技术总结
本发明涉及材料测量与分析领域，具体涉及一种用于薄膜材料热物理特性的测量器件。该测量器件，从下至上依次包括支撑层、绝缘导热层、电阻丝和导体丝层。本发明采用电阻丝同时作为加热器与传感器，通过测量电压探针导体丝间的电阻丝裸露部分的阻温特性，得到电压探针导体丝间的电阻丝裸露部分的温度‑时间曲线，测试时使用设置空白对照的方法；得到薄膜的热容‑温度曲线。本发明具有结构简单，制作工艺简单，测试速率快，测试精度高等特点，为薄膜的热物理特性测试提供了一种有效的方法。
技术研发人员：王昕;蒲逸然;谢欣桐;邓龙江
受保护的技术使用者：电子科技大学
文档号码：201610513652
技术研发日：2016.07.01
技术公布日：2016.12.07