或电和/或操作和/或其它变化的校正。校正信号实现了根据主动磁轴承 的单独组件和元件的实参数对全部生产的主动磁轴承的统一设定，所述实参数包括传感器 Δ、这、估计电路的部分和其它组件的参数。
[0031] 在图6中，符号Inni和M指示馈送到检测器2的入口的校正信号，并且符号 Outl和迦Μ指示针对馈送到检测器2的出口的校正信号的入口。将校正（DC)信号馈送到 该连接中的两个检测器2中导致晶体管J-Fet的工作点移位到它们的非线性特性上的相同 位置，由此意味着在纺纱转子1的每对传感器Ai、M或M、M或或M、M的两个检 测器2的出口处是独立于经校正的变化的大小的相同输出信号。然后接着是对检测器D的 这些调整后的输出信号的进一步的处理(通常差分)，其结果是每对传感器紅、Μ或Μ、Μ 或Μ、坠或μ、Μ -个输出信号，并然后可以独立于上面提到的校正来改变幅值、偏移或者 视情况改变频率进展。
[0032] 图7示出了具有独立地设置产生的独立偏移和差分信号传递的可能性的、用于估 计来自两个检测器以例如根据图6的检测器2)的信号的差分电路的连接的实施例的示例。 在该连接中，ue-和ue+指示了从图6中的两个检测器D的出口带来的电压，Out是针对估 计ue+和ue-的差的产牛的电压，Ο-set是用于设置系统的组件的变化的校ιΗ的电路（牛成 校正信号)，其优选地被创建为可调整的dc电压源，并且是用于控制差信号的产生的 传递的电路，该电路优选地被创建为由电阻和电容器构成的可调整反馈网络。图7还示出 了纺纱转子1的位置传感器4i、M的励磁线圈的布置，励磁线圈由此连 接到已经提到为20MHz及以上的频率的高频励磁信号的源X。
[0033] 图8表示针对一对检测器2的根据图6和7的连接的组合的实施例的示例，所述 一对检测器2通过借助可变电阻Ei、和m对设备的所使用的组件的变化的校正的模拟 设定和对偏移的模拟设定以及增强差分放大器来进行补充。
[0034] 图9示出了针对一对检测器2的根据图6和7的连接的组合的实施例的示例，所述 一对检测器2借助数字控制电压或电流源Ei、没和数字控制反馈网络m具有对该设备的 所使用组件的变化的校正的数字设定，具有对差分放大器的偏移和传递特性的数字设定。
[0035] 显而易见的是，根据电技术观点可以创建许多具体的连接，该连接使得能够创建 对应的电子系统以使用由具有非线性传递特性的四极组成的检测器2来估计纺纱转子丄的 位置传感器A、S的输出信号，其中，传感器Δ、S用它们的出口直接连接到检测器2的入口。
[0036] 此外，检测器D和/或估计电路可以被创建为以消费者为中心的集成电路，或者存 在实施单独组件的可能性，所述组件包括在共同的印刷电路板上的传感器A、S、检测器D和 估计电路。在另一个实施例中，主动磁轴承的控制系统也连同传感器A、S、检测器2和估计 电路定位在的共同的印刷电路板上。
【权利要求】
1. 一种用于检测主动磁轴承中的旋转工作装置的位置的设备，其包括：旋转工作装置 的位置传感器（A、B)，所述传感器（A、B)的输出信号的检测器以及连接到所述主动磁轴承 的控制系统的估计电路，其特征在于：所述位置传感器(A、B)由高频变压器组成，每个高频 变压器直接连接到其输出信号的所述检测器（D)，并且所述检测器（D)由具有有非线性传 递特性的电四极组成。
2. 根据权利要求1的设备，其特征在于：具有非线性传递特性的所述电四极是耗尽模 式中的、工作在具有总反馈的合适设置工作点中的场效应晶体管J-Fet。
3. 根据权利要求1或2的设备，其特征在于：高频变压器包括连接到具有至少20MHz频 率的高频励磁信号源的励磁线圈。
4. 根据权利要求1至3中的任意一项的设备，其特征在于：高频变压器被布置在双侧 印刷电路上，由此在一侧上存在励磁线圈，并且在另一侧上存在感测线圈，线圈的平面平行 于所述旋转工作装置的感测表面。
5. 根据权利要求1至3中的任意一项的设备，其特征在于：高频变压器被布置在多层 印刷电路上，由此，励磁和/或感测线圈被布置在所述多层印刷电路的内部层上并且所述 多层印刷电路的外部层用于保护所述设备免受环境的不利影响，并且所述线圈的平面平行 于所述旋转工作装置的感测平面。
6. 根据权利要求1至5中的任意一项的设备，其特征在于：位置传感器(A、B)被分组 成对，并且每对直接连接到它的输出信号的所述检测器（D)，由此，每对传感器（A、B)的所 述检测器（D)的出口连接到所述旋转工作装置的位置的差分估计电路。
7. 根据权利要求6的设备，其特征在于：所述检测器（D)和/或估计电路被提供有针对 校正信号的直接馈送的入口。
8. 估计权利要求1至7中的任意一项的设备，其特征在于：所述检测器（D)和/或估计 电路由至少一个消费者导向的集成电路组成。
9. 根据权利要求1至8中的任意一项的设备，其特征在于：所述位置传感器(A、B)与 它的检测器（D)和估计电路一起定位在共同印刷电路板上，并且所述板被布置在主动磁轴 承部件中。
10. 根据权利要求9的设备，其特征在于：在所述共同印刷电路板上布置有所述主动磁 轴承的控制系统。
11. 根据权利要求4或5的设备，其特征在于：励磁线圈和感测线圈具有数十至数百nH 量级的电感，并且具有从10到20mm2范围中的面积。
【文档编号】G01B7/00GK104061846SQ201410107343
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年3月21日 优先权日:2013年3月22日
【发明者】M.斯图萨克 申请人:里特捷克有限公司