传感器的制作方法

文档序号:15799056发布日期:2018-11-02 21:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种传感器,其特征在于,具备:

芯片搭载部;以及

形成有检测部且搭载在上述芯片搭载部上的半导体芯片,

在上述检测部露出的状态下,至少上述芯片搭载部的一部分被树脂覆盖,

在与流动于上述检测部上的气体的前进方向平行的任意截面中,在上述树脂与上述半导体芯片接触的第一区域,上述树脂的上表面比上述半导体芯片的上表面低,

在比上述第一区域远离上述半导体芯片的第二区域的一部分,上述树脂的上表面的高度比上述半导体芯片的上表面高。

2.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,

上述树脂进一步覆盖与上述半导体芯片不同的半导体芯片。

3.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,

形成有气流控制部,该气流控制部在与流动于上述检测部上的气体的前进方向平行的方向上具有长条形状。

4.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,

在与流动于上述检测部上的气体的前进方向平行的方向上,在将从上述半导体芯片的上表面到上述第二区域的上述树脂的上表面的高度尺寸设为H1,将从上述树脂露出的上述半导体芯片的尺寸设为L1的情况下,满足0<H1/L1≤1.5的关系。

5.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于,

在与流动于上述检测部上的气体的前进方向平行的任意截面中,上述树脂没有覆盖上述半导体芯片的上表面。

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