蓝宝石绝缘体定电极的电容压力传感器的制作方法

文档序号:11103089阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蓝宝石绝缘体定电极的电容压力传感器,包括壳体,与壳体组装在一起的定电极、引出电极、动电极和引压口,其特征在于:所述定电极以蓝宝石作为绝缘体,采用与蓝宝石绝缘体相匹配的材料制作的匹配外壳,通过钎焊层与蓝宝石绝缘体封接在一起,蓝宝石绝缘体钎焊密封有管状引出电极,管状引出电极的端部直接与蓝宝石绝缘体凹形抛物面上的导电薄膜层相连接。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石绝缘体定电极的电容压力传感器,其特征在于:采用与蓝宝石绝缘体相匹配的材料制作的所述管状引出电极作为电极唯一引线,也是抽真空导管。

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