传感器的制作方法

文档序号:15799056发布日期:2018-11-02 21:18阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供能够抑制每个传感器的性能偏差的技术。在本发明的传感器,具备:芯片搭载部;以及形成有检测部且搭载在上述芯片搭载部上的半导体芯片,在上述检测部露出的状态下,至少上述芯片搭载部的一部分被树脂覆盖,在包括上述检测部的任意截面中,在上述树脂与上述半导体芯片接触的第一区域,上述树脂的上表面比上述半导体芯片的上表面低,在比上述第一区域远离上述半导体芯片的第二区域的一部分,上述树脂的上表面的高度比上述半导体芯片的上表面高。

技术研发人员:河野务;半泽惠二;森野毅;冈本裕树;德安升;田代忍
受保护的技术使用者:日立汽车系统株式会社
技术研发日:2011.09.13
技术公布日:2018.11.02

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