一种湿度传感器的制作方法

技术特征：

1.一种湿度传感器，其特征在于：包括基底(1)，所述基底(1)下表面覆有衬底层(7)，所述基底(1)上表面设有加热器(2)，所述加热器(2)上表面设有输出层(6)，所述输出层上表面覆有感湿层(3)。

2.如权利要求1所述的一种湿度传感器，其特征在于：所述加热器(2)为蛇形加热器，所述加热器(2)包括三个加热单元，从左至右分别为顺序连接加热单元一，加热单元二和加热单元三；所述加热单元一与加热单元三的一端连有电极(5)，另一端与加热单元二的两端相连；所述加热单元一沿水平方向布置，所述加热单元一与加热单元三镜像对称，所述加热单元二沿竖直方向布置。

3.如权利要求2所述的一种湿度传感器，其特征在于：所述电极(5)与加热单元之间的距离为1.5mm，所述加热单元一的宽度l₁与加热单元二的长度l₂相同，所述加热单元一的长度v₁，加热单元二宽度v₂，加热单元一的结距d₁和加热单元二的结距d₂符合以下公式：

$d_2=\frac{1}{\sqrt{2{l_1}^2}}\exp \left\{\sqrt[3]{\frac{1}{2}{\left(\frac{v_1-v_2}{d_1}\right)}^2}\right\}.$

4.如权利要求2或3所述的一种湿度传感器，其特征在于：所述与加热单元三相连的电极位于加热单元一的左上方，所述与加热单元一相连的电极位于加热单元三的右下方。

5.如权利要求4所述的一种湿度传感器，其特征在于：所述加热器(2)与输出层(6)之间设有保护膜(8)，所述输出层(6)呈L型，所述输出层(6)竖直端面的底部与保护膜(8)相连，所述输出层(6)水平端面与保护膜(9)之间间隔有通讯层(8)，所述输出层(6)连有若干输出端口(4)。

6.如权利要求5所述的一种湿度传感器，其特征在于：所述感湿层(3)呈L型，所述感湿层(3)覆于输出层(6)上表面，所述感湿层(3)仅设于加热单元二表面。

7.如权利要求6所述的一种湿度传感器，其特征在于：所述加热单元二下方基底(1)的厚度小于加热单元二和加热单元三下方基底(1)的厚度。

8.如权利要求1或2或3所述的一种湿度传感器，其特征在于：所述加热器(2)由铂制成，所述衬底层(7)由纳米TiO₂薄膜制成，所述基体(1)由硅烷炔嵌段树脂制成，所述硅烷炔嵌段树脂分子式为为ABA，其中

9.如权利要求8所述的一种湿度传感器，其特征在于：所述感湿层(3)由氧化石墨烯/纳米Al₂O₃/聚酰亚胺制成。

10.如权利要求5或6或7所述的一种湿度传感器，其特征在于：所述保护膜(8)由Na₂O-SiC-SiO₂凝胶制成。