一种BGA锡球成型装置上的传感器结构的制作方法

文档序号:12173517阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种BGA锡球成型装置上的传感器结构,包括与BGA锡球铸造模具排气孔相连通的气管(1),其特征在于:气管(1)由下部的细管(11)和上部的粗管(12)组成,粗管(12)的顶端固定有封盖(2),封盖(2)上固定有压力传感器(3),压力传感器(3)的探头插设在粗管(12)内,粗管(12)内插接有活塞(4),活塞(4)抵靠在细管(11)的顶端,所述的细管(11)上插接固定有泄压管(5),泄压管(5)上固定连接有电磁阀(6)。

2.根据权利要求1所述的一种BGA锡球成型装置上的传感器结构,其特征在于:所述气管(1)上细管(11)的外径不大于粗管(12)的内径。

3.根据权利要求1所述的一种BGA锡球成型装置上的传感器结构,其特征在于:所述气管(1)上粗管(12)内壁的表面粗糙度为0.4μm~0.5μm,粗管(12)内壁的表面表面粗糙度高于细管(11)内壁的表面表面粗糙度。

4.根据权利要求1所述的一种BGA锡球成型装置上的传感器结构,其特征在于:所述活塞(4)采用耐高温的陶瓷材质,活塞(4)外壁的直径等于粗管(12)内壁的直径。

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